Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter
The vacuum-arc plasma source with a rectilinear filter has been optimized for deposition of coatings on large size products. The calculations of the magnetic configuration options of the system were performed by using the FEMM program. New design of the output coil of the filter allows increase by 1...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2021 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194774 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter / D.S. Aksyonov, V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strelnitskij // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 145-149. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194774 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Aksyonov, D.S. Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strelnitskij, V.E. 2023-11-29T15:14:34Z 2023-11-29T15:14:34Z 2021 Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter / D.S. Aksyonov, V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strelnitskij // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 145-149. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194774 The vacuum-arc plasma source with a rectilinear filter has been optimized for deposition of coatings on large size products. The calculations of the magnetic configuration options of the system were performed by using the FEMM program. New design of the output coil of the filter allows increase by 1.3 times the efficiency of plasma transportation to the substrate with a diameter of 300 mm. Plasma instabilities are proposed for the explanation the features of the motion of vacuum-arc plasma through the regions of an inhomogeneous magnetic field in a rectilinear macroparticles filter with a “magnetic island”. Проведено оптимізацію вакуумно-дугового джерела плазми з прямолінійним фільтром для нанесення покриттів на великогабаритні вироби. Розрахунки варіантів магнітної конфігурації системи проводилися з використанням програми FEMM. Нова конструкція вихідної котушки фільтра дозволяє в 1,3 разa збільшити ефективність транспортування плазми до підкладки діаметром 300 мм. Особливості руху вакуумно-дугової плазми в прямолінійному фільтрі макрочасток з “магнітним островом” пояснюються розвитком плазмових нестійкостей в областях неоднорідного магнітного поля. Вакуумно-дуговой источник плазмы с прямолинейным фильтром оптимизирован для нанесения покрытий на крупногабаритные изделия. Расчеты вариантов магнитной конфигурации системы проводились с использованием программы FEMM. Новая конструкция выходной катушки фильтра позволяет в 1,3 раза увеличить эффективность транспортировки плазмы к подложке диаметром 300 мм. Особенности движения вакуумно-дуговой плазмы в прямолинейном фильтре макрочастиц с “магнитным островом” объясняются развитием плазменных неустойчивостей в областях неоднородного магнитного поля. The work was carried out within the framework of the Target Program of Basic Research of the National Academy of Sciences of Ukraine "Prospective basic research and innovative development of nanomaterials and nanotechnologies for the needs of industry, health care and agriculture" for 2020-2024 (Agreement 49- 20H). en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter Оптимізація магнітної системи вакуумно-дугового джерела плазми з прямолінійним фільтром Оптимизация магнитной системы вакуумно-дугового источника плазмы с прямолинейным фильтром Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| spellingShingle |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter Aksyonov, D.S. Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strelnitskij, V.E. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| title_full |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| title_fullStr |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| title_full_unstemmed |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| title_sort |
optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter |
| author |
Aksyonov, D.S. Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strelnitskij, V.E. |
| author_facet |
Aksyonov, D.S. Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strelnitskij, V.E. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2021 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Оптимізація магнітної системи вакуумно-дугового джерела плазми з прямолінійним фільтром Оптимизация магнитной системы вакуумно-дугового источника плазмы с прямолинейным фильтром |
| description |
The vacuum-arc plasma source with a rectilinear filter has been optimized for deposition of coatings on large size products. The calculations of the magnetic configuration options of the system were performed by using the FEMM program. New design of the output coil of the filter allows increase by 1.3 times the efficiency of plasma transportation to the substrate with a diameter of 300 mm. Plasma instabilities are proposed for the explanation the features of the motion of vacuum-arc plasma through the regions of an inhomogeneous magnetic field in a rectilinear macroparticles filter with a “magnetic island”.
Проведено оптимізацію вакуумно-дугового джерела плазми з прямолінійним фільтром для нанесення покриттів на великогабаритні вироби. Розрахунки варіантів магнітної конфігурації системи проводилися з використанням програми FEMM. Нова конструкція вихідної котушки фільтра дозволяє в 1,3 разa збільшити ефективність транспортування плазми до підкладки діаметром 300 мм. Особливості руху вакуумно-дугової плазми в прямолінійному фільтрі макрочасток з “магнітним островом” пояснюються розвитком плазмових нестійкостей в областях неоднорідного магнітного поля.
Вакуумно-дуговой источник плазмы с прямолинейным фильтром оптимизирован для нанесения покрытий на крупногабаритные изделия. Расчеты вариантов магнитной конфигурации системы проводились с использованием программы FEMM. Новая конструкция выходной катушки фильтра позволяет в 1,3 раза увеличить эффективность транспортировки плазмы к подложке диаметром 300 мм. Особенности движения вакуумно-дуговой плазмы в прямолинейном фильтре макрочастиц с “магнитным островом” объясняются развитием плазменных неустойчивостей в областях неоднородного магнитного поля.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194774 |
| citation_txt |
Optimization of the magnetic system of a vacuum-arc plasma source with a straight line filter / D.S. Aksyonov, V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strelnitskij // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 145-149. — Бібліогр.: 14 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT aksyonovds optimizationofthemagneticsystemofavacuumarcplasmasourcewithastraightlinefilter AT vasylievvv optimizationofthemagneticsystemofavacuumarcplasmasourcewithastraightlinefilter AT luchaninovaa optimizationofthemagneticsystemofavacuumarcplasmasourcewithastraightlinefilter AT strelnitskijve optimizationofthemagneticsystemofavacuumarcplasmasourcewithastraightlinefilter AT aksyonovds optimízacíâmagnítnoísistemivakuumnodugovogodžerelaplazmizprâmolíníinimfílʹtrom AT vasylievvv optimízacíâmagnítnoísistemivakuumnodugovogodžerelaplazmizprâmolíníinimfílʹtrom AT luchaninovaa optimízacíâmagnítnoísistemivakuumnodugovogodžerelaplazmizprâmolíníinimfílʹtrom AT strelnitskijve optimízacíâmagnítnoísistemivakuumnodugovogodžerelaplazmizprâmolíníinimfílʹtrom AT aksyonovds optimizaciâmagnitnoisistemyvakuumnodugovogoistočnikaplazmysprâmolineinymfilʹtrom AT vasylievvv optimizaciâmagnitnoisistemyvakuumnodugovogoistočnikaplazmysprâmolineinymfilʹtrom AT luchaninovaa optimizaciâmagnitnoisistemyvakuumnodugovogoistočnikaplazmysprâmolineinymfilʹtrom AT strelnitskijve optimizaciâmagnitnoisistemyvakuumnodugovogoistočnikaplazmysprâmolineinymfilʹtrom |
| first_indexed |
2025-12-07T18:34:55Z |
| last_indexed |
2025-12-07T18:34:55Z |
| _version_ |
1850875571863552000 |