Dudin, S., Yakovin, S., Zykov, A., & Yefymenko, N. (2021). Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride. Вопросы атомной науки и техники.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Dudin, S., S. Yakovin, A. Zykov, та N. Yefymenko. "Optical and Mass Spectra from Reactive Plasma at Magnetron Deposition of Tantalum Oxynitride." Вопросы атомной науки и техники 2021.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Dudin, S., et al. "Optical and Mass Spectra from Reactive Plasma at Magnetron Deposition of Tantalum Oxynitride." Вопросы атомной науки и техники, 2021.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.