Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge
In this work, silicon is obtained by plasma-chemical reduction of silicon tetrachloride in an argon-hydrogen low- temperature nonequilibrium plasma. It is shown that in the investigated range of process parameters, the energy cost of producing one kilogram of silicon is in the range of 150…190 kW/h...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194836 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge / A.N. Deryzemlia, A.I. Yevsiukov, V.I. Radchenko, D.A. Khizhnyak, P.G. Kryshtal, A.Yu. Zhuravlov, A.V. Shijan, S.V. Strigunovskiy, Yu.A. Pelypets, B.M. Shirokov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 222-224. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862735475981156352 |
|---|---|
| author | Deryzemlia, A.N. Yevsiukov, A.I. Radchenko, V.I. Khizhnyak, D.A. Kryshtal, P.G. Zhuravlov, A.Yu. Shijan, A.V. Strigunovskiy, S.V. Pelypets, Yu.A. Shirokov, B.M. |
| author_facet | Deryzemlia, A.N. Yevsiukov, A.I. Radchenko, V.I. Khizhnyak, D.A. Kryshtal, P.G. Zhuravlov, A.Yu. Shijan, A.V. Strigunovskiy, S.V. Pelypets, Yu.A. Shirokov, B.M. |
| citation_txt | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge / A.N. Deryzemlia, A.I. Yevsiukov, V.I. Radchenko, D.A. Khizhnyak, P.G. Kryshtal, A.Yu. Zhuravlov, A.V. Shijan, S.V. Strigunovskiy, Yu.A. Pelypets, B.M. Shirokov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 222-224. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | In this work, silicon is obtained by plasma-chemical reduction of silicon tetrachloride in an argon-hydrogen low- temperature nonequilibrium plasma. It is shown that in the investigated range of process parameters, the energy cost of producing one kilogram of silicon is in the range of 150…190 kW/h with a silicon yield of ~ 85 %. This cost reduction in the plasma-chemical process is associated with the transfer of electricity directly into the gas-vapor mixture. In addition, carrying out the recovery process under nonequilibrium conditions leads to the formation of atomic hydrogen in the discharge.
Отримано кремній шляхом плазмохімічного відновлення тетрахлориду кремнію в аргон-водневій низькотемпературній нерівноважній плазмі. Показано, що в дослідженому диапазоні параметрів процесу енергетичні витрати на отримання одного кілограма кремнію знаходиться в межах 150…190 кВт/ч при виході кремнію ~ 85 %. Таке зниження витрат у плазмохімічному процесі пов'язане з введенням електроенергії безпосередньо в парогазову суміш. Крім того, проведення процесу відновлення в нерівноважних умовах призводить до утворення в розряді атомарного водню.
Получен кремний путем плазмохимического восстановления тетрахлорида кремния в аргон-водородной низкотемпературной неравновесной плазме. Показано, что в исследуемом диапазоне параметров процесса энергетические затраты на получение одного килограмма кремния находятся в пределах 150…190 кВт/ч при выходе кремния ~ 85 %. Такое снижение затрат в плазмохимическом процессе связано с введением электроэнергии непосредственно в парогазовую смесь. Кроме того, проведение процесса восстановления в неравновесных условиях приводит к образованию в разряде атомарного водорода.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:49:02Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194836 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T19:49:02Z |
| publishDate | 2019 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Deryzemlia, A.N. Yevsiukov, A.I. Radchenko, V.I. Khizhnyak, D.A. Kryshtal, P.G. Zhuravlov, A.Yu. Shijan, A.V. Strigunovskiy, S.V. Pelypets, Yu.A. Shirokov, B.M. 2023-11-30T14:55:25Z 2023-11-30T14:55:25Z 2019 Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge / A.N. Deryzemlia, A.I. Yevsiukov, V.I. Radchenko, D.A. Khizhnyak, P.G. Kryshtal, A.Yu. Zhuravlov, A.V. Shijan, S.V. Strigunovskiy, Yu.A. Pelypets, B.M. Shirokov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 222-224. — Бібліогр.: 3 назв. — англ. 1562-6016 PACS:50.,52.,68.Lf https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194836 In this work, silicon is obtained by plasma-chemical reduction of silicon tetrachloride in an argon-hydrogen low- temperature nonequilibrium plasma. It is shown that in the investigated range of process parameters, the energy cost of producing one kilogram of silicon is in the range of 150…190 kW/h with a silicon yield of ~ 85 %. This cost reduction in the plasma-chemical process is associated with the transfer of electricity directly into the gas-vapor mixture. In addition, carrying out the recovery process under nonequilibrium conditions leads to the formation of atomic hydrogen in the discharge. Отримано кремній шляхом плазмохімічного