Зображення обкладинки

Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage

The paper presents the results of the study on the influence of a high substrate bias voltage from 300 up to 1300 V on the titanium nitride coating deposition under nitrogen pressure of 2 Pa. The deposition rate, phase and chemical composition, adhesion and mechanical properties of coatings, macropa...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Вопросы атомной науки и техники
Дата:	2019
Автори:	Kuprin, A.S., Leonov, S.A., Ovcharenko, V.D., Reshetnyak, E.N., Belous, V.A., Vasilenko, R.L., Tolmachova, G.N., Kovalenko, V.I., Klimenko, I.O.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2019
Теми:	Physics of radiotechnology and ion-plasma technologies
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195216
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Deposition of TiN-based coatings using vacuum arc plasma in increased negative substrate bias voltage / A.S. Kuprin, S.A. Leonov, V.D. Ovcharenko, E.N. Reshetnyak, V.A. Belous, R.L. Vasilenko, G.N. Tolmachova, V.I. Kovalenko, I.O. Klimenko // Problems of atomic science and technology. — 2019. — № 5. — С. 154-160. — Бібліогр.: 29 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

The use of negative bias potential for structural engineering of vacuum-arc nitride coatings based on high-entropy alloys
за авторством: Sobol', O.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Structural engineering of NbN/Cu multilayer coatings by changing the thickness of the layers and the magnitude of the bias potential during deposition
за авторством: Sobol’, O.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Study of the process of thermal dissociation of tantal pentachloride in vacuum
за авторством: Polyakov, Yu.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Vacuum CVD coatings Ta on target W plate of neutrons source
за авторством: Borts, B.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Protective vacuum-arc coatings on zirconium alloy fuel cladding to prevent catastrophic accidents at nuclear reactors
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2023)

Effect of chromium coatings on the mechanical properties of Zr1Nb fuel claddings in longitudinal and transverse directions
за авторством: Belous, V.А., та інші
Опубліковано: (2019)

Erosion of Co-Cr-W alloy and coating on its basis under the action of cavitation
за авторством: Kovalenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Studying the changes in the characteristics of radiation-protective composition materials in dependence on homogeneity of distributing of metal components
за авторством: Prokhorenko, E.M., та інші
Опубліковано: (2019)

Rare-earth permanent magnet in magnetic system of electron accelerator with the energy of 10 MеV
за авторством: Bovda, V.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Digital processing of optical emission spectra of magnetron sputtering plasma system
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)

Hardening of leading edges of turbine blades by electrospark alloying
за авторством: Kalinina, N.E., та інші
Опубліковано: (2019)

Pure iron and nickel for new structural reactor materials
за авторством: Pylypenko, M.M., та інші
Опубліковано: (2019)

Structure and mechanical properties of multilayer coatings (TiAlCrY)N/ZrN
за авторством: Novikov, V.Yu., та інші
Опубліковано: (2019)

Kinetic regularities of the formation of gas products under the influence of ionizing radiation on biomass
за авторством: Khalilov, Z.Z., та інші
Опубліковано: (2019)

Plasma coating formation by the deposition of cathode material eroded through high-current pulsed discharge
за авторством: Chabak, Yu.G., та інші
Опубліковано: (2019)

Extracting of rare earth metals from secondary raw materials
за авторством: Kolobov, G., та інші
Опубліковано: (2019)

Effect of nitrogen pressure on the structural and mechanical properties of V-Mo-N coatings deposited by cathodic arc evaporation
за авторством: Kuprin, A.S., та інші
Опубліковано: (2022)

Cavitation erosion of Ti-6Al-4V alloy with vacuum-arc TiN and CrN coatings
за авторством: Kuprin, А.S., та інші
Опубліковано: (2018)

Effect of pulsed substrate biasing on macroparticle in vacuum arc
за авторством: Romashchenko, E.V., та інші
Опубліковано: (2019)

Comparison of characteristics of vacuum-arc nano-structure TIN coatings deposited under hv pulse substrate bias
за авторством: V. M. Shulaev, та інші
Опубліковано: (2007)

Influence of the magnitude of the bias potential and thickness of the layers on the structure, substructure, stress-deformed state and mechanical characteristics of vacuum-arc multi-layered (TiMo)N/(TiSi)N coatings
за авторством: Sobol, O.V., та інші
Опубліковано: (2020)

Structure and properties of coatings based on FeCrAl and Cr18Ni10T
за авторством: Belous, V.А., та інші
Опубліковано: (2020)

Structure and properties of FeCr, CrAl and FeCrAl coatings deposited by cathodic arc evaporation
за авторством: Vasilenko, R.L., та інші
Опубліковано: (2021)

The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)

Errata: The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
за авторством: O. V. Sobol, та інші
Опубліковано: (2013)

Optimization of diamond-like carbon coatings for mechanical and tribological applications. Review
за авторством: Reshetnyak, E.N., та інші
Опубліковано: (2023)

Effect of time parameters of pulsed bias potential on intrinsic stress in TiN coating deposited from inclined ion beam
за авторством: Kalinichenko, A.I., та інші
Опубліковано: (2018)

Influence of vacuum activated diffusion chroming on mechanical properties of the surface of steel 25X1MF
за авторством: Rudenkyi, S.G., та інші
Опубліковано: (2020)

Structure and stress state of TiN and Ti₀.₅₋xAl₀.₅YxN coatings prepared by the PIII&D technique from filtered vacuum-arc plasma
за авторством: Reshetnyak, E.N.
Опубліковано: (2014)

Physical model of W and Ti compound during hot vacuum rolling in the solid phase
за авторством: Andrieieva, O.L., та інші
Опубліковано: (2023)

Properties of 15Cr12WNiMoV steel after vacuum activated chromium plating of its surface
за авторством: Rudenky, S.G., та інші
Опубліковано: (2021)

Effect of arc current on mechanical properties of AlCrN coatings deposited using cathodic arc evaporation
за авторством: Warcholinski, B., та інші
Опубліковано: (2022)

Electrodeposition of chromoxide coatings from electrolytes modified with SiO₂·nH₂O
за авторством: Shtefan, V.V., та інші
Опубліковано: (2022)

Electrodeposition of chromoxide coatings from electrolytes modified with SiO₂·nH₂O
за авторством: Shtefan, V.V., та інші
Опубліковано: (2022)

Structure of polycrystalline diamond coatings deposited by СVD method in the plasma of glow discharge with the use of pulse power supply
за авторством: Koshevoy, K.I., та інші
Опубліковано: (2021)

Structure and corrosion resistance of vacuum-arc multi-period CrN/Cu, ZrN/Cu, and NbN/Cu coatings
за авторством: Postelnyk, H.O., та інші
Опубліковано: (2020)

Structure and properties of W, Ta and W-Ta coatings deposited with the use of a gas-plasma source
за авторством: Lunyov, V.M., та інші
Опубліковано: (2016)

Deposition of chromium nitride coatings from vacuum arc plasma in increased nitrogen pressure
за авторством: Ovcharenko, V.D., та інші
Опубліковано: (2014)

Radiation resistance of Ti—20Zr alloy in microcrystalline and nanocrystalline state
за авторством: Belous, V.A., та інші
Опубліковано: (2013)

Negative response to an excessive bias by a mixed population of voters
за авторством: Dotsenko, V.S., та інші
Опубліковано: (2017)