Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC
The abrasion resistance of multi-layer vacuum-arc diamond-like (DLC) coatings of various architectures: quasigradient, as well as coatings with alternating hard and soft layers, whose structure and mechanical characteristics are specified by the amplitude of the bias potential and the deposition tim...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2019 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194834 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strel’nitskij // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 216-218. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194834 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strel’nitskij, V.E. 2023-11-30T14:52:01Z 2023-11-30T14:52:01Z 2019 Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strel’nitskij // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 216-218. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 81.05.U-; 81.15.Jj; 52.77.Dq https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194834 The abrasion resistance of multi-layer vacuum-arc diamond-like (DLC) coatings of various architectures: quasigradient, as well as coatings with alternating hard and soft layers, whose structure and mechanical characteristics are specified by the amplitude of the bias potential and the deposition time of each layer are investigated. Increasing the thickness of the DLC to 6…7 μm by using a multilayer architecture with alternating soft and hard layers allows to improve the abrasion resistance of the protective coating, however, the adhesion of such coatings on silicon carbide is somewhat lower than that of the quasigradient ones. The parameters of the process of synthesis of DLCs, provid-ing a significant improvement in the mechanical characteristics of multilayer coatings, in comparison with the sin-gle-layer ones, are established. Досліджено абразивну стійкість багатошарових вакуумно-дугових алмазоподібних покриттів (АПП) різної архітектури: квазіградiєнтних, а також покриттів з періодично повторюваними твердими та м’якими шарами, структура та механічні характеристики яких задаються амплітудою потенціалу зміщення і тривалістю осадження кожного шару. Збільшення товщини АПП до 6…7 мкм за рахунок використання багатошарової архітектури з періодично повторюваними твердими та м’якими шарами дозволяє покращити абразивну стійкість захисного покриття, однак адгезія таких покриттів на карбіді кремнию дещо нижча, ніж у квазіградієнтних. Встановлено параметри процесу синтезу АПП, які забезпечують суттєве поліпшення механічних характеристик багатошарових покриттів порівняно з одношаровими. Исследована абразивная стойкость многослойных вакуумно-дуговых алмазоподобных покрытий (АПП) различной архитектуры: квазиградиентных, а также покрытий с чередующимися твердыми и мягкими слоями, структура и механические характеристики которых задаются амплитудой потенциала смещения и временем осаждения каждого слоя. Увеличение толщины АПП до 6…7 мкм за счет использования многослойной архитектуры с чередующимися мягкими и твердыми слоями позволяет улучшить абразивную стойкость защитного покрытия, однако адгезия таких покрытий на карбиде кремния несколько ниже, чем у квазиградиентных. Установлены параметры процесса синтеза АПП, обеспечивающие существенное улучшение механических характеристик многослойных покрытий по сравнению с однослойными. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC Дослідження абразивної стійкості багатошарових алмазоподібних покриттів для ущільнювальних кілець з карбіду кремнію сухих газових ущільнень Исследование абразивной стойкости многослойных алмазоподобных покрытий для уплотнительных колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC |
| spellingShingle |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strel’nitskij, V.E. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC |
| title_full |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC |
| title_fullStr |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC |
| title_full_unstemmed |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC |
| title_sort |
investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of sic |
| author |
Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strel’nitskij, V.E. |
| author_facet |
Vasyliev, V.V. Luchaninov, A.A. Strel’nitskij, V.E. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2019 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Дослідження абразивної стійкості багатошарових алмазоподібних покриттів для ущільнювальних кілець з карбіду кремнію сухих газових ущільнень Исследование абразивной стойкости многослойных алмазоподобных покрытий для уплотнительных колец из карбида кремния сухих газовых уплотнений |
| description |
The abrasion resistance of multi-layer vacuum-arc diamond-like (DLC) coatings of various architectures: quasigradient, as well as coatings with alternating hard and soft layers, whose structure and mechanical characteristics are specified by the amplitude of the bias potential and the deposition time of each layer are investigated. Increasing the thickness of the DLC to 6…7 μm by using a multilayer architecture with alternating soft and hard layers allows to improve the abrasion resistance of the protective coating, however, the adhesion of such coatings on silicon carbide is somewhat lower than that of the quasigradient ones. The parameters of the process of synthesis of DLCs, provid-ing a significant improvement in the mechanical characteristics of multilayer coatings, in comparison with the sin-gle-layer ones, are established.
