Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
В работе решалась задача создания импульсного источника питания разряда, совместимого с технологическими плазменными устройствами магнетронного типа, имеющими несбалансированную магнитную систему. Целью работы было создание схемы модуляции разрядного напряжения разряда магнетрона, основанной на недо...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Технічна механіка |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут технічної механіки НАН України і НКА України
2019
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174090 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда / А.Д. Гришкевич, С.И. Гринюк // Технічна механіка.— 2019.— № 4.— С. 137-147.— Бібліогр.: 12 назв.— рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862716001249918976 |
|---|---|
| author | Гришкевич, А.Д. Гринюк, С.И. |
| author_facet | Гришкевич, А.Д. Гринюк, С.И. |
| citation_txt | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда / А.Д. Гришкевич, С.И. Гринюк // Технічна механіка.— 2019.— № 4.— С. 137-147.— Бібліогр.: 12 назв.— рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технічна механіка |
| description | В работе решалась задача создания импульсного источника питания разряда, совместимого с технологическими плазменными устройствами магнетронного типа, имеющими несбалансированную магнитную систему. Целью работы было создание схемы модуляции разрядного напряжения разряда магнетрона, основанной на недорогих, доступных электронных компонентах. Рассматриваются возможности реализации комплексной технологии поверхностной обработки, базирующиеся на использовании импульсного потока энергетичной газометаллической плазмы, генерируемого аномальным тлеющим разрядом с замкнутым дрейфом электронов.
В роботі вирішувалася задача створення імпульсного джерела живлення розряду, сумісного з технологічними плазмовими пристроями магнетронного типу, що мають незбалансовану магнітну систему. Метою роботи було розроблення схеми модуляції розрядного струму магнетрона, що заснована на недорогих, доступних електронних компонентах. Розглядаються можливості реалізації комплексної технології поверхневої обробки, що базуються на використанні імпульсного потоку енергетичної газометалевої плазми, що генерується аномальним тліючим розрядом із замкнутим дрейфом електронів.
This paper addresses the problem of the development of a discharge power source compatible with plasma magnetron-type process devices with an unbalanced magnetic system. The aim of the work was to develop a circuit for magnetron discharge voltage modulation based on inexpensive electron components. Consideration is given to possibilities of implementing a package surface treatment technology using a pulsed flow of an energetic gas–metal plasma generated by an anomalous glow discharge with closed electron drift.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:01:43Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-174090 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1561-9184 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:01:43Z |
| publishDate | 2019 |
| publisher | Інститут технічної механіки НАН України і НКА України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гришкевич, А.Д. Гринюк, С.И. 2021-01-01T20:34:06Z 2021-01-01T20:34:06Z 2019 Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда / А.Д. Гришкевич, С.И. Гринюк // Технічна механіка.— 2019.— № 4.— С. 137-147.— Бібліогр.: 12 назв.— рос. 1561-9184 DOI: doi.org/10.15407/itm2019.04.137 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174090 621.002.56 В работе решалась задача создания импульсного источника питания разряда, совместимого с технологическими плазменными устройствами магнетронного типа, имеющими несбалансированную магнитную систему. Целью работы было создание схемы модуляции разрядного напряжения разряда магнетрона, основанной на недорогих, доступных электронных компонентах. Рассматриваются возможности реализации комплексной технологии поверхностной обработки, базирующиеся на использовании импульсного потока энергетичной газометаллической плазмы, генерируемого аномальным тлеющим разрядом с замкнутым дрейфом электронов. В роботі вирішувалася задача створення імпульсного джерела живлення розряду, сумісного з технологічними плазмовими пристроями магнетронного типу, що мають незбалансовану магнітну систему. Метою роботи було розроблення схеми модуляції розрядного струму магнетрона, що заснована на недорогих, доступних електронних компонентах. Розглядаються можливості реалізації комплексної технології поверхневої обробки, що базуються на використанні імпульсного потоку енергетичної газометалевої плазми, що генерується аномальним тліючим розрядом із замкнутим дрейфом електронів. This paper addresses the problem of the development of a discharge power source compatible with plasma magnetron-type process devices with an unbalanced magnetic system. The aim of the work was to develop a circuit for magnetron discharge voltage modulation based on inexpensive electron components. Consideration is given to possibilities of implementing a package surface treatment technology using a pulsed flow of an energetic gas–metal plasma generated by an anomalous glow discharge with closed electron drift. ru Інститут технічної механіки НАН України і НКА України Технічна механіка Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда Розробка й дослідження макета низькочастотного джерела живлення потужнострумового імпульсного магнетронного розряду Development and study of a prototype low-frequency power source for a high-current pulsed magnetron discharge Article published earlier |
| spellingShingle | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда Гришкевич, А.Д. Гринюк, С.И. |
| title | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| title_alt | Розробка й дослідження макета низькочастотного джерела живлення потужнострумового імпульсного магнетронного розряду Development and study of a prototype low-frequency power source for a high-current pulsed magnetron discharge |
| title_full | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| title_fullStr | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| title_full_unstemmed | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| title_short | Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| title_sort | разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174090 |
| work_keys_str_mv | AT griškevičad razrabotkaiissledovaniemaketanizkočastotnogoistočnikapitaniâsilʹnotočnogoimpulʹsnogomagnetronnogorazrâda AT grinûksi razrabotkaiissledovaniemaketanizkočastotnogoistočnikapitaniâsilʹnotočnogoimpulʹsnogomagnetronnogorazrâda AT griškevičad rozrobkaidoslídžennâmaketanizʹkočastotnogodžerelaživlennâpotužnostrumovogoímpulʹsnogomagnetronnogorozrâdu AT grinûksi rozrobkaidoslídžennâmaketanizʹkočastotnogodžerelaživlennâpotužnostrumovogoímpulʹsnogomagnetronnogorozrâdu AT griškevičad developmentandstudyofaprototypelowfrequencypowersourceforahighcurrentpulsedmagnetrondischarge AT grinûksi developmentandstudyofaprototypelowfrequencypowersourceforahighcurrentpulsedmagnetrondischarge |