відновлення тетрахлориду кремнію в аргон-водневій низькотемпературній нерівноважній плазмі. Показано, що в дослідженому диапазоні параметрів процесу енергетичні витрати на отримання одного кілограма кремнію знаходиться в межах 150…190 кВт/ч при виході кремнію ~ 85 %. Таке зниження витрат у плазмохімічному процесі пов'язане з введенням електроенергії безпосередньо в парогазову суміш. Крім того, проведення процесу відновлення в нерівноважних умовах призводить до утворення в розряді атомарного водню. Получен кремний путем плазмохимического восстановления тетрахлорида кремния в аргон-водородной низкотемпературной неравновесной плазме. Показано, что в исследуемом диапазоне параметров процесса энергетические затраты на получение одного килограмма кремния находятся в пределах 150…190 кВт/ч при выходе кремния ~ 85 %. Такое снижение затрат в плазмохимическом процессе связано с введением электроэнергии непосредственно в парогазовую смесь. Кроме того, проведение процесса восстановления в неравновесных условиях приводит к образованию в разряде атомарного водорода. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge Водневе відновлення тетрахлориду кремнію в низькотемпературній нерівноважній плазмі високочастотного індукційного розряду Водородное восстановление тетрахлорида кремния в низкотемпературной неравновесной плазме высокочастотного индукционного разряда Article published earlier |
| spellingShingle | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge Deryzemlia, A.N. Yevsiukov, A.I. Radchenko, V.I. Khizhnyak, D.A. Kryshtal, P.G. Zhuravlov, A.Yu. Shijan, A.V. Strigunovskiy, S.V. Pelypets, Yu.A. Shirokov, B.M. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge |
| title_alt | Водневе відновлення тетрахлориду кремнію в низькотемпературній нерівноважній плазмі високочастотного індукційного розряду Водородное восстановление тетрахлорида кремния в низкотемпературной неравновесной плазме высокочастотного индукционного разряда |
| title_full | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge |
| title_fullStr | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge |
| title_full_unstemmed | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge |
| title_short | Hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction RF discharge |
| title_sort | hydrogen reduction of silicon tetrachloride in low temperature non-equilibrium plasma of induction rf discharge |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194836 |
| work_keys_str_mv | AT deryzemliaan hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT yevsiukovai hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT radchenkovi hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT khizhnyakda hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT kryshtalpg hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT zhuravlovayu hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT shijanav hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT strigunovskiysv hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT pelypetsyua hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT shirokovbm hydrogenreductionofsilicontetrachlorideinlowtemperaturenonequilibriumplasmaofinductionrfdischarge AT deryzemliaan vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT yevsiukovai vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT radchenkovi vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT khizhnyakda vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT kryshtalpg vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT zhuravlovayu vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT shijanav vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT strigunovskiysv vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT pelypetsyua vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT shirokovbm vodnevevídnovlennâtetrahloridukremníûvnizʹkotemperaturníinerívnovažníiplazmívisokočastotnogoíndukcíinogorozrâdu AT deryzemliaan vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT yevsiukovai vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT radchenkovi vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT khizhnyakda vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT kryshtalpg vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT zhuravlovayu vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT shijanav vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT strigunovskiysv vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT pelypetsyua vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda AT shirokovbm vodorodnoevosstanovlenietetrahloridakremniâvnizkotemperaturnoineravnovesnoiplazmevysokočastotnogoindukcionnogorazrâda |