Синтез гексаметилдисилазанатов алюминия, галлия, индия - Мазуренко, Е.А.; Цымбал, Л.И.; Железнова, Л.И. (Украинский химический журнал, 2000)
Проведены исследования по синтезу координационных соединений алюминия, галлия, индия с гексаметилдисилазаном. Кристаллические образцы комплексов охарактеризованы по данным элементного анализа и ИК-спектpоскопии. Рассмотрена возможность применения полученных соединений в качестве прекурсоров в CVD-процессах.