Плазмохимический синтез, структура тонких плeнок оксида индия и зависимость их электрофизических и оптических свойств от режимов осаждения

• Veröffentlicht in: Украинский химический журнал
• Datum: 2011
• Hauptverfasser: Герасимчук, А.И., Железнова, Л.И., Мазуренко, Е.А., Мурафа, Н., Роговцов, А.А., Шубрт, Я.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут загальної та неорганічної хімії ім. В.І. Вернадського НАН України 2011
• Schlagworte: Неорганическая и физическая химия
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/186259
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Плазмохимический синтез, структура тонких плeнок оксида индия и зависимость их электрофизических и оптических свойств от режимов осаждения / А.И. Герасимчук, Л.И Железнова, Е.А. Мазуренко, Н. Мурафа, А.А. Роговцов, Я. Шубрт // Украинский химический журнал. — 2011. — Т. 77, № 3. — С. 3-6. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Методом химического осаждения из газовой фазы стимулированного низкотемпературной плазмой β-дикетонатa индия получены покрытия оксида индия на стеклянных, сапфировых и кремниевых подложках. Анализ методами сканирующей электронной микроскопии и электронной микроскопии высокого разрешения показывает,...