Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation
The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional mi...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2019 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194631 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862711486700322816 |
|---|---|
| author | Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. |
| author_facet | Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. |
| citation_txt | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional microwave discharge generated in the region of the annular gap when the microwave power is applied. An additional plasma source of electrons provides the maintenance and intensification of the gas discharge in the accelerator with an anode layer.
Вивчено можливість використання пастки пробочного типу у вихідному зазорі джерела іонів із замкнутим електронним дрейфом для генерації додаткового газового розряду з використанням електронно-циклотронного резонансу та компенсації просторового заряду іонного пучка. Перші експерименти показали, що генерується додатковий НВЧ-розряд в області кільцевого зазору при подачі НВЧ-потужності. Додаткове плазмове джерело електронів забезпечує підтримку та інтенсифікацію газового розряду в прискорювачі з анодним шаром.
Изучена возможность использования ловушки пробочного типа в выходном зазоре источника ионов с замкнутым электронным дрейфом для генерации дополнительного газового разряда с использованием электронно-циклотронного резонанса и компенсации пространственного заряда ионного пучка. Первые эксперименты показали, что генерируется дополнительный СВЧ-разряд в области кольцевого зазора при подаче СВЧ-мощности. Дополнительный плазменный источник электронов обеспечивает поддержание и интенсификацию газового разряда в ускорителе с анодным слоем.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:30:41Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194631 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T17:30:41Z |
| publishDate | 2019 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. 2023-11-28T09:52:25Z 2023-11-28T09:52:25Z 2019 Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation / A.A. Bizyukov, I.K. Tarasov, A.D. Chibisov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 124-126. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.hf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194631 The possibility of using a magnetic mirror in the output gap of ion source with a closed electron drift to generating of an additional gas discharge by using the electron-cyclotron resonance to compensate of the ion beam space charge is studied. The first experiments have shown that an additional microwave discharge generated in the region of the annular gap when the microwave power is applied. An additional plasma source of electrons provides the maintenance and intensification of the gas discharge in the accelerator with an anode layer. Вивчено можливість використання пастки пробочного типу у вихідному зазорі джерела іонів із замкнутим електронним дрейфом для генерації додаткового газового розряду з використанням електронно-циклотронного резонансу та компенсації просторового заряду іонного пучка. Перші експерименти показали, що генерується додатковий НВЧ-розряд в області кільцевого зазору при подачі НВЧ-потужності. Додаткове плазмове джерело електронів забезпечує підтримку та інтенсифікацію газового розряду в прискорювачі з анодним шаром. Изучена возможность использования ловушки пробочного типа в выходном зазоре источника ионов с замкнутым электронным дрейфом для генерации дополнительного газового разряда с использованием электронно-циклотронного резонанса и компенсации пространственного заряда ионного пучка. Первые эксперименты показали, что генерируется дополнительный СВЧ-разряд в области кольцевого зазора при подаче СВЧ-мощности. Дополнительный плазменный источник электронов обеспечивает поддержание и интенсификацию газового разряда в ускорителе с анодным слоем. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation Використання електронно-циклотронного резонансного розряду для компенсації об'ємного заряду в іонно-променевих розпилювальних системах Использование электронно-циклотронного резонансного разряда для компенсации объемного заряда в ионно-лучевых распылительных системах Article published earlier |
| spellingShingle | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation Bizyukov, A.A. Tarasov, I.K. Chibisov, A.D. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_alt | Використання електронно-циклотронного резонансного розряду для компенсації об'ємного заряду в іонно-променевих розпилювальних системах Использование электронно-циклотронного резонансного разряда для компенсации объемного заряда в ионно-лучевых распылительных системах |
| title_full | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_fullStr | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_full_unstemmed | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_short | Using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| title_sort | using of electron cyclotron resonance discharge in ion beam sputtering systems for space charge compensation |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194631 |
| work_keys_str_mv | AT bizyukovaa usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation AT tarasovik usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation AT chibisovad usingofelectroncyclotronresonancedischargeinionbeamsputteringsystemsforspacechargecompensation AT bizyukovaa vikoristannâelektronnociklotronnogorezonansnogorozrâdudlâkompensacííobêmnogozarâduvíonnopromenevihrozpilûvalʹnihsistemah AT tarasovik vikoristannâelektronnociklotronnogorezonansnogorozrâdudlâkompensacííobêmnogozarâduvíonnopromenevihrozpilûvalʹnihsistemah AT chibisovad vikoristannâelektronnociklotronnogorezonansnogorozrâdudlâkompensacííobêmnogozarâduvíonnopromenevihrozpilûvalʹnihsistemah AT bizyukovaa ispolʹzovanieélektronnociklotronnogorezonansnogorazrâdadlâkompensaciiobʺemnogozarâdavionnolučevyhraspylitelʹnyhsistemah AT tarasovik ispolʹzovanieélektronnociklotronnogorezonansnogorazrâdadlâkompensaciiobʺemnogozarâdavionnolučevyhraspylitelʹnyhsistemah AT chibisovad ispolʹzovanieélektronnociklotronnogorezonansnogorazrâdadlâkompensaciiobʺemnogozarâdavionnolučevyhraspylitelʹnyhsistemah |