Dudin, S., Yakovin, S., Zykov, A., & Yefymenko, N. (2021). Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride. Вопросы атомной науки и техники.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Dudin, S., S. Yakovin, A. Zykov, und N. Yefymenko. "Optical and Mass Spectra from Reactive Plasma at Magnetron Deposition of Tantalum Oxynitride." Вопросы атомной науки и техники 2021.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Dudin, S., et al. "Optical and Mass Spectra from Reactive Plasma at Magnetron Deposition of Tantalum Oxynitride." Вопросы атомной науки и техники, 2021.
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