Зображення обкладинки

Potential part of electric field of ICP coil

ICP devices are widespread in modern technology, so the capacitive coupling in ICP is well known. It does not make a sufficient impact to the power deposition in plasma, and mostly it assumed to be a harmful effect [1]. Fortunately, making use of Faraday shield allows one to avoid a detail investiga...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2021
Автори:	Azarenkov, N.A., Gapon, A.V.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2021
Теми:	Low temperature plasma and plasma technologies
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194775
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Potential part of electric field of ICP coil / N.A. Azarenkov, A.V. Gapon // Problems of atomic science and tecnology. — 2021. — № 1. — С. 150-153. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

2D fluid model for interactive development of ICP technological tools
за авторством: Gapon, A.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2006)

Two-stream nonlinear langmuir oscillations
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2023)

Transport processes in the low pressure gas discharge plasma
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

The influence of a DC electric field on the radio-frequency microdischarge
за авторством: Bogatov, N.A.
Опубліковано: (2005)

Axial coil accelerator of plasma ring in the atmospheric pressure air
за авторством: Korytchenko, K.V., та інші
Опубліковано: (2019)

The HF field pattern in the magnetized plasma cylinder of finfte lenght
за авторством: Grekov, D.L., та інші
Опубліковано: (2003)

Ion crystal formation in nonequilibrium dusty plasmas near electrode or electric probe
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

Influence of the electric field on the burning rate of alkanes
за авторством: Orlovskaya, S.G., та інші
Опубліковано: (2019)

Large-area surface wave plasma source
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Influence of the magnetic field on particle dynamics in capillary discharge of the soft X-ray laser
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

The charged particles movement on the closed trajectories in the crossed constant electrical and magnetic fields
за авторством: Kirochkin, Yu.A., та інші
Опубліковано: (2005)

Control of reduced electric field in the positive column of a pulsed discharge in CO₂
за авторством: Lisovskiy, V.A., та інші
Опубліковано: (2023)

Spectroscopy of electric arc discharge plasma with admixtures of W, Mo, Cr
за авторством: Lebid, A.V., та інші
Опубліковано: (2016)

Emission characteristics and potential of macroparticle in beam-plasma discharge
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2008)

Electromagnetic dipolar modes in magnetized nonuniform plasma-vacuum-metal waveguide
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2023)

The transport of the erosion products of electrodes in electric arcs
за авторством: Zhovtyansky, V.A.
Опубліковано: (2003)

Nanotube formation on catalytic surface in plasma discharge
за авторством: Maslov, V.I., та інші
Опубліковано: (2005)

Plasma of underwater electric discharges with metal vapors
за авторством: Boretskij, V.F., та інші
Опубліковано: (2019)

Ion initial azimuthal speed influence upon isotopes separation in the presence of constant axisymmetric radial-electric and azimuthal-magnetic fields, the strengths of which is inversely proportional to the distance from the axis
за авторством: Kirochkin, A.Yu., та інші
Опубліковано: (2000)

Plasma of electric arc discharge between Cu-Mo electrodes
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2007)

Plasma of electric arc between electrodes from composite materials
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2008)

Diffusion of the erosion products of copper electrodes from electric arc channel
за авторством: Zhovtyansky, V.A., та інші
Опубліковано: (2002)

Plasma of electric arc discharge between copper electrodes in a gas flow
за авторством: Babich, I.L., та інші
Опубліковано: (2008)

Influence of multipolar magnetic field geometry of ECR planar plasma source on plasma parameters
за авторством: Fedorchenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2008)

Investigation of jumping pulsed electrical discharge for plasma chemistry application
за авторством: Berezina, G.P., та інші
Опубліковано: (2002)

Plasma chemistry of SOx in a pulsed electric discharge at atmosphere pressure
за авторством: Berezina, G.P., та інші
Опубліковано: (2000)

On the properties of the nonideal plasma of electrical pulse discharges in water
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2008)

Plasma-surface interaction of electric arc discharge between composite Cu-Cr electrodes
за авторством: Murmantsev, A., та інші
Опубліковано: (2020)

Investigations of thermal plasma of electric arc discharge between composite Ag–C electrodes
за авторством: Veklich, A.N., та інші
Опубліковано: (2016)

Composite Cu-Cr materials under thermal action of electric arc discharge plasma
за авторством: Murmantsev, A., та інші
Опубліковано: (2021)

Solid ion source based on hollow-cylindrical magnetron sputtering discharge
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2003)

On the optical properties of the nonideal plasma of electrical pulse discharge in water
за авторством: Starchyk, P.D., та інші
Опубліковано: (2007)

Discharge characteristics in the MPC channel in presence of external longitudinal magnetic field
за авторством: Solyakov, D.G., та інші
Опубліковано: (2019)

Control of ionization processes in magnetron sputtering system by changing magnetic field configuration
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2021)

Magnetic field influence on the shape of eroding surface of graphite cathodes
за авторством: Aksenov, I.I., та інші
Опубліковано: (2002)

Amplitude of vortical turbulence in crossed fields in separator of spent nuclear fuel at optimum parameters
за авторством: Levchuk, I.P., та інші
Опубліковано: (2016)

Origin of transversal displacement of the plasma flux moving in a curvilinear magnetic field
за авторством: Timoshenko, A.I.
Опубліковано: (2008)

Modulation of negatively charged particle flux from penning discharge with metal hydride cathode
за авторством: Sereda, I., та інші
Опубліковано: (2023)

Influence of magnetic field configuration and strength on plasma parameters and efficiency of coatings deposition in magnetron sputtering system
за авторством: Chunadra, А.G., та інші
Опубліковано: (2022)