Buchumschlag

Effect of pulsed substrate biasing on macroparticle in vacuum arc

An analytical model of the interaction of macroparticle (MP) with vacuum arc plasma in plasma immersion ion implantation (PIII) is presented. The proposed model is based on combination of the theory of charge dynamics of MP and sheath model for PIII. In the framework of this model, the MP charge dyn...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2019
Hauptverfasser:	Romashchenko, E.V., Bizyukov, A.A., Girka, I.О.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
Schlagworte:	Gas and plasma-beam discharges and their applications
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195192
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Effect of pulsed substrate biasing on macroparticle in vacuum arc / E.V. Romashchenko, A.A. Bizyukov, I.О. Girka // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 4. — С. 120-123. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Investigation of spatial distribution of metal vapours admixtures in the plasma of an electric arc discharge
von: Murmantsev, A.
Veröffentlicht: (2023)

Estimation of the role of radiation in the plasma of electric arc discharge between Cu-C composites
von: Veklich, A., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Study of the dependence of the characteristics of the pulse negative corona on the parameters of the combined high voltage power supply
von: Taran, G.V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Numerical simulation of reproduction of the development conditions of the next trichel pulse in negative corona
von: Ostroushko, V.
Veröffentlicht: (2023)

Azimuthal stability of trichel pulses and cathode directed streamers
von: Bolotov, O., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Numerical simulation of initial pressure effect on energy input in spark discharge in nitrogen
von: Korytchenko, K.V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Effect of plasma chemical oxidation of ethylene impurities on the efficiency of kiwifruit storage
von: Yegorov, M.O., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Effect of negative shift of metalhydride cathode on the emission of H⁻ ions from penning discharge
von: Sereda, I., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Optical characteristics and parameters of gas-discharge plasma on mixtures of mercury dichloride vapor and neon
von: Malinina, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene
von: Lisovskiy, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Impact of corona discharge on Serratia marcescens and Pseudomonas syringae inactivation
von: Nedybaliuk, O.A., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Simulation of capacitively coupled RF discharge in argon
von: Lisovskiy, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Two stage plasma source for large scale beam generation
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Measurement of the local electron temperature in self-compressed plasma stream
von: Solyakov, D.G., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Contribution of drift and diffusion to water capacity deionization
von: Kudin, D.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Streamer mode of positive corona
von: Bolotov, O.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Study of the fungicidal properties of ozone treatment, Ag and Cu nanoparticles and their combined action on the model of sanitary significant mold saprophyte Aspergillus flavus
von: Taran, G.V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Thermal radiation in spark discharge
von: Korytchenko, K., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Penning-type H⁻ ion source with metal hydride cathode in pulsating regime
von: Sereda, I., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Direct water treatment by APGD with rotating electrodes
von: Golota, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Computer calculation of probability for binary collisions of electrons with ions and molecules
von: Marchuk, Yu.M., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Direct water treatment by APGD with rotating electrodes
von: Golota, V., et al.
Veröffentlicht: (2023)

Studying the influence of plasma chemical and ozone treatment on artificially implemented microflora in model aqueous solutions
von: Taran, G.V., et al.
Veröffentlicht: (2021)

The model of gas discharge sustained by the quadrupole electromagnetic wave in waveguide structure with varying radius of metal enclosure
von: Azarenkov, N.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Methods for control the self-sustained plasma-beam discharge at high energy density
von: Hrechko, Ya.O., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Plasma assisted conversion of carbon dioxide in low-pressure gas discharges
von: Dudin, S.V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Structure and properties of glow discharge in argon with hollow cathode
von: Lisovskiy, V.A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Formation of light impurities in a hydrogen plasma at initial stage of a discharge
von: Yuferov, V.B., et al.
Veröffentlicht: (2019)

The atomic-molecular processes in a hydrogen plasma at initial stage of a discharge
von: Yuferov, V.B., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Basic plasma features of planar jet formed by capacitive RF discharge in atmosphere pressure argon
von: Bazhenov, V.Yu., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Charging of macroparticles in a high-voltage vacuum arc sheath
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Dynamics of macroparticle in a weakly collisional plasma
von: Romashchenko, E.V., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Effect of electron emission processes on macroparticle charging in plasma systems with electron beam
von: Romashchenko, E.V., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath
von: Romashchenko, E.V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Specific of interaction of the macroparticles with the plasma-beam systems
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2021)

Vaporization of metallic macroparticles in the high temperature technology plasma
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Dynamics of macroparticles in a magnetic filter for a vacuum arc plasma sources
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage
von: Kuprin, A.S., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Macroparticles in beam-plasma systems
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Emission characteristics and potential of macroparticle in beam-plasma discharge
von: Bizyukov, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2008)