Bizyukov, A., Girka, O., Sereda, K., Sleptsov, V., & Chunadra, A. (2010). Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України.
Chicago Style (17th ed.) CitationBizyukov, A.A, O.I Girka, K.N Sereda, V.V Sleptsov, and A.G Chunadra. Control of Planar Magnetron Sputtering System Operating Modes by Additional Anode Magnetic Field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010.
MLA (8th ed.) CitationBizyukov, A.A, et al. Control of Planar Magnetron Sputtering System Operating Modes by Additional Anode Magnetic Field. Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України, 2010.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.