Напівпровідникові HPHT-алмази як активні елементи електронних приладів: їх структурні та електронні властивості

• Veröffentlicht in: Доповіді НАН України
• Datum: 2021
• Hauptverfasser: Коваленко, Т.В., Ніколенко, А.С., Івахненко, С.О., Стрельчук, В.В., Литвин, П.М., Даниленко, І.М., Заневський, О.О.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2021
• Schlagworte: Матеріалознавство
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/184819
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Напівпровідникові HPHT-алмази як активні елементи електронних приладів: їх структурні та електронні властивості / Т.В. Коваленко, А.С. Ніколенко, С.О. Івахненко, В.В. Стрельчук, П.М. Литвин, І.М. Даниленко, О.О. Заневський // Доповіді Національної академії наук України. — 2021. — № 6. — С. 68-77. — Бібліогр.: 15 назв. — укр.

Методом НРНТ-кристалізації вирощено структурно досконалі монокристали алмазу типу IIb, леговані
 бором з розвинутими секторами росту {113} і {110}. Односекторні пластини напівпровідникового алмазу
 одержані при прогнозованому розкрої кристалів шляхом механічної та лазерної обробки з використанням
 розробленого мікрофотограмметричного 3D моделювання секторальної структури. Методами раманівської та ІЧ-спектроскопії вивчено структурну досконалість, особливості дефектно-домішкового складу
 кристалів. Електронні властивості секторів росту та міжсекторальних меж охарактеризовано безконтактним методом силової кельвін-зонд-мікроскопії. Показано необхідність застосування визна чених
 оптичних і електрофізичних діагностичних методів паспортизації напівпровідникового матеріалу р-типу
 і перспективність використання односекторних напівпровідникових пластин для розробки конструкцій діодів Шотткі. Structurally perfect diamond single crystals of type IIb doped with boron with developed growth sectors {113}
 and {110} are grown by the HPHT- crystallization method. Single-sector semiconductor diamond plates are
 obtained by the predicted cutting of crystals by mechanical and laser treatments using the developed microphotogrammetric
 3D modeling of the sector structure. Raman and IR spectroscopies have been used to study
 the structural perfection and peculiarities of the defect-impurity composition of crystals. The electronic properties
 of growth sectors and intersectoral boundaries are characterized by the non-contact method of force
 Kelvin probe microscopy. The necessity of using certain optical and electrophysical diagnostic methods of p-type
 semiconductor material certification and the prospects of using single-sector semiconductor wafers for the development
 of Schottky diode designs are demonstrated.