Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride
Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber i...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2021 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194770 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194770 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. 2023-11-29T15:11:07Z 2023-11-29T15:11:07Z 2021 Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194770 Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber in response to ignition of magnetron discharge and inductively coupled plasma are presented. It is shown that dissociation level of all species grows with the magnetron current increase while its dependence on oxygen/nitrogen ratio is non-monotonic. Вивчаються процеси в реактивній плазмі під час магнетронного осадження оксинітриду танталу з ICP-активацією реактивного газу залежно від частки кисню. Представлені результати спектроскопічного дослідження оптичного випромінювання з плазми та мас-спектрометрії газового складу у вакуумній камері у відповідь на запалювання магнетронного розряду та індуктивно зв'язаної плазми. Показано, що рівень дисоціації всіх молекул зростає із збільшенням струму магнетрона, тоді як його залежність від співвідношення кисень/азот є немонотонною. Изучены процессы в реактивной плазме при магнетронном осаждении оксинитрида тантала с ICP-активацией реактивного газа в зависимости от процентного содержания кислорода. Приведены результаты спектроскопических исследований оптического излучения плазмы и масс-спектрометрии состава газа в вакуумной камере при зажигании магнетронного разряда и индуктивно связанной плазмы. Показано, что уровень диссоциации всех молекул растет с увеличением тока магнетрона, а его зависимость от соотношения кислород/азот немонотонна. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride Оптичні та масові спектри реактивної плазми при магнетронному нанесенні оксинітриду танталу Оптические и массовые спектры реактивной плазмы при магнетронном нанесении оксинитрида тантала Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| spellingShingle |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_full |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_fullStr |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_full_unstemmed |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| title_sort |
optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride |
| author |
Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. |
| author_facet |
Dudin, S. Yakovin, S. Zykov, A. Yefymenko, N. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2021 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Оптичні та масові спектри реактивної плазми при магнетронному нанесенні оксинітриду танталу Оптические и массовые спектры реактивной плазмы при магнетронном нанесении оксинитрида тантала |
| description |
Processes in reactive plasma during the magnetron deposition of tantalum oxynitride with ICP activation of reactive gas are studied in dependence on Oxygen fraction. Results of spectroscopic study of optical emission from the plasma and of mass-spectrometry of gas composition in the vacuum chamber in response to ignition of magnetron discharge and inductively coupled plasma are presented. It is shown that dissociation level of all species grows with the magnetron current increase while its dependence on oxygen/nitrogen ratio is non-monotonic.
Вивчаються процеси в реактивній плазмі під час магнетронного осадження оксинітриду танталу з ICP-активацією реактивного газу залежно від частки кисню. Представлені результати спектроскопічного дослідження оптичного випромінювання з плазми та мас-спектрометрії газового складу у вакуумній камері у відповідь на запалювання магнетронного розряду та індуктивно зв'язаної плазми. Показано, що рівень дисоціації всіх молекул зростає із збільшенням струму магнетрона, тоді як його залежність від співвідношення кисень/азот є немонотонною.
Изучены процессы в реактивной плазме при магнетронном осаждении оксинитрида тантала с ICP-активацией реактивного газа в зависимости от процентного содержания кислорода. Приведены результаты спектроскопических исследований оптического излучения плазмы и масс-спектрометрии состава газа в вакуумной камере при зажигании магнетронного разряда и индуктивно связанной плазмы. Показано, что уровень диссоциации всех молекул растет с увеличением тока магнетрона, а его зависимость от соотношения кислород/азот немонотонна.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194770 |
| citation_txt |
Optical and mass spectra from reactive plasma at magnetron deposition of tantalum oxynitride / S. Dudin, S. Yakovin, A. Zykov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 122-126. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT dudins opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT yakovins opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT zykova opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT yefymenkon opticalandmassspectrafromreactiveplasmaatmagnetrondepositionoftantalumoxynitride AT dudins optičnítamasovíspektrireaktivnoíplazmiprimagnetronnomunanesenníoksinítridutantalu AT yakovins optičnítamasovíspektrireaktivnoíplazmiprimagnetronnomunanesenníoksinítridutantalu AT zykova optičnítamasovíspektrireaktivnoíplazmiprimagnetronnomunanesenníoksinítridutantalu AT yefymenkon optičnítamasovíspektrireaktivnoíplazmiprimagnetronnomunanesenníoksinítridutantalu AT dudins optičeskieimassovyespektryreaktivnoiplazmyprimagnetronnomnaneseniioksinitridatantala AT yakovins optičeskieimassovyespektryreaktivnoiplazmyprimagnetronnomnaneseniioksinitridatantala AT zykova optičeskieimassovyespektryreaktivnoiplazmyprimagnetronnomnaneseniioksinitridatantala AT yefymenkon optičeskieimassovyespektryreaktivnoiplazmyprimagnetronnomnaneseniioksinitridatantala |
| first_indexed |
2025-12-07T16:47:44Z |
| last_indexed |
2025-12-07T16:47:44Z |
| _version_ |
1850868828652699648 |