Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения
На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с...
Saved in:
| Date: | 2010 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17390 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862690661128470528 |
|---|---|
| author | Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| author_facet | Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. |
| citation_txt | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости.
На прикладі титан-силіцієвих композитів (вміст силіцію в катоді 4…5 ваг.%) вивчались особливості переносу складових катодного матеріалу до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом у присутності азоту. Вивчалась еволюція властивостей покриттів (мікротвердість, елементного й фазового складів) із зміною тиску газу в реакційному області. Встановлено немонотонний характер залежності вмісту силіцію в покритті від тиску газу з мінімумом в області 10^−3 Торр. Описані припущення щодо механізму формування такої залежності.
On an example of the titanium-silicon composites (the silicon content in the cathode of 4…5 wt.%) features of cathodic material components transport to the coatings, deposited by a vacuum-arc method in presence of nitrogen, were studied. Evolution of properties of the coatings (microhardness, element and phase structures) with change of the gas pressure in reaction area was studied. Nonmonotonic character of dependences of the silicon content in the coating on the gas pressure with a minimum in region of 10^−3 Тоrr is revealed . The hypothetical mechanism of formation of such dependence is described.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:13:56Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-17390 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:13:56Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. 2011-02-26T11:18:41Z 2011-02-26T11:18:41Z 2010 Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17390 621.793 На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с изменением давления газа в реакционном объёме. Установлен немонотонный характер зависимости содержания кремния в покрытии от давления газа с минимумом в области 10^−3 Торр. Описан предположительный механизм формирования такой зависимости. На прикладі титан-силіцієвих композитів (вміст силіцію в катоді 4…5 ваг.%) вивчались особливості переносу складових катодного матеріалу до покриттів, осаджуваних вакуумно-дуговим методом у присутності азоту. Вивчалась еволюція властивостей покриттів (мікротвердість, елементного й фазового складів) із зміною тиску газу в реакційному області. Встановлено немонотонний характер залежності вмісту силіцію в покритті від тиску газу з мінімумом в області 10^−3 Торр. Описані припущення щодо механізму формування такої залежності. On an example of the titanium-silicon composites (the silicon content in the cathode of 4…5 wt.%) features of cathodic material components transport to the coatings, deposited by a vacuum-arc method in presence of nitrogen, were studied. Evolution of properties of the coatings (microhardness, element and phase structures) with change of the gas pressure in reaction area was studied. Nonmonotonic character of dependences of the silicon content in the coating on the gas pressure with a minimum in region of 10^−3 Тоrr is revealed . The hypothetical mechanism of formation of such dependence is described. ru Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения Перенесення й утримання силіцію в Тi-Si-N-покриттях у процесі вакуумно-дугового осадження Transport and confinement of silicon in Тi-Si-N coatings in the course of vacuum-arc deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения Аксёнов, И.И. Белоус, В.А. Голтвяница, С.К. Голтвяница, В.С. Заднепровский, Ю.А. Куприн, А.С. Ломино, Н.С. Соболь, О.В. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_alt | Перенесення й утримання силіцію в Тi-Si-N-покриттях у процесі вакуумно-дугового осадження Transport and confinement of silicon in Тi-Si-N coatings in the course of vacuum-arc deposition |
| title_full | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_fullStr | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_full_unstemmed | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_short | Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| title_sort | перенос и удержание кремния в тi-si-n-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17390 |
| work_keys_str_mv | AT aksenovii perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT belousva perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT goltvânicask perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT goltvânicavs perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT zadneprovskiiûa perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT kuprinas perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT lominons perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT sobolʹov perenosiuderžaniekremniâvtisinpokrytiâhvprocessevakuumnodugovogoosaždeniâ AT aksenovii perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT belousva perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT goltvânicask perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT goltvânicavs perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT zadneprovskiiûa perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT kuprinas perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT lominons perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT sobolʹov perenesennâiutrimannâsilícíûvtisinpokrittâhuprocesívakuumnodugovogoosadžennâ AT aksenovii transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT belousva transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT goltvânicask transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT goltvânicavs transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT zadneprovskiiûa transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT kuprinas transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT lominons transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition AT sobolʹov transportandconfinementofsiliconintisincoatingsinthecourseofvacuumarcdeposition |