The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma

The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2010
Hauptverfasser: Walkowicz, J., Bujak, J., Zavaleyev, V.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2010
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-17497
record_format dspace
spelling Walkowicz, J.
Bujak, J.
Zavaleyev, V.
2011-02-26T23:00:30Z
2011-02-26T23:00:30Z
2010
The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
1562-6016
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497
The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings revealed considerable amount of oxygen in deposited DLC film. Additional alloying of DLC films with chromium reduced the concentration of oxygen. The presence of oxygen affects the properties of DLC coatings, which was confirmed by the investigation of the hardness and adhesion.
Изучаются многослойные покрытия Cr-CrN-DLC, осажденные методом MePIIID, на подложках из быстрорежущей стали HS 6-5-2. Отфильтрованные потоки углеродной и металлической плазмы использовались в ионной имплантации и осаждении покрытий. Исследование химического состава Cr-CrN-DLC-покрытий показало значительное количество кислорода в осажденных DLC-пленках. Дополнительное легирование пленок DLC хромом сократило концентрацию кислорода. Присутствие кислорода влияет на свойства покрытий DLC, которые были подвержены исследованиям на твердость и адгезию.
Вивчаються багатошарові покриття Cr-CrN-DLC, осадженні методом MePIIID, на підкладках з швидкорізальної сталі HS 6-5-2. Відфільтровані потоки вуглецевої та металевої плазми використовувались в іонній імплантації та осадженні покриттів. Дослідження хімічного складу Cr-CrN-DLC-покриттів виявило значну кількість кисню в осаджених DLC-плівках. Додаткове легування плівок DLC хромом зменшило концентрацію кисню. Присутність кисню впливає на властивості покриттів DLC, які були досліджені на твердість та адгезію.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
Эффект непреднамеренного внедрения кислорода в Cr-CrN-DLC-покрытия, осажденные методом MePIIID, с использованием фильтрованной вакуумно-дуговой углеродной и металлической плазмы
Ефект ненавмисного проникнення кисню у Cr-CrN-DLC-покриття, осадженні методом MePIIID, з використанням фільтрованої вакуумно-дугової вуглецевої та металевої плазми
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
spellingShingle The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
Walkowicz, J.
Bujak, J.
Zavaleyev, V.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
title_full The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
title_fullStr The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
title_full_unstemmed The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
title_sort effect of unintentional oxygen incorporation into cr-crn-dlc coatings deposited by mepiiid method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
author Walkowicz, J.
Bujak, J.
Zavaleyev, V.
author_facet Walkowicz, J.
Bujak, J.
Zavaleyev, V.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2010
language English
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Эффект непреднамеренного внедрения кислорода в Cr-CrN-DLC-покрытия, осажденные методом MePIIID, с использованием фильтрованной вакуумно-дуговой углеродной и металлической плазмы
Ефект ненавмисного проникнення кисню у Cr-CrN-DLC-покриття, осадженні методом MePIIID, з використанням фільтрованої вакуумно-дугової вуглецевої та металевої плазми
description The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings revealed considerable amount of oxygen in deposited DLC film. Additional alloying of DLC films with chromium reduced the concentration of oxygen. The presence of oxygen affects the properties of DLC coatings, which was confirmed by the investigation of the hardness and adhesion. Изучаются многослойные покрытия Cr-CrN-DLC, осажденные методом MePIIID, на подложках из быстрорежущей стали HS 6-5-2. Отфильтрованные потоки углеродной и металлической плазмы использовались в ионной имплантации и осаждении покрытий. Исследование химического состава Cr-CrN-DLC-покрытий показало значительное количество кислорода в осажденных DLC-пленках. Дополнительное легирование пленок DLC хромом сократило концентрацию кислорода. Присутствие кислорода влияет на свойства покрытий DLC, которые были подвержены исследованиям на твердость и адгезию. Вивчаються багатошарові покриття Cr-CrN-DLC, осадженні методом MePIIID, на підкладках з швидкорізальної сталі HS 6-5-2. Відфільтровані потоки вуглецевої та металевої плазми використовувались в іонній імплантації та осадженні покриттів. Дослідження хімічного складу Cr-CrN-DLC-покриттів виявило значну кількість кисню в осаджених DLC-плівках. Додаткове легування плівок DLC хромом зменшило концентрацію кисню. Присутність кисню впливає на властивості покриттів DLC, які були досліджені на твердість та адгезію.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497
citation_txt The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT walkowiczj theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
AT bujakj theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
AT zavaleyevv theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
AT walkowiczj éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy
AT bujakj éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy
AT zavaleyevv éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy
AT walkowiczj efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi
AT bujakj efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi
AT zavaleyevv efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi
AT walkowiczj effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
AT bujakj effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
AT zavaleyevv effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma
first_indexed 2025-12-01T14:23:51Z
last_indexed 2025-12-01T14:23:51Z
_version_ 1850860446630805504