Использование конденсорной системы для повышения плотности ионного тока в микрозонде ИПФ НАНУ

• Date: 2010
• Main Author: Мельник, К.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
• Subjects: Приложения и технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17360
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Использование конденсорной системы для повышения плотности ионного тока в микрозонде ИПФ НАНУ / К.И. Мельник // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 4. — С. 335-339. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Для повышения плотности ионного тока на мишени канала ядерного микрозонда в составе микроаналитического комплекса Института прикладной физики НАН Украины применена конденсорная система, состоящая из двух электростатических квадрупольных линз. Решена оптимизационная задача согласования эмиттанса пучка на входе зондоформирующей системы и аксептанса системы. Результаты использованы для настройки конденсорной системы. Проведены измерения величины тока и экспериментально определен коэффициент согласования эмиттанса и аксептанса при различных размерах зонда на мишени. Для підвищення густини іонного струму на мішені каналу ядерного мікрозонду в складі мікроаналітичного комплексу Інституту прикладної фізики НАН України застосована конденсорна система, що складається з двох електростатичних квадрупольних лінз. Вирішено оптимізаційну задачу узгодження емітансу пучка на вході зондоформуючої системи і аксептансу системи. Результати використано для налагодження конденсорної системи. Проведено вимірювання величини струму і експериментально визначено коефіцієнт узгодження емітансу і аксептансу при різних розмірах зонду на мішені. A condensing system of a microanalytical complex of Institute of Applied Physics of NAS of Ukraine consists of two electrostatic quadrupole lenses. It is used for increasing of ion current density on a target of nuclear micro-probe line of the complex. An optimization task of agreement of beam emittance and probe-forming system acceptance has been solved. The results have been used for adjustment of the condensing system. Beam current measurements were performed and a coefficient of adjustment of emittance and acceptance was determined experimentally for different probe sizes.