The microplasma aluminum and titanium oxidation in condensed environments
The plant intended for the microplasma oxidation of the materials whose oxides possess semiconductor properties has been developed. The coatings consisting of corundum Al²O³-α (hexagonal syngony) and the two transition modifications of aluminum oxide Al²O³-η (cubic syngony) and Al²O³-θ (monoclinic s...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2020 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2020
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194754 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | The microplasma aluminum and titanium oxidation in condensed environments / D.V. Vinnikov, A.N. Ozerov, V.B. Yuferov, V.T. Fomin // Problems of atomic science and tecnology. — 2020. — № 1. — С. 178-184. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |