Зображення обкладинки

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor

The results of systematic experimental researches of ICP reactor are presented. Experimental results on spatial distribution of local plasma parameters (plasma density, temperature and electron energy distribution function) and radial profiles of ion current to processed surface are presented for at...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2010
Автори:	Dudin, S.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
Теми:	Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17487
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor / S.V. Dudin, A.N. Dahov, V.I. Farenik // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 150-152. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source
за авторством: Dakhov, A.N., та інші
Опубліковано: (2014)

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Plasma assisted deposition of TaB₂ coatings by magnetron sputtering system
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2017)

Integral cluster set-up for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S.D., та інші
Опубліковано: (2011)

About peculiarities of self-bias voltage formation in plasma-chemical reactors with controlled magnetic fields
за авторством: Hladkovskiy, V.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Influence of plasma stream parameters in pulsed plasma gun on modification processes in exposed structural materials
за авторством: Byrka, O.V., та інші
Опубліковано: (2011)

Ozone decay in chemical reactor with the developed inner surface
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Double magnetron cluster set-up for synthesis of micro and nano structure coatings
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2015)

Technological aprobation of integral cluster setup for complex compound composites syntesis
за авторством: Yakovin, S., та інші
Опубліковано: (2012)

Ozone decay in chemical reactor for ozone-dynamical disintegration of used tyres
за авторством: Golota, V.I., та інші
Опубліковано: (2011)

Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources
за авторством: Dudin, S.V.
Опубліковано: (2013)

Investigations on the parameters of multicomponent gas-metal plasma formed in the mixed molecular gases
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2017)

Investigation on the possibility of determining plasma parameters by the method of low-frequency diagnostics
за авторством: Kovtun, Yu.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Plasma parameters estimation in the non-self-sustained gas discharge with hollow anode
за авторством: Misiruk, I.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Estimation of atomic density distribution in DC arc plasma using self-absorbed emission lines
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2015)

Effect of the parameters of a gas-discharge plasma on the equilibrium temperature and floating potential of macroparticle
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2012)

Technological studies of the plasmachemical reactor with сlosed electron drift
за авторством: Fedorovich, O.A., та інші
Опубліковано: (2009)

Ion energy distribution and basic characteristics of plasma flows of nonself-sustained arc discharge
за авторством: Borisenko, A.G., та інші
Опубліковано: (2015)

Peculiarities of the oxide plasma creation using carbonate compounds
за авторством: Shariy, S.V., та інші
Опубліковано: (2018)

Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of plasma nucleus form on radiation orientation in high-current pulse plasma diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2010)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Distribution of the gas temperature in streamer discharge in air
за авторством: Bolotov, O.V., та інші
Опубліковано: (2014)

Plasma reforming of ethanol in DGCLW discharge
за авторством: Yukhymenko, V.V., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma-catalytic reforming of liquid hydrocarbons
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2015)

Plasma assisted combustion of paraffin
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Generator of low pressure volume plasma with plasma electron source
за авторством: Khomich, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Ethanol reforming in plasma-liquid system with postdischarge hightemperature pyrolitic chamber
за авторством: Sidoruk, S.M., та інші
Опубліковано: (2011)

Modification of Ti-Zr-Ni alloys by powerful plasma stream of different gases
за авторством: Bazdyrieva, S.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Dynamic of wall currents in pulse plasma diode in tin vapor
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2011)

Plasma-liquid system with reverse vortex flow of “tornado” type (TORNADO-LE)
за авторством: Nedybaliuk, O.A., та інші
Опубліковано: (2010)

Investigation of DC glow discharge in CO₂ using optical emission spectroscopy
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2018)

Investigations of thermal plasma with metal impurities. Part І: The influence of electrodes composition on plasma properties
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2012)

Hybrid plasma-catalytic reforming of ethanol aerosol
за авторством: Solomenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2015)

Particle charging in beam-plasma systems
за авторством: Bizyukov, А.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Plasma catalysis of chemical reactions
за авторством: Chernyak, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2014)

The influence of irradiation by hydrogen plasma on the structure and phase compozition Ti-Zr-Ni alloys containing quasicrystalline phase
за авторством: Bazdyreva, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

The conceptual design of a demo-imitation separatorthe model of a plasma mass filter for irradiated oxide uranium fuel
за авторством: Yuferov, V.B., та інші
Опубліковано: (2018)

Dynamics and directions of extreme ultraviolet radiation from plasma of the high-current pulse diode
за авторством: Tseluyko, A.F., та інші
Опубліковано: (2009)