Magnetron discharge intensification for effective deposition of coatings from difficult spray metals
The work is devoted to improvement of magnetron discharge parameters based on a standard magnetron sputtering system (MSS) of the MAG-5 type with an additional anode magnetic trap for discharge electrons in the conditions of localization of the discharge zone in the gap between electrodes to prevent...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2020 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194663 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Magnetron discharge intensification for effective deposition of coatings from difficult spray metals / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov, Y.A. Vereshchaka // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 146-149. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
Plasma characteristics of two-step vacuum-arc discharge and its application for a coatings deposition
за авторством: Timoshenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Timoshenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2007)
The antimicrobial activity of magnetron sputtered Ag doped aluminum oxide coatings in vitro
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Safonov, V., та інші
Опубліковано: (2019)
Modulation of negatively charged particle flux from penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2023)
Atmospheric DBD discharge modification of polyester fabric
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Klenko, Y., та інші
Опубліковано: (2006)
Nanotube formation on catalytic surface in plasma discharge
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Ozone generator based on surface dielectric barrier discharge with pulse power supply
за авторством: Lozina, A.S., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Lozina, A.S., та інші
Опубліковано: (2023)
Modification of coating-substrate systems under the action of compression plasma flow
за авторством: Astashynski, V.M., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Astashynski, V.M., та інші
Опубліковано: (2005)
Investigation of thermal plasma of arc discharge between novel composite Cu-W materials
за авторством: Murmantsev, A., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Murmantsev, A., та інші
Опубліковано: (2023)
Tribological properties of vacuum arc Cr-O-N coatings in macro- and microscale
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2016)
Application of dielectric barrier discharge and plasma-chemical reactor for water purification from NH₄OH
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Taran, V.S., та інші
Опубліковано: (2020)
The influence of nitrogen admixture on concentration of an electronic–excited helium atoms in atmospheric pressure glow discharge
за авторством: Arkhipenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Arkhipenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Сharacterization of ARC-PVD ZrN nanostructured coatings by using the fractals theory
за авторством: Romaniuk, S.P., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Romaniuk, S.P., та інші
Опубліковано: (2022)
Application of arc plasma for a deposition of superconducting films
за авторством: Langner, J., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Langner, J., та інші
Опубліковано: (2002)
Shock alloying of metals by cumulative plasma streams
за авторством: Ivanov, L.I., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Ivanov, L.I., та інші
Опубліковано: (2006)
Clinical analysis of blood traces of rats after subcutaneous implantation of Nd-Fe-B magnets with protective PVD ZrN coatings
за авторством: Kutsevliak, V.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Kutsevliak, V.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Critical energy in the cyclotron heating of ions in an ECR plasma source
за авторством: Gutiérrez-Tapia, C., та інші
Опубліковано: (2002)
за авторством: Gutiérrez-Tapia, C., та інші
Опубліковано: (2002)
Ion energy and ion angular distributions in RF capacitively coupled plasma sources: pure argon and argon-oxygen mixtures
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2006)
Peculiarities of properties of the pulse plasma jet
за авторством: Podzirey, Yu.S., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Podzirey, Yu.S., та інші
Опубліковано: (2016)
Influence of molecular and electronegative impurities on the contraction of the plasma column of an argon arc
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2002)
за авторством: Porytskyy, P.V.
Опубліковано: (2002)
Plasma-catalytic reforming of rich ethanol-air mixtures
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Fedirchyk, I.I., та інші
Опубліковано: (2019)
“String” type of barrierless plasma chemical reactor for generation ozone from air
за авторством: Kudin, D.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Kudin, D.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Radiation-acoustic effects at diamond-like coating deposition from the flow of hydrocarbon ions and their influence on kinetic processes
за авторством: Kalinichenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Kalinichenko, O.I., та інші
Опубліковано: (2023)
Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)
Erosion of Co-Cr-W alloy and coating on its basis under the action of cavitation
за авторством: Kovalenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Kovalenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)
RADIATION OF A LONGITUDINALLY INHOMOGENEOUS PLASMA COLUMN WITH A DIELECTRIC SHELL
за авторством: Artemenko, A. N., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Artemenko, A. N., та інші
Опубліковано: (2020)
The method of the discharge current increase in sub-MJ plasma focus
за авторством: Nikulin, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Nikulin, V.Ya., та інші
Опубліковано: (2007)
Morphology and sputtering of tungsten nitrides coatings exposed to deuterium plasma
за авторством: Tolstolutskaya, G.D., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Tolstolutskaya, G.D., та інші
Опубліковано: (2023)
Investigation of x-ray emission from high-current discharges of the PF type
за авторством: Skladnik-Sadowska, E., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Skladnik-Sadowska, E., та інші
Опубліковано: (2016)
Experimental studies of some features of beam-plasma discharge initial stage
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Spectroscopy of plasma with metal vapor admixtures
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2019)
Formation and properties of self-consistent Malmberg-Penning trap
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2005)
Study of wear of the building-up zone of martensite-austenitic and secondary hardening steels of the Cr-Mn-Ti system
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Hlushkova, D.B., та інші
Опубліковано: (2023)
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Dynamics of three wave stochastic decays in nonlinear matter
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2016)
Measurements of fluctuating plasma rotation velocity by means of correlation and doppler microwave reflectometry in Uragan-3M torsatron
за авторством: Skibenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Skibenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2005)
Optical characteristics and parameters of gas-discharge plasma on mixtures of mercury dichloride vapor and neon
за авторством: Malinina, A.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Malinina, A.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Bazhenov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)
Instability of connected oscillator system under action of multiplicative fluctuations
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Buts, V.A., та інші
Опубліковано: (2003)
Femtosecond laser plasma: review of investigation and calculational model
за авторством: Bugrov, N., та інші
Опубліковано: (2005)
за авторством: Bugrov, N., та інші
Опубліковано: (2005)
Forwand backward electron yield ratio for α-particle induced emission from different materials
за авторством: Zhurenko, V.P., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Zhurenko, V.P., та інші
Опубліковано: (2020)