Зображення обкладинки

Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field

The control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field was investigated. It was shown that additional anode magnetic field substantially affects to planar magnetron-sputtering system (MSS) balancing and allows adjusting the electron fluxes intensity to t...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2010
Автори:	Bizyukov, A.A., Girka, O.I., Sereda, K.N., Sleptsov, V.V., Chunadra, A.G.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17485
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Control of planar magnetron sputtering system operating modes by additional anode magnetic field / A.A. Bizyukov, O.I. Girka, K.N. Sereda, V.V. Sleptsov, A.G. Chunadra // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 144-146. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

High-current pulsed operation modes of the planar MSS with magnetically insulated anode without transition to the arc discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Features of coatings deposition in combined stationary-pulsed operation mode of the magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2017)

Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
за авторством: Chunadra, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Synthesis of TiO₂ different phase by DC magnetron sputtering
за авторством: Dobrovolskiy, A., та інші
Опубліковано: (2014)

Design and research of combined magnetron-ion-beam sputtering system
за авторством: Dudin, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Structure of Fe-Cu coatings prepared by the magnetron sputtering method
за авторством: Nowakowska-Langier, K., та інші
Опубліковано: (2010)

Experimental investigation and computer simulation of the magnetron sputtering device with two erosion zones
за авторством: Bogdanov, R.V., та інші
Опубліковано: (2013)

Structure and modes of dc glow discharge in nitrogen with hollow cathode or anode
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Phase states of macroparticles under interaction of keV ion beam with dusty plasma
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Anode curvature influence on characteristics of negative corona discharge under Trichel pulsed mode
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Charging processes of metal macroparticles in the low-temperature plasma at presence of high-energy electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Anodic electron sheaths in low pressure hollow cathode discharge with large size anode
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2015)

Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Magnetron with a concave hemispherical cathode
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Anode diameter effect on ignition and burning of DC discharge
за авторством: Lisovskiy, V., та інші
Опубліковано: (2011)

On relation between the autoemitter top field, anode voltage and cathode geometry
за авторством: Stetsenko, B.V., та інші
Опубліковано: (2009)

Capture and transport of macroparticles in curved plasma duct at low magnetic field in the presence of an electron beam
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2014)

Erosion of vacuum-arc TiN coatings in plasma of stationary magnetron-type discharges
за авторством: Glazunov, G.P., та інші
Опубліковано: (2011)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Helicon discharge excited by a planar antenna in bounded volume
за авторством: Virko, V.F., та інші
Опубліковано: (2014)

Excitation of self-sustained secondary emission by gas discharge and hollow beam generation in magnetron injection gun
за авторством: Cherenshchykov, S.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

The size effect and x-ray fluorescenc spectra of metallic nanoparticles
за авторством: Kolyada, Yu.E., та інші
Опубліковано: (2017)

Decay of liquid metallic macroparticles in plasma-beam systems due to rayleigh instability
за авторством: Bizyukov, A.A, та інші
Опубліковано: (2017)

Intrinsic stresses in DLC coatings deposited in modes of DC and pulse bias potentials
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2015)

Measurement of the plasma density in two modes of pulsed discharge burning in the penning cell
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Features of electron beam evaporation under surface electron beam formation
за авторством: Mysiura, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)

Hydrogen injector based on penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2018)

Neon cryovacuum system for endurance tests of electrojet propulsion systems
за авторством: Batracov, A.B., та інші
Опубліковано: (2015)

Non-self-sustained arc discharge in vapors of constructional materials of nuclear power engineering
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of hydrogen supply on emissive characteristics of pig with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Longitudinal extraction of H⁻ ions from Penning discharge with metal-hydride cathode
за авторством: Sereda, I.N., та інші
Опубліковано: (2017)