Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2021 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194957 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862562001197203456 |
|---|---|
| author | Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. |
| author_facet | Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. |
| citation_txt | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure formation of polycrystalline diamond coatings. The coatings consist of diamond crystals with a clearly defined cut and the crystal lattice parameter close to the tabular value for natural diamond. The influence of the methane partial pressure in the gas mixture and the substrate temperature on the size and predominant orientation of diamond crystals in the coatings was determined. It is established that the use of the pulse mode and grounding of the substrate holder helps to improve the quality of diamond coatings.
Методами рентгеноструктурного аналізу та оптичної мікроскопії досліджено структуру CVD вуглецевих покриттів, що синтезуються у воднево-метановій суміші в плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, із застосуванням імпульсного джерела живлення. Визначено діапазон параметрів осадження, що забезпечують формування полікристалічних алмазних покриттів, які складаються з алмазних кристалів з чітко вираженою огранкою та параметром кристалічної решітки, близьким до табличної величини для природного алмазу. З’ясовано впливи парціального тиску метану в газовій суміші і температури підкладки на розмір та переважну орієнтацію кристалів алмазу в покриттях. Встановлено, що застосування імпульсного режиму та заземлення підкладинкотримача сприяє покрашенню якості покриттів.
Методами рентгеноструктурного анализа и оптической микроскопии исследована структура CVD углеродных покрытий, синтезируемых в водородно-метановой смеси в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, с применением импульсного источника питания. Определен диапазон параметров осаждения, обеспечивающих формирование поликристаллических алмазных покрытий, состоящих из алмазных кристаллов с четко выраженной огранкой и параметром кристаллической решетки, близким к табличному значению для природного алмаза. Выяснено влияние парциального давления метана в газовой смеси и температуры подложки на размер и преимущественную ориентацию кристаллов алмаза в покрытиях. Установлено, что использование импульсного режима и заземленного подложкодержателя способствует улучшению качества покрытий.
|
| first_indexed | 2025-11-25T23:31:25Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-194957 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-11-25T23:31:25Z |
| publishDate | 2021 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. 2023-12-01T19:03:59Z 2023-12-01T19:03:59Z 2021 Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply / K.I. Koshevoy, Yu.Ya. Volkov, V.E. Strel’nitskij, E.N. Reshetnyak // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 2. — С. 113-118. — Бібліогр.: 22 назв. — англ. 1562-6016 DOI: https://doi.org/10.46813/2021-132-113 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194957 537.534.2:679.826 The structure of CVD carbon coatings synthesized in a hydrogen-methane mixture in the plasma of a glow discharge stabilized by a magnetic field using a pulsed power supply was studied by X-ray diffraction analysis and optical microscopy. The range of deposition parameters is determined, which ensure formation of polycrystalline diamond coatings. The coatings consist of diamond crystals with a clearly defined cut and the crystal lattice parameter close to the tabular value for natural diamond. The influence of the methane partial pressure in the gas mixture and the substrate temperature on the size and predominant orientation of diamond crystals in the coatings was determined. It is established that the use of the pulse mode and grounding of the substrate holder helps to improve the quality of diamond coatings. Методами рентгеноструктурного аналізу та оптичної мікроскопії досліджено структуру CVD вуглецевих покриттів, що синтезуються у воднево-метановій суміші в плазмі тліючого розряду, стабілізованого магнітним полем, із застосуванням імпульсного джерела живлення. Визначено діапазон параметрів осадження, що забезпечують формування полікристалічних алмазних покриттів, які