Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide
The paper is devoted to investigation of spatial distributions of ion current density to a sample in technological set-up with magnetron sputtering system and ICP source. The dependence of the ion flux towards the processed surface on the parameters of the deposition process was measured. The follow...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194909 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, A. Dakhov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 229-232. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194909 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Dakhov, A. Yefymenko, N. 2023-12-01T14:00:22Z 2023-12-01T14:00:22Z 2019 Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, A. Dakhov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 229-232. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.77.-j, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194909 The paper is devoted to investigation of spatial distributions of ion current density to a sample in technological set-up with magnetron sputtering system and ICP source. The dependence of the ion flux towards the processed surface on the parameters of the deposition process was measured. The following parameters were varied: magnetron discharge power, gas type and pressure, target-sample distance, inductive discharge power, and bias potential applied to the samples. The effect of nonequilibrium heating of the sample surface due to relaxation of kinetic energy of ions, atoms and electrons, as well as energy of exothermic chemical reactions at synthesis of Ta₂O₅ and TaB₂ films is discussed. The influence of sample shape on the ion bombardment is also investigated. Досліджено просторові розподіли щільності іонного струму на зразок у технологічній установці з магнетроном та індукційним джерелом плазми. Виміряно залежності потоку іонів на оброблювану поверхню від параметрів процесу осадження, таких як: потужність магнетрона і індуктивного розряду, тип і тиск газу, потужність, потенціал зсуву на зразок. Обговорюється вплив нерівноважного нагріву поверхні зразка за рахунок релаксації кінетичної енергії іонів, атомів і електронів, а також енергії екзотермічних хімічних реакцій при синтезі плівок Ta₂O₅ і TaB₂. Досліджено вплив форми зразка на іонне бомбардування. Исследованы пространственные распределения плотности ионного тока на образец в технологической установке с магнетроном и индукционным источником плазмы. Измерены зависимости потока ионов на обрабатываемую поверхность от параметров процесса осаждения, таких как: мощность разряда магнетрона и индуктивного разряда, тип и давление газа, мощность, потенциал смещения, подаваемый на образец. Обсуждаются влияние неравновесного нагрева поверхности образца за счет релаксации кинетической энергии ионов, атомов и электронов, а также энергии экзотермических химических реакций при синтезе пленок Ta₂O₅ и TaB₂. Исследовано влияние формы образца на ионную бомбардировку. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Low temperature plasma and plasma technologies Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide Дослідження взаємодії між іонно-пучковою плазмою та оброблюваною поверхнею при синтезі дибориду та пентаоксиду танталу Исследование взаимодействия между ионно-пучковой плазмой и обрабатываемой поверхностью при синтезе диборида и пентаоксида тантала Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| spellingShingle |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Dakhov, A. Yefymenko, N. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| title_full |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| title_fullStr |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| title_full_unstemmed |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| title_sort |
investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide |
| author |
Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Dakhov, A. Yefymenko, N. |
| author_facet |
Yakovin, S. Zykov, A. Dudin, S. Dakhov, A. Yefymenko, N. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2019 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Дослідження взаємодії між іонно-пучковою плазмою та оброблюваною поверхнею при синтезі дибориду та пентаоксиду танталу Исследование взаимодействия между ионно-пучковой плазмой и обрабатываемой поверхностью при синтезе диборида и пентаоксида тантала |
| description |
The paper is devoted to investigation of spatial distributions of ion current density to a sample in technological set-up with magnetron sputtering system and ICP source. The dependence of the ion flux towards the processed surface on the parameters of the deposition process was measured. The following parameters were varied: magnetron discharge power, gas type and pressure, target-sample distance, inductive discharge power, and bias potential applied to the samples. The effect of nonequilibrium heating of the sample surface due to relaxation of kinetic energy of ions, atoms and electrons, as well as energy of exothermic chemical reactions at synthesis of Ta₂O₅ and TaB₂ films is discussed. The influence of sample shape on the ion bombardment is also investigated.
