Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинт...
Saved in:
| Date: | 2008 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2008
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17672 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-17672 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. 2011-03-05T20:12:53Z 2011-03-05T20:12:53Z 2008 Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. XXXX-0048 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17672 661.8: 546.821 Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинтезу = 600°С) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500°С, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею. ru Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| spellingShingle |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. |
| title_short |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_full |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_fullStr |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_full_unstemmed |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| title_sort |
синтез плівок tio2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості |
| author |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. |
| author_facet |
Силенко, П.М. Данько, Д.Б. Шлапак, А.М. Єршова, О.Г. Солонін, Ю.М. |
| publishDate |
2008 |
| language |
Russian |
| publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України |
| format |
Article |
| description |
Проведено дослідження процесу синтезу тонких плівок ТіО2 методом хімічного газофазного осадження. Рентгенографічні дослідження показали, що плівки, синтезовані при температурах 500°С і вище, є кристалічними і мають структуру рутилу. Встановлено, що зарядовий стан атомів титану у зразку TiO―Ni (Тсинтезу = 600°С) такий же, як у чистому диоксиді титану, а у зразку, синтезованому при 500°С, енергія зв’язку Ті2р-електронів дещо менша. Отже, вказаний зразок містить суміш диоксиду титану та незначні домішки нестехіометричного оксиду титану. Встановлено, що температура синтезу впливає на структуру поверхні. Показано, що кращі фотоелектрохімічні властивості мають плівки зі структурою рутилу та з розвиненою поверхнею.
|
| issn |
XXXX-0048 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/17672 |
| citation_txt |
Синтез плівок TiO2 методом хімічного газофазного осадження та їх властивості / П.М. Силенко, Д.Б. Данько, А.М. Шлапак, О.Г. Єршова, Ю.М. Солонін // Электронная микроскопия и прочность материалов: Сб. научн . тр. — К.: ІПМ НАН України, 2008. — Вип. 15. — С. 145-152. — Бібліогр.: 11 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT silenkopm sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT danʹkodb sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT šlapakam sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT êršovaog sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí AT solonínûm sintezplívoktio2metodomhímíčnogogazofaznogoosadžennâtaíhvlastivostí |
| first_indexed |
2025-12-01T06:47:07Z |
| last_indexed |
2025-12-01T06:47:07Z |
| _version_ |
1850859497004728320 |