Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system
To solve the actual problem of the analysis of the sputtered particles radiation during coating deposition in a magnetron sputtering system, a digital technique was proposed for processing the emission spectra of the discharge plasma. A graphic OSA application has been created, which allows obtainin...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194956 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, N.A. Azarenkov, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, Yu.E. Logachev, I.I. Okseniuk, A.A. Skrypnyk, D.I. Shevchenko, V.M. Chornous // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 164. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194956 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Azarenkov, N.A. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Logachev, Yu.E. Okseniuk, I.I. Skrypnyk, A.A. Shevchenko, D.I. Chornous, V.M. 2023-12-01T18:52:10Z 2023-12-01T18:52:10Z 2019 Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, N.A. Azarenkov, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, Yu.E. Logachev, I.I. Okseniuk, A.A. Skrypnyk, D.I. Shevchenko, V.M. Chornous // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 164. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194956 535.376 To solve the actual problem of the analysis of the sputtered particles radiation during coating deposition in a magnetron sputtering system, a digital technique was proposed for processing the emission spectra of the discharge plasma. A graphic OSA application has been created, which allows obtaining qualitative and quantitative characteristics of the magnetron discharge plasma. The obtained information about the distribution of excited particles along the direction parallel to the axis of the magnetron discharge permits one to control the mode of the discharge operation and, as a consequence, the properties of the deposited coatings. Для вирішення актуального завдання, пов'язаного з аналізом світіння розпилених частинок при нанесенні покриттів у магнетронно-розпилювальній системі, була запропонована цифрова методика обробки спектрів випромінювання плазми розряду. Створено графічний додаток OSA, що дозволяє отримати якісні та кількісні характеристики плазми магнетронного розряду. Отримана інформація про розподіл збуджених частинок вздовж напрямку, паралельного осі магнетронного розряду, дозволяє контролювати режим роботи розряду і, як наслідок, властивості нанесених покриттів. Для решения актуальной задачи, связанной c анализом свечения распыляемых частиц при нанесении покрытий в магнетронно-распылительной системе, была предложена цифровая методика обработки спектров излучения плазмы разряда. Создано графическое приложение OSA, позволяющее получить качественные и количественные характеристики плазмы магнетронного разряда. Полученная информация о распределении возбужденных частиц вдоль направления, параллельного оси магнетронного разряда, позволяет контролировать режим работы разряда и, как следствие, свойства наносимых покрытий. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system Цифрова обробка оптичинх спектрів випромінювання плазми магнетронно-розпилювальної системи Цифровая обработка оптических спектров излучения плазмы магнетронно-распылительной системы Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| spellingShingle |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Azarenkov, N.A. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Logachev, Yu.E. Okseniuk, I.I. Skrypnyk, A.A. Shevchenko, D.I. Chornous, V.M. Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| title_short |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| title_full |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| title_fullStr |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| title_full_unstemmed |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| title_sort |
digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system |
| author |
Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Azarenkov, N.A. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Logachev, Yu.E. Okseniuk, I.I. Skrypnyk, A.A. Shevchenko, D.I. Chornous, V.M. |
| author_facet |
Afanasіeva, I.A. Afanasiev, S.N. Azarenkov, N.A. Bobkov, V.V. Gritsyna, V.V. Logachev, Yu.E. Okseniuk, I.I. Skrypnyk, A.A. Shevchenko, D.I. Chornous, V.M. |
| topic |
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| topic_facet |
Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies |
| publishDate |
2019 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Цифрова обробка оптичинх спектрів випромінювання плазми магнетронно-розпилювальної системи Цифровая обработка оптических спектров излучения плазмы магнетронно-распылительной системы |
| description |
To solve the actual problem of the analysis of the sputtered particles radiation during coating deposition in a magnetron sputtering system, a digital technique was proposed for processing the emission spectra of the discharge plasma. A graphic OSA application has been created, which allows obtaining qualitative and quantitative characteristics of the magnetron discharge plasma. The obtained information about the distribution of excited particles along the direction parallel to the axis of the magnetron discharge permits one to control the mode of the discharge operation and, as a consequence, the properties of the deposited coatings.
Для вирішення актуального завдання, пов'язаного з аналізом світіння розпилених частинок при нанесенні покриттів у магнетронно-розпилювальній системі, була запропонована цифрова методика обробки спектрів випромінювання плазми розряду. Створено графічний додаток OSA, що дозволяє отримати якісні та кількісні характеристики плазми магнетронного розряду. Отримана інформація про розподіл збуджених частинок вздовж напрямку, паралельного осі магнетронного розряду, дозволяє контролювати режим роботи розряду і, як наслідок, властивості нанесених покриттів.
Для решения актуальной задачи, связанной c анализом свечения распыляемых частиц при нанесении покрытий в магнетронно-распылительной системе, была предложена цифровая методика обработки спектров излучения плазмы разряда. Создано графическое приложение OSA, позволяющее получить качественные и количественные характеристики плазмы магнетронного разряда. Полученная информация о распределении возбужденных частиц вдоль направления, параллельного оси магнетронного разряда, позволяет контролировать режим работы разряда и, как следствие, свойства наносимых покрытий.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194956 |
| citation_txt |
Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system / I.A. Afanasіeva, S.N. Afanasiev, N.A. Azarenkov, V.V. Bobkov, V.V. Gritsyna, Yu.E. Logachev, I.I. Okseniuk, A.A. Skrypnyk, D.I. Shevchenko, V.M. Chornous // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 2. — С. 164. — Бібліогр.: 7 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT afanasíevaia digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT afanasievsn digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT azarenkovna digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT bobkovvv digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT gritsynavv digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT logachevyue digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT okseniukii digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT skrypnykaa digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT shevchenkodi digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT chornousvm digitalprocessingofopticalemissionspectraofmagnetronsputteringplasmasystem AT afanasíevaia cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT afanasievsn cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT azarenkovna cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT bobkovvv cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT gritsynavv cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT logachevyue cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT okseniukii cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT skrypnykaa cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT shevchenkodi cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT chornousvm cifrovaobrobkaoptičinhspektrívvipromínûvannâplazmimagnetronnorozpilûvalʹnoísistemi AT afanasíevaia cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT afanasievsn cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT azarenkovna cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT bobkovvv cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT gritsynavv cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT logachevyue cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT okseniukii cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT skrypnykaa cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT shevchenkodi cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy AT chornousvm cifrovaâobrabotkaoptičeskihspektrovizlučeniâplazmymagnetronnoraspylitelʹnoisistemy |
| first_indexed |
2025-11-30T10:00:18Z |
| last_indexed |
2025-11-30T10:00:18Z |
| _version_ |
1850857117477502976 |