Bizyukov, A., Girka, O., Sereda, K., Sleptsov, V., & Chunadra, A. (2010). Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bizyukov, A.A, O.I Girka, K.N Sereda, V.V Sleptsov, und A.G Chunadra. Control of Planar Magnetron Sputtering System Operating Modes by Additional Anode Magnetic Field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Bizyukov, A.A, et al. Control of Planar Magnetron Sputtering System Operating Modes by Additional Anode Magnetic Field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.