Bizyukov, A., Tarasov, I., & Chibisov, A. (2019). Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Bizyukov, A.A, I.K Tarasov, und A.D Chibisov. "Using of Electron Cyclotron Resonance Discharge in Ion Beam Sputtering Systems for Space Charge Compensation." Вопросы атомной науки и техники 2019.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Bizyukov, A.A, et al. "Using of Electron Cyclotron Resonance Discharge in Ion Beam Sputtering Systems for Space Charge Compensation." Вопросы атомной науки и техники, 2019.
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