складаються з алмазних кристалів з чітко вираженою огранкою та параметром кристалічної решітки, близьким до табличної величини для природного алмазу. З’ясовано впливи парціального тиску метану в газовій суміші і температури підкладки на розмір та переважну орієнтацію кристалів алмазу в покриттях. Встановлено, що застосування імпульсного режиму та заземлення підкладинкотримача сприяє покрашенню якості покриттів. Методами рентгеноструктурного анализа и оптической микроскопии исследована структура CVD углеродных покрытий, синтезируемых в водородно-метановой смеси в плазме тлеющего разряда, стабилизированного магнитным полем, с применением импульсного источника питания. Определен диапазон параметров осаждения, обеспечивающих формирование поликристаллических алмазных покрытий, состоящих из алмазных кристаллов с четко выраженной огранкой и параметром кристаллической решетки, близким к табличному значению для природного алмаза. Выяснено влияние парциального давления метана в газовой смеси и температуры подложки на размер и преимущественную ориентацию кристаллов алмаза в покрытиях. Установлено, что использование импульсного режима и заземленного подложкодержателя способствует улучшению качества покрытий. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Physics of radiation and ion-plasma technologies Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply Структура полікристалічних алмазних покриттів, осаджених методом СVD у плазмі тліючого розряду, із застосуванням імпульсного джерела живлення Структура поликристаллических алмазных покрытий, осажденных методом СVD в плазме тлеющего разряда, с использованием импульсного источника питания Article published earlier |
| spellingShingle | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply Koshevoy, K.I. Volkov, Yu.Ya. Strel’nitskij, V.E. Reshetnyak, E.N. Physics of radiation and ion-plasma technologies |
| title | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| title_alt | Структура полікристалічних алмазних покриттів, осаджених методом СVD у плазмі тліючого розряду, із застосуванням імпульсного джерела живлення Структура поликристаллических алмазных покрытий, осажденных методом СVD в плазме тлеющего разряда, с использованием импульсного источника питания |
| title_full | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| title_fullStr | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| title_full_unstemmed | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| title_short | Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| title_sort | structure of polycrystalline diamond coatings deposited by сvd method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply |
| topic | Physics of radiation and ion-plasma technologies |
| topic_facet | Physics of radiation and ion-plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/194957 |
| work_keys_str_mv | AT koshevoyki structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT volkovyuya structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT strelnitskijve structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT reshetnyaken structureofpolycrystallinediamondcoatingsdepositedbysvdmethodintheplasmaofglowdischargewiththeuseofpulsepowersupply AT koshevoyki strukturapolíkristalíčnihalmaznihpokrittívosadženihmetodomsvduplazmítlíûčogorozrâduízzastosuvannâmímpulʹsnogodžerelaživlennâ AT volkovyuya strukturapolíkristalíčnihalmaznihpokrittívosadženihmetodomsvduplazmítlíûčogorozrâduízzastosuvannâmímpulʹsnogodžerelaživlennâ AT strelnitskijve strukturapolíkristalíčnihalmaznihpokrittívosadženihmetodomsvduplazmítlíûčogorozrâduízzastosuvannâmímpulʹsnogodžerelaživlennâ AT reshetnyaken strukturapolíkristalíčnihalmaznihpokrittívosadženihmetodomsvduplazmítlíûčogorozrâduízzastosuvannâmímpulʹsnogodžerelaživlennâ AT koshevoyki strukturapolikristalličeskihalmaznyhpokrytiiosaždennyhmetodomsvdvplazmetleûŝegorazrâdasispolʹzovaniemimpulʹsnogoistočnikapitaniâ AT volkovyuya strukturapolikristalličeskihalmaznyhpokrytiiosaždennyhmetodomsvdvplazmetleûŝegorazrâdasispolʹzovaniemimpulʹsnogoistočnikapitaniâ AT strelnitskijve strukturapolikristalličeskihalmaznyhpokrytiiosaždennyhmetodomsvdvplazmetleûŝegorazrâdasispolʹzovaniemimpulʹsnogoistočnikapitaniâ AT reshetnyaken strukturapolikristalličeskihalmaznyhpokrytiiosaždennyhmetodomsvdvplazmetleûŝegorazrâdasispolʹzovaniemimpulʹsnogoistočnikapitaniâ |