Досліджено абразивну стійкість багатошарових вакуумно-дугових алмазоподібних покриттів (АПП) різної архітектури: квазіградiєнтних, а також покриттів з періодично повторюваними твердими та м’якими шарами, структура та механічні характеристики яких задаються амплітудою потенціалу зміщення і тривалістю осадження кожного шару. Збільшення товщини АПП до 6…7 мкм за рахунок використання багатошарової архітектури з періодично повторюваними твердими та м’якими шарами дозволяє покращити абразивну стійкість захисного покриття, однак адгезія таких покриттів на карбіді кремнию дещо нижча, ніж у квазіградієнтних. Встановлено параметри процесу синтезу АПП, які забезпечують суттєве поліпшення механічних характеристик багатошарових покриттів порівняно з одношаровими.
Исследована абразивная стойкость многослойных вакуумно-дуговых алмазоподобных покрытий (АПП) различной архитектуры: квазиградиентных, а также покрытий с чередующимися твердыми и мягкими слоями, структура и механические характеристики которых задаются амплитудой потенциала смещения и временем осаждения каждого слоя. Увеличение толщины АПП до 6…7 мкм за счет использования многослойной архитектуры с чередующимися мягкими и твердыми слоями позволяет улучшить абразивную стойкость защитного покрытия, однако адгезия таких покрытий на карбиде кремния несколько ниже, чем у квазиградиентных. Установлены параметры процесса синтеза АПП, обеспечивающие существенное улучшение механических характеристик многослойных покрытий по сравнению с однослойными.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194834 |
| citation_txt |
Investigation of the abrasive durability of the multilayer diamond-like coatings for the ring-shaped dry gaseous seals made of SiC / V.V. Vasyliev, A.A. Luchaninov, V.E. Strel’nitskij // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 216-218. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT vasylievvv investigationoftheabrasivedurabilityofthemultilayerdiamondlikecoatingsfortheringshapeddrygaseoussealsmadeofsic AT luchaninovaa investigationoftheabrasivedurabilityofthemultilayerdiamondlikecoatingsfortheringshapeddrygaseoussealsmadeofsic AT strelnitskijve investigationoftheabrasivedurabilityofthemultilayerdiamondlikecoatingsfortheringshapeddrygaseoussealsmadeofsic AT vasylievvv doslídžennâabrazivnoístíikostíbagatošarovihalmazopodíbnihpokrittívdlâuŝílʹnûvalʹnihkílecʹzkarbídukremníûsuhihgazovihuŝílʹnenʹ AT luchaninovaa doslídžennâabrazivnoístíikostíbagatošarovihalmazopodíbnihpokrittívdlâuŝílʹnûvalʹnihkílecʹzkarbídukremníûsuhihgazovihuŝílʹnenʹ AT strelnitskijve doslídžennâabrazivnoístíikostíbagatošarovihalmazopodíbnihpokrittívdlâuŝílʹnûvalʹnihkílecʹzkarbídukremníûsuhihgazovihuŝílʹnenʹ AT vasylievvv issledovanieabrazivnoistoikostimnogosloinyhalmazopodobnyhpokrytiidlâuplotnitelʹnyhkolecizkarbidakremniâsuhihgazovyhuplotnenii AT luchaninovaa issledovanieabrazivnoistoikostimnogosloinyhalmazopodobnyhpokrytiidlâuplotnitelʹnyhkolecizkarbidakremniâsuhihgazovyhuplotnenii AT strelnitskijve issledovanieabrazivnoistoikostimnogosloinyhalmazopodobnyhpokrytiidlâuplotnitelʹnyhkolecizkarbidakremniâsuhihgazovyhuplotnenii |
| first_indexed |
2025-11-28T22:34:20Z |
| last_indexed |
2025-11-28T22:34:20Z |
| _version_ |
1850854219548983296 |