Зображення обкладинки

Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур

Введение. Поверхностные микро- и наноструктуры находят свое применение в различных физических приложениях, таких как рентгеновская оптика, фотоника, микроэлектромеханические системы, метаматериалы и др. Проблематика. Существующие методы фабрикации таких структур являются либо дорогостоящими...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Наука та інновації
Дата:	2019
Автори:	Пономарев, А.Г., Ребров, В.А., Колинько, С.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2019
Теми:	Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174052
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур / А.Г. Пономарев, В.А. Ребров, С.В. Колинько // Наука та інновації. — 2019. — Т. 15, № 4. — С. 62-69. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Оптимизация параметров зондоформирующей системы ядерного сканирующего микрозонда на базе электростатического ускорителя «Сокол»
за авторством: Пономарев, А.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Изготовление микро- и наноразмерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития
за авторством: Сторижко, В.Е., та інші
Опубліковано: (2012)

Плазмохімічна установка очищення трапних вод АЕС
за авторством: Забулонов, Ю.Л., та інші
Опубліковано: (2018)

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Установка для нанесения покрытий методом атомно-ионного распыления материалов
за авторством: Батурин, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Установка для виробництва теплоізоляційного заповнювача у вигляді порожнистих мікрокульок
за авторством: Костогриз, К.П.
Опубліковано: (2013)

Многоэлементный протонно-активационный анализ
за авторством: Гончаров, K.С., та інші
Опубліковано: (1999)

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2009)

Комплекс радиационной обработки на базе ускорителя электронов «Электроника У-003»
за авторством: Ташметов, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Численная характеризация порового пространства наноструктур на базе метода Вороного–Делоне
за авторством: Картузов, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Розробка науково-технічних основ блоків детектування на основі системи сцинтилятор–фотодіод для позитронно-емісійного томографа
за авторством: Гриньов, Б.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Комплекс параметричної діагностики основного обладнання компресорних станцій систем трубопровідного транспорту газу та результати його апробації
за авторством: Лещенко, І.Ч.
Опубліковано: (2006)

Прогнозування нафтогазоносності гірських порід з використанням швидкостей пружних хвиль, коефіцієнтів поглинання та рекурентних співвідношень
за авторством: Малицький, Д.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Сучасна технологія виробництва функціональних напоїв на основі сої
за авторством: Долінський, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Рента та розвиток рентних відносин в Україні
за авторством: Данилишин, Б.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Малозатратная модернизация цилиндра низкого давления турбины К-300-240 с учетом переменного режима функционирования турбоагрегата
за авторством: Тарелин, А.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Технологічний комплекс для інтенсифікації видобутку енергоносіїв
за авторством: Даниленко, В.А., та інші
Опубліковано: (2006)

Повышение КПД проточной части цилиндра высокого давления паровой турбины на основе расчетов трехмерного вязкого течения
за авторством: Ершов, С.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Современные технологии очистки воды
за авторством: Гончарук, В.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Приборы на основе CdTe и CdZnTe для технологического контроля и мониторинга радиационной обстановки на АЭС
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Ефективність застосування системи горизонтальних свердловин для вилучення запасів високов’язкої нафти
за авторством: Єгер, Д.О., та інші
Опубліковано: (2006)

Модульне сховище для довгострокового контрольованого зберігання радіоактивних відходів низької та середньої активності
за авторством: Андріанов, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2006)

Розробка та підготовка до впровадження нового вітчизняного кардіопротекторного препарату – фторвмісного активатора АТФ-залежних калієвих каналів флокалін
за авторством: Мойбенко, О.О., та інші
Опубліковано: (2006)

Електромагнітна пошуково-вимірювальна система ІМК-5
за авторством: Драбич, П.П., та інші
Опубліковано: (2006)

Agrobacterium-опосередкована транзієнтна експресія: перспективний підхід для масштабної продукції рекомбінантних білків у рослинах
за авторством: Шелудько, Ю.В., та інші
Опубліковано: (2006)

Виробництво партії трубних заготовок трекс-труб та виготовлення дослідно-промислової партії твельних труб зі сплаву Zr1Nb із вітчизняної сировини
за авторством: Ажажа, В.М., та інші
Опубліковано: (2006)

Градуировка роторного вольтметра электростатического генератора ELIAS
за авторством: Астахов, А.М., та інші
Опубліковано: (2003)

Экранирование электростатического потенциала в системе композитных фермионов
за авторством: Филь, Д.В.
Опубліковано: (1998)

Исследование влияния электростатического поля на породы базальтового сырья
за авторством: Булат, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2014)

Експресія гена протонно-натрієвого обміннику HvNHX2 ячменю в рослинах тютюну покращує показники солестійкості
за авторством: Ісаєнков, С.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Технологія протикорозійного захисту сталевих конструкцій покриттями на основі швидкотвердної бітумно-латексної емульсії
за авторством: Никифорчин, Г.М., та інші
Опубліковано: (2016)

Організація серійного виробництва вітчизняного біологічно активного клею для використання в медицині
за авторством: Лебедєв, Є.В., та інші
Опубліковано: (2016)

Разработка и внедрение технологического процесса электроразрадного разрушения донных грунтов
за авторством: Ризун, А.Р., та інші
Опубліковано: (2007)

Діагностична система бездротової передачі сигналів акустичної емісії для моніторингу об’єктів нафтогазового комплексу
за авторством: Скальський, В.Р., та інші
Опубліковано: (2016)

Технологічний процес та обладнання для електророзрядного локального знеміцнення грунтів різної міцності і структури
за авторством: Різун, А.Р., та інші
Опубліковано: (2014)

Розробка та модифікація фотополімеризаційного адгезиву для технологічних процесів оздоблення поліграфічної продукції
за авторством: Гранчак, В.М., та інші
Опубліковано: (2012)

Раціональне використання природного потенціалу Державного дендрологічного парку "Олександрія" НАН України в концепції розвитку екологічної мережі України
за авторством: Галкін, С.І., та інші
Опубліковано: (2014)

Комп’ютеризована система для відбору та обробки сигналів магнітопружної акустичної емісії
за авторством: Почапський, Є.П.
Опубліковано: (2012)

Розроблення та випробування технології комплексного трансформування вуглеводного складу рослинної сировини у біоетанол
за авторством: Циганков, С.П., та інші
Опубліковано: (2013)

Фотополімерні композиційні матеріали для захисних покриттів друкованих плат
за авторством: Сисюк, В.Г., та інші
Опубліковано: (2008)