Progress in riboon ion beam implantation systems development
The ribbon ion sources for ion implantation are under developing in ITEP during last 5 years. The several versions of Bernas ion source are used for ribbon ion beam production. The beam transport for low energy ribbon beam is one of main problems for ion implantation. The progress in ion sources an...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17041 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Progress in riboon ion beam implantation systems development / E.S. Masunov, S.M. Polozov, A.V. Kozlov, R.P. Kuibeda, T.V. Kulevoy, D.N. Seleznev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 177-179. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862722090721869824 |
|---|---|
| author | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kozlov, A.V. Kuibeda, R.P. Kulevoy, T.V. Seleznev, D.N. |
| author_facet | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kozlov, A.V. Kuibeda, R.P. Kulevoy, T.V. Seleznev, D.N. |
| citation_txt | Progress in riboon ion beam implantation systems development / E.S. Masunov, S.M. Polozov, A.V. Kozlov, R.P. Kuibeda, T.V. Kulevoy, D.N. Seleznev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 177-179. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| description | The ribbon ion sources for ion implantation are under developing in ITEP during last 5 years. The several versions of Bernas ion source are used for ribbon ion beam production. The beam transport for low energy ribbon beam is one of main problems for ion implantation. The progress in ion sources and transport lines development is discussed in this paper. The new results for carboran clusters ion beam driving are presented.
Последние пять лет в ИТЭФ разрабатываются источники ленточных ионных пучков для нужд ионной имплантации. Для генерации ленточного ионного пучка используются источники типа «Бернас». Одной из самых существенных проблем при создании таких систем является разработка каналов транспортировки пучка. В данной статье рассматриваются новые результаты, полученные при разработке источников и каналов транспортировки, приведены данные по генерации пучков многоатомных молекул карборана.
Останні п’ять років в ІТЕФ розробляються джерела стрічкових іонних пучків для потреб іонної імплантації. Для генерації стрічкового іонного пучка використовуються джерела типу «Бернас». Однією з найбільш істотних проблем при створенні таких систем є розробка каналів транспортування пучка. У даній статті розглядаються нові результати, отримані при розробці джерел і каналів транспортування, наведено дані по генерації пучків багатоатомних молекул карборана.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:34:15Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-17041 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T18:34:15Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kozlov, A.V. Kuibeda, R.P. Kulevoy, T.V. Seleznev, D.N. 2011-02-18T12:55:58Z 2011-02-18T12:55:58Z 2010 Progress in riboon ion beam implantation systems development / E.S. Masunov, S.M. Polozov, A.V. Kozlov, R.P. Kuibeda, T.V. Kulevoy, D.N. Seleznev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 177-179. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17041 The ribbon ion sources for ion implantation are under developing in ITEP during last 5 years. The several versions of Bernas ion source are used for ribbon ion beam production. The beam transport for low energy ribbon beam is one of main problems for ion implantation. The progress in ion sources and transport lines development is discussed in this paper. The new results for carboran clusters ion beam driving are presented. Последние пять лет в ИТЭФ разрабатываются источники ленточных ионных пучков для нужд ионной имплантации. Для генерации ленточного ионного пучка используются источники типа «Бернас». Одной из самых существенных проблем при создании таких систем является разработка каналов транспортировки пучка. В данной статье рассматриваются новые результаты, полученные при разработке источников и каналов транспортировки, приведены данные по генерации пучков многоатомных молекул карборана. Останні п’ять років в ІТЕФ розробляються джерела стрічкових іонних пучків для потреб іонної імплантації. Для генерації стрічкового іонного пучка використовуються джерела типу «Бернас». Однією з найбільш істотних проблем при створенні таких систем є розробка каналів транспортування пучка. У даній статті розглядаються нові результати, отримані при розробці джерел і каналів транспортування, наведено дані по генерації пучків багатоатомних молекул карборана. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Применение ускорителей Progress in riboon ion beam implantation systems development Новые результаты в разработке ленточных ионных пучков для имплантеров Нові результати в розробці стрічкових іонних пучків для імплантерів Article published earlier |
| spellingShingle | Progress in riboon ion beam implantation systems development Masunov, E.S. Polozov, S.M. Kozlov, A.V. Kuibeda, R.P. Kulevoy, T.V. Seleznev, D.N. Применение ускорителей |
| title | Progress in riboon ion beam implantation systems development |
| title_alt | Новые результаты в разработке ленточных ионных пучков для имплантеров Нові результати в розробці стрічкових іонних пучків для імплантерів |
| title_full | Progress in riboon ion beam implantation systems development |
| title_fullStr | Progress in riboon ion beam implantation systems development |
| title_full_unstemmed | Progress in riboon ion beam implantation systems development |
| title_short | Progress in riboon ion beam implantation systems development |
| title_sort | progress in riboon ion beam implantation systems development |
| topic | Применение ускорителей |
| topic_facet | Применение ускорителей |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17041 |
| work_keys_str_mv | AT masunoves progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT polozovsm progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT kozlovav progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT kuibedarp progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT kulevoytv progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT seleznevdn progressinriboonionbeamimplantationsystemsdevelopment AT masunoves novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT polozovsm novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT kozlovav novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT kuibedarp novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT kulevoytv novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT seleznevdn novyerezulʹtatyvrazrabotkelentočnyhionnyhpučkovdlâimplanterov AT masunoves novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív AT polozovsm novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív AT kozlovav novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív AT kuibedarp novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív AT kulevoytv novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív AT seleznevdn novírezulʹtativrozrobcístríčkovihíonnihpučkívdlâímplanterív |