Объемные микроволновые резонаторы с азимутальной симметрией для оценки концентрации электронов в низкотемпературной плазме

• Published in: Технічна механіка
• Date: 2019
• Main Author: Заболотный, П.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут технічної механіки НАН України і НКА України 2019
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/173983
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Объемные микроволновые резонаторы с азимутальной симметрией для оценки концентрации электронов в низкотемпературной плазме / П.И. Заболотный // Технічна механіка. — 2019. — № 1. — С. 75-84. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.

В работе рассматривается вопрос оценки эффективности применения объемных микроволновых резонаторов с азимутальной симметрией для оценки концентрации электронов в низкотемпературной плазме. При диагностике низкотемпературной плазмы в свободном пространстве, как правило, отсутствует явно выраженная азимутально-симметричная форма исследуемой области плазмы. В роботі розглядається питання оцінки ефективності застосування об'ємних мікрохвильових резонаторів з азимутальною симетрією для оцінки концентрації електронів у низькотемпературній плазмі. При діагностиці низькотемпературної плазми у вільному просторі, як правило, відсутня явно виражена азимутально-симетрична форма області плазми, яка підлягає дослідженню. This paper considers the efficiency of azimuthally symmetric microwave cavities in assessing the electron density in a low-temperature plasma. In free-space low-temperature plasma diagnostics, the shape of the plasma area under study usually does not have any pronounced azimuthal symmetry.