Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения

• Date: 2010
• Main Authors: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А., Голтвяница, С.К., Голтвяница, В.С., Заднепровский, Ю.А., Куприн, А.С., Ломино, Н.С., Соболь, О.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17390
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Перенос и удержание кремния в Тi-Si-N-покрытиях в процессе вакуумно-дугового осаждения / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус, С.К. Голтвяница, В.С. Голтвяница, Ю.А. Заднепровский, А.С. Куприн, Н.С. Ломино, О.В. Соболь // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 5. — С. 119-125. — Бібліогр.: 17 назв. — рос.

На примере титан-кремниевых композитов (содержание кремния в катоде 4…5 вес.%) изучались особенности переноса составляющих катодного материала к покрытиям, осаждаемым вакуумно-дуговым методом в присутствии азота. Изучалась эволюция свойств покрытий (микротвёрдости, элементного и фазового составов) с...