Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур

• Date: 2019
• Main Authors: Пономарев, А.Г., Ребров, В.А., Колинько, С.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2019
• Series: Наука та інновації
• Subjects: Науково-технічні інноваційні проекти Національної академії наук України
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174052
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Установка протонно-лучевой литографии на базе электростатического ускорителя для фабрикации 3D микро- и наноструктур / А.Г. Пономарев, В.А. Ребров, С.В. Колинько // Наука та інновації. — 2019. — Т. 15, № 4. — С. 62-69. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Введение. Поверхностные микро- и наноструктуры находят свое применение в различных физических приложениях, таких как рентгеновская оптика, фотоника, микроэлектромеханические системы, метаматериалы и др. Проблематика. Существующие методы фабрикации таких структур являются либо дорогостоящими, либо н...