Досліджено просторові розподіли щільності іонного струму на зразок у технологічній установці з магнетроном та індукційним джерелом плазми. Виміряно залежності потоку іонів на оброблювану поверхню від параметрів процесу осадження, таких як: потужність магнетрона і індуктивного розряду, тип і тиск газу, потужність, потенціал зсуву на зразок. Обговорюється вплив нерівноважного нагріву поверхні зразка за рахунок релаксації кінетичної енергії іонів, атомів і електронів, а також енергії екзотермічних хімічних реакцій при синтезі плівок Ta₂O₅ і TaB₂. Досліджено вплив форми зразка на іонне бомбардування.
Исследованы пространственные распределения плотности ионного тока на образец в технологической установке с магнетроном и индукционным источником плазмы. Измерены зависимости потока ионов на обрабатываемую поверхность от параметров процесса осаждения, таких как: мощность разряда магнетрона и индуктивного разряда, тип и давление газа, мощность, потенциал смещения, подаваемый на образец. Обсуждаются влияние неравновесного нагрева поверхности образца за счет релаксации кинетической энергии ионов, атомов и электронов, а также энергии экзотермических химических реакций при синтезе пленок Ta₂O₅ и TaB₂. Исследовано влияние формы образца на ионную бомбардировку.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194909 |
| citation_txt |
Investigation of interaction between ion-beam plasma and processed surface during the synthesis of tantalum diboride and pentaoxide / S. Yakovin, A. Zykov, S. Dudin, A. Dakhov, N. Yefymenko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 1. — С. 229-232. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT yakovins investigationofinteractionbetweenionbeamplasmaandprocessedsurfaceduringthesynthesisoftantalumdiborideandpentaoxide AT zykova investigationofinteractionbetweenionbeamplasmaandprocessedsurfaceduringthesynthesisoftantalumdiborideandpentaoxide AT dudins investigationofinteractionbetweenionbeamplasmaandprocessedsurfaceduringthesynthesisoftantalumdiborideandpentaoxide AT dakhova investigationofinteractionbetweenionbeamplasmaandprocessedsurfaceduringthesynthesisoftantalumdiborideandpentaoxide AT yefymenkon investigationofinteractionbetweenionbeamplasmaandprocessedsurfaceduringthesynthesisoftantalumdiborideandpentaoxide AT yakovins doslídžennâvzaêmodíímížíonnopučkovoûplazmoûtaobroblûvanoûpoverhneûprisintezídiboridutapentaoksidutantalu AT zykova doslídžennâvzaêmodíímížíonnopučkovoûplazmoûtaobroblûvanoûpoverhneûprisintezídiboridutapentaoksidutantalu AT dudins doslídžennâvzaêmodíímížíonnopučkovoûplazmoûtaobroblûvanoûpoverhneûprisintezídiboridutapentaoksidutantalu AT dakhova doslídžennâvzaêmodíímížíonnopučkovoûplazmoûtaobroblûvanoûpoverhneûprisintezídiboridutapentaoksidutantalu AT yefymenkon doslídžennâvzaêmodíímížíonnopučkovoûplazmoûtaobroblûvanoûpoverhneûprisintezídiboridutapentaoksidutantalu AT yakovins issledovanievzaimodeistviâmežduionnopučkovoiplazmoiiobrabatyvaemoipoverhnostʹûprisintezediboridaipentaoksidatantala AT zykova issledovanievzaimodeistviâmežduionnopučkovoiplazmoiiobrabatyvaemoipoverhnostʹûprisintezediboridaipentaoksidatantala AT dudins issledovanievzaimodeistviâmežduionnopučkovoiplazmoiiobrabatyvaemoipoverhnostʹûprisintezediboridaipentaoksidatantala AT dakhova issledovanievzaimodeistviâmežduionnopučkovoiplazmoiiobrabatyvaemoipoverhnostʹûprisintezediboridaipentaoksidatantala AT yefymenkon issledovanievzaimodeistviâmežduionnopučkovoiplazmoiiobrabatyvaemoipoverhnostʹûprisintezediboridaipentaoksidatantala |
| first_indexed |
2025-12-02T11:08:50Z |
| last_indexed |
2025-12-02T11:08:50Z |
| _version_ |
1850862283318624256 |