The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma
The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings...
Збережено в:
| Дата: | 2010 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862648591216017408 |
|---|---|
| author | Walkowicz, J. Bujak, J. Zavaleyev, V. |
| author_facet | Walkowicz, J. Bujak, J. Zavaleyev, V. |
| citation_txt | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| description | The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings revealed considerable amount of oxygen in deposited DLC film. Additional alloying of DLC films with chromium reduced the concentration of oxygen. The presence of oxygen affects the properties of DLC coatings, which was confirmed by the investigation of the hardness and adhesion.
Изучаются многослойные покрытия Cr-CrN-DLC, осажденные методом MePIIID, на подложках из быстрорежущей стали HS 6-5-2. Отфильтрованные потоки углеродной и металлической плазмы использовались в ионной имплантации и осаждении покрытий. Исследование химического состава Cr-CrN-DLC-покрытий показало значительное количество кислорода в осажденных DLC-пленках. Дополнительное легирование пленок DLC хромом сократило концентрацию кислорода. Присутствие кислорода влияет на свойства покрытий DLC, которые были подвержены исследованиям на твердость и адгезию.
Вивчаються багатошарові покриття Cr-CrN-DLC, осадженні методом MePIIID, на підкладках з швидкорізальної сталі HS 6-5-2. Відфільтровані потоки вуглецевої та металевої плазми використовувались в іонній імплантації та осадженні покриттів. Дослідження хімічного складу Cr-CrN-DLC-покриттів виявило значну кількість кисню в осаджених DLC-плівках. Додаткове легування плівок DLC хромом зменшило концентрацію кисню. Присутність кисню впливає на властивості покриттів DLC, які були досліджені на твердість та адгезію.
|
| first_indexed | 2025-12-01T14:23:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-17497 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T14:23:51Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Walkowicz, J. Bujak, J. Zavaleyev, V. 2011-02-26T23:00:30Z 2011-02-26T23:00:30Z 2010 The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma / J. Walkowicz, J. Bujak, V. Zavaleyev // Вопросы атомной науки и техники. — 2010. — № 6. — С. 179-181. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497 The multilayer Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method on substrates made of high speed steel HS 6-5-2 were studied. The streams of filtered carbon and metal arc plasma were used in both ion implantation and deposition phases. Investigation of the chemical composition of Cr-CrN-DLC coatings revealed considerable amount of oxygen in deposited DLC film. Additional alloying of DLC films with chromium reduced the concentration of oxygen. The presence of oxygen affects the properties of DLC coatings, which was confirmed by the investigation of the hardness and adhesion. Изучаются многослойные покрытия Cr-CrN-DLC, осажденные методом MePIIID, на подложках из быстрорежущей стали HS 6-5-2. Отфильтрованные потоки углеродной и металлической плазмы использовались в ионной имплантации и осаждении покрытий. Исследование химического состава Cr-CrN-DLC-покрытий показало значительное количество кислорода в осажденных DLC-пленках. Дополнительное легирование пленок DLC хромом сократило концентрацию кислорода. Присутствие кислорода влияет на свойства покрытий DLC, которые были подвержены исследованиям на твердость и адгезию. Вивчаються багатошарові покриття Cr-CrN-DLC, осадженні методом MePIIID, на підкладках з швидкорізальної сталі HS 6-5-2. Відфільтровані потоки вуглецевої та металевої плазми використовувались в іонній імплантації та осадженні покриттів. Дослідження хімічного складу Cr-CrN-DLC-покриттів виявило значну кількість кисню в осаджених DLC-плівках. Додаткове легування плівок DLC хромом зменшило концентрацію кисню. Присутність кисню впливає на властивості покриттів DLC, які були досліджені на твердість та адгезію. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma Эффект непреднамеренного внедрения кислорода в Cr-CrN-DLC-покрытия, осажденные методом MePIIID, с использованием фильтрованной вакуумно-дуговой углеродной и металлической плазмы Ефект ненавмисного проникнення кисню у Cr-CrN-DLC-покриття, осадженні методом MePIIID, з використанням фільтрованої вакуумно-дугової вуглецевої та металевої плазми Article published earlier |
| spellingShingle | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma Walkowicz, J. Bujak, J. Zavaleyev, V. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| title_alt | Эффект непреднамеренного внедрения кислорода в Cr-CrN-DLC-покрытия, осажденные методом MePIIID, с использованием фильтрованной вакуумно-дуговой углеродной и металлической плазмы Ефект ненавмисного проникнення кисню у Cr-CrN-DLC-покриття, осадженні методом MePIIID, з використанням фільтрованої вакуумно-дугової вуглецевої та металевої плазми |
| title_full | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| title_fullStr | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| title_full_unstemmed | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| title_short | The effect of unintentional oxygen incorporation into Cr-CrN-DLC coatings deposited by MePIIID method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| title_sort | effect of unintentional oxygen incorporation into cr-crn-dlc coatings deposited by mepiiid method using filtered cathodic vacuum arc carbon and metal plasma |
| topic | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet | Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17497 |
| work_keys_str_mv | AT walkowiczj theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma AT bujakj theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma AT zavaleyevv theeffectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma AT walkowiczj éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy AT bujakj éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy AT zavaleyevv éffektneprednamerennogovnedreniâkislorodavcrcrndlcpokrytiâosaždennyemetodommepiiidsispolʹzovaniemfilʹtrovannoivakuumnodugovoiuglerodnoiimetalličeskoiplazmy AT walkowiczj efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi AT bujakj efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi AT zavaleyevv efektnenavmisnogoproniknennâkisnûucrcrndlcpokrittâosadžennímetodommepiiidzvikoristannâmfílʹtrovanoívakuumnodugovoívuglecevoítametalevoíplazmi AT walkowiczj effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma AT bujakj effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma AT zavaleyevv effectofunintentionaloxygenincorporationintocrcrndlccoatingsdepositedbymepiiidmethodusingfilteredcathodicvacuumarccarbonandmetalplasma |