Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆
Diamond-like coatings (DLC) synthesized by plasma-chemical deposition from a vapor mixture of C₆H₆ and Ar have been investigated. The growth rate of the coating was measured, which showed a nonlinear dependence on the partial pressure of Ar. The mathematical model of the deposition has been develope...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2021 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194928 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Growth rate of diamond-like coatings synthesized in RF discharge at various ratios of the concentrations of Ar and C₆H₆ / A.I. Kalinichenko, A.О. Omarov, V.E. Strel’nitskij // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 109-112. — Бібліогр.: 5 назв. — англ. |