Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the subst...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194952 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194952 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Novikov, V.Yu. Beresnev, V.М. Kolesnikov, D.A. Ivanov, О.N. Lytovchenko, S.V. Stolbovoy, V.A. Kolodiy, I.V. Kozachenko, A.O. Kovaleva, M.G. Kritsyna, E.V. Glukhov, О.V. 2023-12-01T18:49:51Z 2023-12-01T18:49:51Z 2019 Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194952 621.793:548.73 Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the substrates were placed. The rotation of the axis with the substrates was carried out either continuously or with a fixed delay at the evaporators. The duration of the process was chosen so that the total thickness of the coating (total thickness of the bilayers) was 10…11 μm. The effect of nitrogen pressure and modulation period on the structural-phase state, elemental composition, and mechanical properties of multilayer coatings has been studied. An increase in the partial pressure of nitrogen and, consequently, its content in the coating leads to an increase in hardness. Reducing the thickness of the layers in the coatings increases the adhesive strength of the coatings and does not have a significant effect on the microstresses in the coating. Багатоперіодичні нітридні покриття (TiAlCrY)N/ZrN з різною товщиною прошарків сформовані вакуумно-дуговим випаровуванням в азоті (0,2…0,6 Па) двох мішеней – TiAlCrY і Zr. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладинками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Тривалість процесу вибирали так, щоб загальна товщина покриття (сумарна товщина подвійних прошарків) становила 10…11 мкм. Проаналізовано вплив тиску азоту і періоду модуляції на структурнофазовий стан, елементний склад і механічні властивості багатошарових покриттів. Збільшення парціального тиску азоту і внаслідок цього його вмісту в покритті призводить до збільшення твердості. Зменшення товщини шарів у покриттях збільшує адгезійну міцність покриттів та істотно не впливає на мікронапруження в покритті. Многопериодичные нитридные покрытия (TiAlCrY)N/ZrN с различной толщиной слоев сформированы вакуумно-дуговым испарением в среде азота (0,2…0,6 Па) двух мишеней – TiAlCrY и Zr. Мишени располагали вдоль одной прямой на равных расстояниях от перпендикулярной оси, на которой располагали подложки. Вращение оси с подложками осуществляли либо непрерывно, либо с фиксированной задержкой у испарителей. Длительность процесса выбирали так, чтобы общая толщина покрытия (суммарная толщина бислоев) составляла 10…11 мкм. Проанализировано влияние давления азота и периода модуляции на структурно-фазовое состояние, элементный состав и механические свойства многослойных покрытий. Увеличение парциального давления азота и вследствие этого – его содержания в покрытии приводит к увеличению твердости. Уменьшение толщины слоев в покрытиях увеличивает адгезионную прочность покрытий и не оказывает существенного влияния на микронапряжения в покрытии. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN Структура і механічні властивості багатошарових покриттiв (TiAlCrY)N/ZrN Структура и механические свойства многослойных покрытий (TiAlCrY)N/ZrN Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN |
| spellingShingle |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN Novikov, V.Yu. Beresnev, V.М. Kolesnikov, D.A. Ivanov, О.N. Lytovchenko, S.V. Stolbovoy, V.A. Kolodiy, I.V. Kozachenko, A.O. Kovaleva, M.G. Kritsyna, E.V. Glukhov, О.V. Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| title_short |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN |
| title_full |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN |
| title_fullStr |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN |
| title_full_unstemmed |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN |
| title_sort |
structure and mechanical properties of multilayer coatings (tialcry)n/zrn |
| author |
Novikov, V.Yu. Beresnev, V.М. Kolesnikov, D.A. Ivanov, О.N. Lytovchenko, S.V. Stolbovoy, V.A. Kolodiy, I.V. Kozachenko, A.O. Kovaleva, M.G. Kritsyna, E.V. Glukhov, О.V. |
| author_facet |
Novikov, V.Yu. Beresnev, V.М. Kolesnikov, D.A. Ivanov, О.N. Lytovchenko, S.V. Stolbovoy, V.A. Kolodiy, I.V. Kozachenko, A.O. Kovaleva, M.G. Kritsyna, E.V. Glukhov, О.V. |
| topic |
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| topic_facet |
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| publishDate |
2019 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Структура і механічні властивості багатошарових покриттiв (TiAlCrY)N/ZrN Структура и механические свойства многослойных покрытий (TiAlCrY)N/ZrN |
| description |
Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the substrates were placed. The rotation of the axis with the substrates was carried out either continuously or with a fixed delay at the evaporators. The duration of the process was chosen so that the total thickness of the coating (total thickness of the bilayers) was 10…11 μm. The effect of nitrogen pressure and modulation period on the structural-phase state, elemental composition, and mechanical properties of multilayer coatings has been studied. An increase in the partial pressure of nitrogen and, consequently, its content in the coating leads to an increase in hardness. Reducing the thickness of the layers in the coatings increases the adhesive strength of the coatings and does not have a significant effect on the microstresses in the coating.
Багатоперіодичні нітридні покриття (TiAlCrY)N/ZrN з різною товщиною прошарків сформовані вакуумно-дуговим випаровуванням в азоті (0,2…0,6 Па) двох мішеней – TiAlCrY і Zr. Мішені розташовували на одній прямій на рівних відстанях від перпендикулярної осі, на якій кріпилися підкладинки. Обертання осі з підкладинками здійснювали або безперервно, або з фіксованою затримкою у випарників. Тривалість процесу вибирали так, щоб загальна товщина покриття (сумарна товщина подвійних прошарків) становила 10…11 мкм. Проаналізовано вплив тиску азоту і періоду модуляції на структурнофазовий стан, елементний склад і механічні властивості багатошарових покриттів. Збільшення парціального тиску азоту і внаслідок цього його вмісту в покритті призводить до збільшення твердості. Зменшення товщини шарів у покриттях збільшує адгезійну міцність покриттів та істотно не впливає на мікронапруження в покритті.
Многопериодичные нитридные покрытия (TiAlCrY)N/ZrN с различной толщиной слоев сформированы вакуумно-дуговым испарением в среде азота (0,2…0,6 Па) двух мишеней – TiAlCrY и Zr. Мишени располагали вдоль одной прямой на равных расстояниях от перпендикулярной оси, на которой располагали подложки. Вращение оси с подложками осуществляли либо непрерывно, либо с фиксированной задержкой у испарителей. Длительность процесса выбирали так, чтобы общая толщина покрытия (суммарная толщина бислоев) составляла 10…11 мкм. Проанализировано влияние давления азота и периода модуляции на структурно-фазовое состояние, элементный состав и механические свойства многослойных покрытий. Увеличение парциального давления азота и вследствие этого – его содержания в покрытии приводит к увеличению твердости. Уменьшение толщины слоев в покрытиях увеличивает адгезионную прочность покрытий и не оказывает существенного влияния на микронапряжения в покрытии.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194952 |
| citation_txt |
Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT novikovvyu structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT beresnevvm structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT kolesnikovda structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT ivanovon structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT lytovchenkosv structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT stolbovoyva structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT kolodiyiv structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT kozachenkoao structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT kovalevamg structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT kritsynaev structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT glukhovov structureandmechanicalpropertiesofmultilayercoatingstialcrynzrn AT novikovvyu strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT beresnevvm strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT kolesnikovda strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT ivanovon strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT lytovchenkosv strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT stolbovoyva strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT kolodiyiv strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT kozachenkoao strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT kovalevamg strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT kritsynaev strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT glukhovov strukturaímehaníčnívlastivostíbagatošarovihpokrittivtialcrynzrn AT novikovvyu strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT beresnevvm strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT kolesnikovda strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT ivanovon strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT lytovchenkosv strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT stolbovoyva strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT kolodiyiv strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT kozachenkoao strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT kovalevamg strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT kritsynaev strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn AT glukhovov strukturaimehaničeskiesvoistvamnogosloinyhpokrytiitialcrynzrn |
| first_indexed |
2025-12-07T15:42:25Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:42:25Z |
| _version_ |
1850864719313764352 |