Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина

Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при темп...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Физика низких температур
Date:1996
Main Authors: Каширин, В.Ю., Комник, Ю.Ф., Красовицкий, Вит.Б., Миронов, О.А., Макаровский, О.Н., Emeleus, C.J., Whall, T.E.
Format: Article
Language:Russian
Published: Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України 1996
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174976
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1859822579752108032
author Каширин, В.Ю.
Комник, Ю.Ф.
Красовицкий, Вит.Б.
Миронов, О.А.
Макаровский, О.Н.
Emeleus, C.J.
Whall, T.E.
author_facet Каширин, В.Ю.
Комник, Ю.Ф.
Красовицкий, Вит.Б.
Миронов, О.А.
Макаровский, О.Н.
Emeleus, C.J.
Whall, T.E.
citation_txt Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физика низких температур
description Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при температурах выше 30 К свойства образцов отражают поведение электронов не только в самом δ-слое, но и в прилегающих к нему областях, имеющих свойства легированною полупроводника с четко выраженной температурной областью экспоненциальной зависимости сопротивления от обратной температуры. Вивчено температурну зміну (в інтервалі 1,6-300 К) електронних кінетичних характеристик (провідності, магнітоопору, ерс Холла) кристалів епітаксійного кремнію, що містять у собі δ(Sb)-шар з різною поверхневою концентрацією легуючих атомів стибію. Вперше установлено, що при температурах вищих ніж 30 К властивості зразків відображують поведінку електронів не тільки в самому δ-шарі, але й в прилеглих до нього областях, які мають властивості легуючого напівпровідника з чітко виявленою температурною областю експоненційної залежності опору від зворотної температури. The variation of electronic kinetic characteristics (conductivity, magnetoresistance, Hall emf) with temperature has been studied over а temperaiure range 1.6-300 К in epitaxial Si crystals involving δ(Sb) layer with а different sheet concentration of Sb doping atoms. It has been established for the first time that at the temperatures above 30 К the properties of these samples reflect the behavior of electrons not only in the very δ-layer but also in the adjacent regions showing the alloyed semiconductor properties with а clearly defined temperature region of exponential variation of resistance with inverse temperature.
first_indexed 2025-12-07T15:26:08Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-174976
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 0132-6414
language Russian
last_indexed 2025-12-07T15:26:08Z
publishDate 1996
publisher Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України
record_format dspace
spelling Каширин, В.Ю.
Комник, Ю.Ф.
Красовицкий, Вит.Б.
Миронов, О.А.
Макаровский, О.Н.
Emeleus, C.J.
Whall, T.E.
2021-01-29T07:51:05Z
2021-01-29T07:51:05Z
1996
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина / В.Ю. Каширин, Ю.Ф. Комник, Вит.Б. Красовицкий, О.А. Миронов, О.Н. Макаровский, Ч.Дж. Эмелеус, Т.Э. Волл // Физика низких температур. — 1996. — Т. 22, № 10. — С. 1166-1173. — Бібліогр.: 26 назв. — рос.
0132-6414
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174976
Изучено температурное изменение (в интервале 1,6-300 К) электронных кинетических характеристик (проводимости, магнитосопротивления, эдс Холла) кристаллов эпитаксиального кремния, содержащих δ(Sb)-слой с различной поверхностной концентрацией легирующих атомов сурьмы. Впервые установлено, что при температурах выше 30 К свойства образцов отражают поведение электронов не только в самом δ-слое, но и в прилегающих к нему областях, имеющих свойства легированною полупроводника с четко выраженной температурной областью экспоненциальной зависимости сопротивления от обратной температуры.
Вивчено температурну зміну (в інтервалі 1,6-300 К) електронних кінетичних характеристик (провідності, магнітоопору, ерс Холла) кристалів епітаксійного кремнію, що містять у собі δ(Sb)-шар з різною поверхневою концентрацією легуючих атомів стибію. Вперше установлено, що при температурах вищих ніж 30 К властивості зразків відображують поведінку електронів не тільки в самому δ-шарі, але й в прилеглих до нього областях, які мають властивості легуючого напівпровідника з чітко виявленою температурною областю експоненційної залежності опору від зворотної температури.
The variation of electronic kinetic characteristics (conductivity, magnetoresistance, Hall emf) with temperature has been studied over а temperaiure range 1.6-300 К in epitaxial Si crystals involving δ(Sb) layer with а different sheet concentration of Sb doping atoms. It has been established for the first time that at the temperatures above 30 К the properties of these samples reflect the behavior of electrons not only in the very δ-layer but also in the adjacent regions showing the alloyed semiconductor properties with а clearly defined temperature region of exponential variation of resistance with inverse temperature.
ru
Фізико-технічний інститут низьких температур ім. Б.І. Вєркіна НАН України
Физика низких температур
Электpонные свойства металлов и сплавов
Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
Peculiarities of electronic properties of δ‹Sb› layers in epitaxial Si. 1. General physical pattern
Article
published earlier
spellingShingle Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
Каширин, В.Ю.
Комник, Ю.Ф.
Красовицкий, Вит.Б.
Миронов, О.А.
Макаровский, О.Н.
Emeleus, C.J.
Whall, T.E.
Электpонные свойства металлов и сплавов
title Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
title_alt Peculiarities of electronic properties of δ‹Sb› layers in epitaxial Si. 1. General physical pattern
title_full Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
title_fullStr Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
title_full_unstemmed Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
title_short Особенности электронных свойств δ‹Sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. Общая физическая картина
title_sort особенности электронных свойств δ‹sb›-слоев в эпитаксиальном кремнии. 1. общая физическая картина
topic Электpонные свойства металлов и сплавов
topic_facet Электpонные свойства металлов и сплавов
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/174976
work_keys_str_mv AT kaširinvû osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT komnikûf osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT krasovickiivitb osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT mironovoa osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT makarovskiion osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT emeleuscj osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT whallte osobennostiélektronnyhsvoistvδsbsloevvépitaksialʹnomkremnii1obŝaâfizičeskaâkartina
AT kaširinvû peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT komnikûf peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT krasovickiivitb peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT mironovoa peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT makarovskiion peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT emeleuscj peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern
AT whallte peculiaritiesofelectronicpropertiesofδsblayersinepitaxialsi1generalphysicalpattern