Progress in riboon ion beam implantation systems development
The ribbon ion sources for ion implantation are under developing in ITEP during last 5 years. The several versions of Bernas ion source are used for ribbon ion beam production. The beam transport for low energy ribbon beam is one of main problems for ion implantation. The progress in ion sources an...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | Masunov, E.S., Polozov, S.M., Kozlov, A.V., Kuibeda, R.P., Kulevoy, T.V., Seleznev, D.N. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17041 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Progress in riboon ion beam implantation systems development / E.S. Masunov, S.M. Polozov, A.V. Kozlov, R.P. Kuibeda, T.V. Kulevoy, D.N. Seleznev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 3. — С. 177-179. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
The low energy ribbon ion beam source and transport system
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2006)
Peculiarities of ribbon ion beam dynamics in the undulator linear accelerator
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2004)
Design of the accelerator stand with the ECR-source for simulation experiments on the of radiation damage of the steels of the nuclear industry
за авторством: Chalykh, B.B., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Chalykh, B.B., та інші
Опубліковано: (2014)
Using BEAMDULAC code for multi-beam dynamics investigation in ion linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
New versions of the BEAMDULAC code for high intensity ion beam dynamics investigation
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2006)
Reconstruction of light and polarized ion beam injection system of JINR Nuclotron-NICA accelerator complex
за авторством: Andreev, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Andreev, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)
Numerical simulation of 3D ion ribbon beam dynamics in RF undulator linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2004)
Determination of the accelerated heavy ions registration threshold in multilayered polymeric films
за авторством: Vorobyova, I.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Vorobyova, I.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Space charge effects and RF focusing of ribbon beam in ion linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2001)
Design of DC potential input into H-type resonator
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
BEAMDULAC-BL code for 3D simulation of electron beam dynamics taking into account beam loading and coulomb field
за авторством: Bondarenko, T.V., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Bondarenko, T.V., та інші
Опубліковано: (2013)
The beam space charge neutralization in UNDULAC-E
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
Irradiation technique of constructional materials on the helium ions linac
за авторством: Anokhin, R.А., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Anokhin, R.А., та інші
Опубліковано: (2016)
A channel for ion irradiation of materials at the accelerator “Sokol”
за авторством: Glazunov, L.S., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Glazunov, L.S., та інші
Опубліковано: (2006)
Ion implantation, ion-beam mixing during simultaneous ion implantation and metal deposition
за авторством: M. A. Lisovenko, та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: M. A. Lisovenko, та інші
Опубліковано: (2013)
Ion implantation, ion-beam mixing during simultaneous ion implantation and metal deposition
за авторством: Lisovenko, M.A., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Lisovenko, M.A., та інші
Опубліковано: (2013)
Surface wave plasma source for broad-beam ion and electron production
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2004)
Visualization of electron beam image
за авторством: Boriskin, V.N., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Boriskin, V.N., та інші
Опубліковано: (2014)
The influence of an electron beam on the frequency of appearance of modifications and mutagens in the residual florula
за авторством: Antipov, V.S., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Antipov, V.S., та інші
Опубліковано: (2006)
Investigation of system for external injection of H⁻ ion beam on cyclotrons
за авторством: Veresov, O.L., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Veresov, O.L., та інші
Опубліковано: (2004)
Estimation of radiation risks under photonuclear production of 67Cu and 99Mo isotopes
за авторством: Ayzatskiy, M.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ayzatskiy, M.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Distributed converter for high-brightneess bremsstrahlung generation
за авторством: Biller, E.Z., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Biller, E.Z., та інші
Опубліковано: (2010)
3D simulation of ion ribbon beam self-consistent dynamics in electrostatic undulator linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2001)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2001)
Тhermodesorbtion from construction materials irradiated by ions of helium on a linear accelerator
за авторством: Anokhin, R.А., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Anokhin, R.А., та інші
Опубліковано: (2018)
99Mo and 67Cu isotope yields under production conditions of NSC KIPT electron accelerator KUT-30
за авторством: Aizatsky, N.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Aizatsky, N.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Monitoring of high energy deuteron beams in the experiments with massive targets
за авторством: Artiushenko, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Artiushenko, M.Yu., та інші
Опубліковано: (2014)
The RF system for RFQ-injector of LINAC-20
за авторством: Kuzmichev, V.G., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Kuzmichev, V.G., та інші
Опубліковано: (2013)
Radiation losses of electron energy in multilayer bimetallic media
за авторством: Borts, B.V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Borts, B.V., та інші
Опубліковано: (2010)
Analytical method for estimation isotope yield under photonuclear production
за авторством: Nikiforov, V.I., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Nikiforov, V.I., та інші
Опубліковано: (2010)
Ion beam acceleration in system from periodic sequence of independetly phased cavities
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)
Integration of computation methods in dosimetry of radiation processing
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2008)
Monitoring system for proton beam transport to the irradiation facilitie
за авторством: Skorkin, V.M., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Skorkin, V.M., та інші
Опубліковано: (2014)
Ion beam dynamics in superconducting drift tube linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2010)
Estimation of the absorbed doses of synthesized cisplatin with ¹⁹⁵mPt in various organs of animals
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2008)
Planning system for the thermoradiotherapy procedure
за авторством: Fadeev, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Fadeev, A.M., та інші
Опубліковано: (2014)
Проект установки для наработки ПЭТ-радиоизотопов на линейном ускорителе протонов ИЯИ РАН
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Акулиничев, С.В., та інші
Опубліковано: (2008)
Зависимость скорости образования радионуклидов 13N и 15O в воздухе от максимальной энергии и спектра тормозного излучения
за авторством: Ганн, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Ганн, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)
Расчет системы параллельного переноса пучка электронов в канале на 30 МэВ ускорителя ЛУЭ-300
за авторством: Хвастунов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Хвастунов, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Программный комплекс для восстановления интроскопических изображений с использованием метода дуальной энергии
за авторством: Гавриш, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Гавриш, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2010)
Схожі ресурси
-
Development of ribbon ion beam source and transport system for industrial applications
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008) -
The low energy ribbon ion beam source and transport system
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2006) -
Peculiarities of ribbon ion beam dynamics in the undulator linear accelerator
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2004) -
Design of the accelerator stand with the ECR-source for simulation experiments on the of radiation damage of the steels of the nuclear industry
за авторством: Chalykh, B.B., та інші
Опубліковано: (2014) -
Using BEAMDULAC code for multi-beam dynamics investigation in ion linac
за авторством: Masunov, E.S., та інші
Опубліковано: (2008)