Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy
The axial distribution of excited argon and tungsten atoms in plasma of direct current magnetron discharge in crossed fields have been analyzed by optical emission spectroscopy. The influence of discharge parameters (discharge current I, buffer gas pressure pAr and zone of discharge glow Δl) and exc...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2020 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194652 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, I.S. Mahotka, I.I. Okseniuk, D.I. Shevchenko, A.O. Skrypnyk // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 98-102. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862699031860346880 |
|---|---|
| author | Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Mahotka, I.S. Okseniuk, I.I. Shevchenko, D.I. Skrypnyk, A.O. |
| author_facet | Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Mahotka, I.S. Okseniuk, I.I. Shevchenko, D.I. Skrypnyk, A.O. |
| citation_txt | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, I.S. Mahotka, I.I. Okseniuk, D.I. Shevchenko, A.O. Skrypnyk // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 98-102. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The axial distribution of excited argon and tungsten atoms in plasma of direct current magnetron discharge in crossed fields have been analyzed by optical emission spectroscopy. The influence of discharge parameters (discharge current I, buffer gas pressure pAr and zone of discharge glow Δl) and excited states energy E* of studied particles on the axial distribution Ar and W atoms have been observed. The assumption about the excitation processes in the magnetron plasma is given.
Методом оптичної емісійної спектроскопії проаналізовано аксіальний розподіл збуджених атомів аргону і вольфраму в плазмі постійного магнетронного розряду в схрещених E×H-полях. Виявлено вплив параметрів розряду (струм розряду Id, тиск буферного газу pAr і область світіння розряду Δl) та енергії збуджених станів E* досліджуваних частинок на розподіл атомів Ar і W уздовж осі розряду. Зроблено припущення про процеси збудження в магнетронній плазмі.
Методом оптической эмиссионной спектроскопии проанализировано аксиальное распределение возбуж- денных атомов аргона и вольфрама в плазме постоянного магнетронного разряда в скрещенных E×H-полях. Обнаружено влияние параметров разряда (ток разряда Id, давление буферного газа pAr и область свечения разряда Δl) и энергии возбужденных состояний E* исследуемых частиц на распределение атомов Ar и W вдоль оси разряда. Сделано предположение о процессах возбуждения в магнетронной плазме.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:34:27Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194652 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T16:34:27Z |
| publishDate | 2020 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Mahotka, I.S. Okseniuk, I.I. Shevchenko, D.I. Skrypnyk, A.O. 2023-11-28T10:55:23Z 2023-11-28T10:55:23Z 2020 Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, I.S. Mahotka, I.I. Okseniuk, D.I. Shevchenko, A.O. Skrypnyk // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 98-102. — Бібліогр.: 20 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 32.30.−r, 34.35.+a, 34.50.−s, 34.50.Dy, 34.80.Dp, 52.70.Kz, 52.80.Vp https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194652 The axial distribution of excited argon and tungsten atoms in plasma of direct current magnetron discharge in crossed fields have been analyzed by optical emission spectroscopy. The influence of discharge parameters (discharge current I, buffer gas pressure pAr and zone of discharge glow Δl) and excited states energy E* of studied particles on the axial distribution Ar and W atoms have been observed. The assumption about the excitation processes in the magnetron plasma is given. Методом оптичної емісійної спектроскопії проаналізовано аксіальний розподіл збуджених атомів аргону і вольфраму в плазмі постійного магнетронного розряду в схрещених E×H-полях. Виявлено вплив параметрів розряду (струм розряду Id, тиск буферного газу pAr і область світіння розряду Δl) та енергії збуджених станів E* досліджуваних частинок на розподіл атомів Ar і W уздовж осі розряду. Зроблено припущення про процеси збудження в магнетронній плазмі. Методом оптической эмиссионной спектроскопии проанализировано аксиальное распределение возбуж- денных атомов аргона и вольфрама в плазме постоянного магнетронного разряда в скрещенных E×H-полях. Обнаружено влияние параметров разряда (ток разряда Id, давление буферного газа pAr и область свечения разряда Δl) и энергии возбужденных состояний E* исследуемых частиц на распределение атомов Ar и W вдоль оси разряда. Сделано предположение о процессах возбуждения в магнетронной плазме. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Plasma dynamics and plasma-wall interaction Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy Дослідження розряду низького тиску методом оптичної емісійної спектроскопії Исследование разряда низкого давления методом оптической эмиссионной спектроскопии Article published earlier |
| spellingShingle | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Mahotka, I.S. Okseniuk, I.I. Shevchenko, D.I. Skrypnyk, A.O. Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| title | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| title_alt | Дослідження розряду низького тиску методом оптичної емісійної спектроскопії Исследование разряда низкого давления методом оптической эмиссионной спектроскопии |
| title_full | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| title_fullStr | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| title_full_unstemmed | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| title_short | Study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| title_sort | study of low-pressure discharge by optical emission spectroscopy |
| topic | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| topic_facet | Plasma dynamics and plasma-wall interaction |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194652 |
| work_keys_str_mv | AT afanasíevaia studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT afanasievsn studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT bobkovvv studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT gritsynavv studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT mahotkais studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT okseniukii studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT shevchenkodi studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT skrypnykao studyoflowpressuredischargebyopticalemissionspectroscopy AT afanasíevaia doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT afanasievsn doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT bobkovvv doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT gritsynavv doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT mahotkais doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT okseniukii doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT shevchenkodi doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT skrypnykao doslídžennârozrâdunizʹkogotiskumetodomoptičnoíemísíinoíspektroskopíí AT afanasíevaia issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT afanasievsn issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT bobkovvv issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT gritsynavv issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT mahotkais issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT okseniukii issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT shevchenkodi issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii AT skrypnykao issledovanierazrâdanizkogodavleniâmetodomoptičeskoiémissionnoispektroskopii |