Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system
The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operati...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2020 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194668 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194668 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. 2023-11-28T13:44:34Z 2023-11-28T13:44:34Z 2020 Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194668 The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operation of the planar magnetron discharge and Hall type ion source in plasma mode and for their combination. Spatial distributions of ion current are also presented. Проведено дослідження розрядних характеристик нової комбінованої низькоенергетичної іоннопроменевої магнетронної розпорошувальної системи з питомими параметрами, які відповідають промисловому виробництву. Досліджено криві запалювання, розрядні характеристики в залежності від тиску робочого газу, величини та топології магнітного поля як при автономній, так і при сумісній роботі планарного магнетронного розряду та джерела іонів холлівського типу у плазмовому режимі. Досліджені просторові розподіли потоків іонів. Проведены исследования разрядных характеристик новой комбинированной низкоэнергетичной ионнолучевой магнетронной распылительной системы с удельными параметрами, отвечающими требованиям промышленного производства. Исследованы кривые зажигания, разрядные характеристики в зависимости от давления рабочего газа, величины и топологии магнитного поля как при автономной, так и при совместной работе планарного магнетронного разряда и источника ионов холловского типа в плазменном режиме. Исследованы пространственные характеристики потоков ионов. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system Розрядні характеристики комбінованої hизькоенергетичної іонно-променевої магнетронної розпорошувальної системи Разрядные характеристики комбинированной hизкоэнергетичной ионно-лучевой магнетронной распылительной системы Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| spellingShingle |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_full |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_fullStr |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_full_unstemmed |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| title_sort |
discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system |
| author |
Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. |
| author_facet |
Zykov, A. Yefymenko, N. Dudin, S. Yakovin, S. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2020 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Розрядні характеристики комбінованої hизькоенергетичної іонно-променевої магнетронної розпорошувальної системи Разрядные характеристики комбинированной hизкоэнергетичной ионно-лучевой магнетронной распылительной системы |
| description |
The discharge characteristics of a new combined low energy magnetron-ion-source sputtering system are presented. The ignition curves, current-voltage characteristics of the system in dependence on gas pressure, magnitude and topology of magnetic field have been researched both for autonomous operation of the planar magnetron discharge and Hall type ion source in plasma mode and for their combination. Spatial distributions of ion current are also presented.
Проведено дослідження розрядних характеристик нової комбінованої низькоенергетичної іоннопроменевої магнетронної розпорошувальної системи з питомими параметрами, які відповідають промисловому виробництву. Досліджено криві запалювання, розрядні характеристики в залежності від тиску робочого газу, величини та топології магнітного поля як при автономній, так і при сумісній роботі планарного магнетронного розряду та джерела іонів холлівського типу у плазмовому режимі. Досліджені просторові розподіли потоків іонів.
Проведены исследования разрядных характеристик новой комбинированной низкоэнергетичной ионнолучевой магнетронной распылительной системы с удельными параметрами, отвечающими требованиям промышленного производства. Исследованы кривые зажигания, разрядные характеристики в зависимости от давления рабочего газа, величины и топологии магнитного поля как при автономной, так и при совместной работе планарного магнетронного разряда и источника ионов холловского типа в плазменном режиме. Исследованы пространственные характеристики потоков ионов.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194668 |
| citation_txt |
Discharge characteristics of combined low energy ion source – magnetron sputtering system / A. Zykov, N. Yefymenko, S. Dudin, S. Yakovin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 6. — С. 169-173. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT zykova dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT yefymenkon dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT dudins dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT yakovins dischargecharacteristicsofcombinedlowenergyionsourcemagnetronsputteringsystem AT zykova rozrâdníharakteristikikombínovanoíhizʹkoenergetičnoííonnopromenevoímagnetronnoírozporošuvalʹnoísistemi AT yefymenkon rozrâdníharakteristikikombínovanoíhizʹkoenergetičnoííonnopromenevoímagnetronnoírozporošuvalʹnoísistemi AT dudins rozrâdníharakteristikikombínovanoíhizʹkoenergetičnoííonnopromenevoímagnetronnoírozporošuvalʹnoísistemi AT yakovins rozrâdníharakteristikikombínovanoíhizʹkoenergetičnoííonnopromenevoímagnetronnoírozporošuvalʹnoísistemi AT zykova razrâdnyeharakteristikikombinirovannoihizkoénergetičnoiionnolučevoimagnetronnoiraspylitelʹnoisistemy AT yefymenkon razrâdnyeharakteristikikombinirovannoihizkoénergetičnoiionnolučevoimagnetronnoiraspylitelʹnoisistemy AT dudins razrâdnyeharakteristikikombinirovannoihizkoénergetičnoiionnolučevoimagnetronnoiraspylitelʹnoisistemy AT yakovins razrâdnyeharakteristikikombinirovannoihizkoénergetičnoiionnolučevoimagnetronnoiraspylitelʹnoisistemy |
| first_indexed |
2025-12-07T20:19:29Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:19:29Z |
| _version_ |
1850882150158565376 |