Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes
This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-vol...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194835 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862580379774353408 |
|---|---|
| author | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| author_facet | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
| citation_txt | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-voltage magnetron discharge with the electrodes detached from the ground. This technique makes it possible to measure ion and electron densities and plasma temperatures and potentials, as well as the ion and electron energy distribution functions, with the usual accuracy for probe measurements. The measurements were carried out by a three-electrode probe installed in the cathode sputtering zone. Selection of the investigated particles was carried out through a screen located under a floating potential.
Розглянуто метод вимірювання зовнішніх і внутрішніх параметрів газорозрядної плазми в умовах непотенційного «заземлення» з використанням багатосіточного зондa з незаземленими електродами та корпусом. Методика була розроблена в плазмі імпульсного сильнострумового високовольтного магнетронного розряду з електродами, відокремленими від землі. Цей метод дозволяє виміряти щільності іонів і електронів, температури та потенціали плазми, а також функції розподілу енергії іонів і електронів iз звичайною точністю для зондових вимірів. Виміри проводилися трьохелектродним зондом, встановленим у зоні катодного розпилення. Відбір досліджуваних часток проводився за допомогою екрана, розташованого під плаваючим потенціалом.
Рассмотрен метод измерения внешних и внутренних параметров газоразрядной плазмы в условиях непотенциального «заземления» с использованием многосеточного зонда с незаземленными электродами и корпусом. Методика была разработана в плазме импульсного сильноточного высоковольтного магнетронного разряда с электродами, отсоединенными от земли. Этот метод позволяет измерять плотности ионов и электронов, температуры и потенциалы плазмы, а также функции распределения энергии ионов и электронов с обычной точностью для зондовых измерений. Измерения проводились трехэлектродным зондом, установленным в зоне катодного распыления. Выбор исследуемых частиц проводился через экран, расположенный под плавающим потенциалом.
|
| first_indexed | 2025-11-26T20:39:24Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194835 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-26T20:39:24Z |
| publishDate | 2019 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. 2023-11-30T14:54:42Z 2023-11-30T14:54:42Z 2019 Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 219-221. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194835 This work is devoted to the method of measuring the external and internal parameters of gas-discharge plasma in conditions of non-potential "ground" using a multi-grid probe with ungrounded electrodes and a casing. The technique was developed in the plasma of a pulsed high-current high-voltage magnetron discharge with the electrodes detached from the ground. This technique makes it possible to measure ion and electron densities and plasma temperatures and potentials, as well as the ion and electron energy distribution functions, with the usual accuracy for probe measurements. The measurements were carried out by a three-electrode probe installed in the cathode sputtering zone. Selection of the investigated particles was carried out through a screen located under a floating potential. Розглянуто метод вимірювання зовнішніх і внутрішніх параметрів газорозрядної плазми в умовах непотенційного «заземлення» з використанням багатосіточного зондa з незаземленими електродами та корпусом. Методика була розроблена в плазмі імпульсного сильнострумового високовольтного магнетронного розряду з електродами, відокремленими від землі. Цей метод дозволяє виміряти щільності іонів і електронів, температури та потенціали плазми, а також функції розподілу енергії іонів і електронів iз звичайною точністю для зондових вимірів. Виміри проводилися трьохелектродним зондом, встановленим у зоні катодного розпилення. Відбір досліджуваних часток проводився за допомогою екрана, розташованого під плаваючим потенціалом. Рассмотрен метод измерения внешних и внутренних параметров газоразрядной плазмы в условиях непотенциального «заземления» с использованием многосеточного зонда с незаземленными электродами и корпусом. Методика была разработана в плазме импульсного сильноточного высоковольтного магнетронного разряда с электродами, отсоединенными от земли. Этот метод позволяет измерять плотности ионов и электронов, температуры и потенциалы плазмы, а также функции распределения энергии ионов и электронов с обычной точностью для зондовых измерений. Измерения проводились трехэлектродным зондом, установленным в зоне катодного распыления. Выбор исследуемых частиц проводился через экран, расположенный под плавающим потенциалом. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes Спосіб вимірювання зовнішніх і внутрішніх параметрів плазми iз незаземленими електродами газового розряду Способ измерения внешних и внутренних параметров плазмы с незаземленными электродами газового разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes Chunadra, А.G. Sereda, К.N. Tarasov, I.K. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_alt | Спосіб вимірювання зовнішніх і внутрішніх параметрів плазми iз незаземленими електродами газового розряду Способ измерения внешних и внутренних параметров плазмы с незаземленными электродами газового разряда |
| title_full | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_fullStr | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_full_unstemmed | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_short | Method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| title_sort | method for measuring external and internal parameters of plasma with ungrounded gas discharge electrodes |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194835 |
| work_keys_str_mv | AT chunadraag methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes AT seredakn methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes AT tarasovik methodformeasuringexternalandinternalparametersofplasmawithungroundedgasdischargeelectrodes AT chunadraag sposíbvimírûvannâzovníšníhívnutríšníhparametrívplazmiiznezazemlenimielektrodamigazovogorozrâdu AT seredakn sposíbvimírûvannâzovníšníhívnutríšníhparametrívplazmiiznezazemlenimielektrodamigazovogorozrâdu AT tarasovik sposíbvimírûvannâzovníšníhívnutríšníhparametrívplazmiiznezazemlenimielektrodamigazovogorozrâdu AT chunadraag sposobizmereniâvnešnihivnutrennihparametrovplazmysnezazemlennymiélektrodamigazovogorazrâda AT seredakn sposobizmereniâvnešnihivnutrennihparametrovplazmysnezazemlennymiélektrodamigazovogorazrâda AT tarasovik sposobizmereniâvnešnihivnutrennihparametrovplazmysnezazemlennymiélektrodamigazovogorazrâda |