Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2019
• Main Authors: Bazhenov, V.Yu., Gubarev, S.M., Tsiolko, V.V.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
• Subjects: Gas and plasma-beam discharges and their applications
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195176
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 4. — С. 155-158. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Upgraded method of determining basic parameters of weakly ionized plasma by means of photometric study of bremsstrahlung emission continuum in visible spectrum range is described. Time-averaged spatial distributions of electron temperature and density in planar plasma jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon at the discharge glow in a low-current α-mode are experimentally obtained. Описано вдосконалений метод визначення основних параметрів слабко іонізованої плазми шляхом фотометричного дослідження континууму гальмівного випромінювання у видимій області спектра. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури і густини електронів у пласкому плазмовому джеті, що формується за допомогою ємнісного ВЧ-розряду у аргоні атмосферного тиску при горінні розряду в слабкострумовому α-режимі. Описан усовершенствованный метод определения основных параметров слабо ионизированной плазмы путем фотометрического исследования континуума тормозного излучения в видимой области спектра. Экспериментально получены усредненные во времени пространственные распределения температуры и плотности электронов в плоском плазменном джете, который формируется с помощью емкостного ВЧ-разряда в аргоне атмосферного давления при горении разряда в слаботочном α-режиме.