Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
The results of systematic experimental researches of ICP reactor are presented. Experimental results on spatial distribution of local plasma parameters (plasma density, temperature and electron energy distribution function) and radial profiles of ion current to processed surface are presented for at...
Gespeichert in:
| Datum: | 2010 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17487 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor / S.V. Dudin, A.N. Dahov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 150-152. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |