Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості

• Date: 2008
• Main Authors: Силенко, П.М., Данько, Д.Б., Шлапак, А.М., Єршова, О.Г., Солонін, Ю.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2008
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17672
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинтезу = 600°С) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500°С, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею.