Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN

• Опубліковано в: : Вопросы атомной науки и техники
• Дата: 2019
• Автори: Novikov, V.Yu., Beresnev, V.М., Kolesnikov, D.A., Ivanov, О.N., Lytovchenko, S.V., Stolbovoy, V.A., Kolodiy, I.V., Kozachenko, A.O., Kovaleva, M.G., Kritsyna, E.V., Glukhov, О.V.
• Формат: Стаття
• Мова: English
• Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
• Теми: Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194952
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN / V.Yu. Novikov, V.М. Beresnev, D.A. Kolesnikov, О.N. Ivanov, S.V. Lytovchenko, V.A. Stolbovoy, I.V. Kolodiy, A.O. Kozachenko, M.G. Kovaleva, E.V. Kritsyna, О.V. Glukhov // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 116-120. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.

Multiperiodic nitride coatings (TiAlCrY)N/ZrN with different layer thicknesses are formed by vacuum-arc evaporation in a nitrogen atmosphere (0.2…0.6 Pa) of two targets, TiAlCrY and Zr. The targets were located along one straight line at equal distances from the perpendicular axis on which the subst...