APA (7th ed.) Citation

Polozhii, H., Ponomarev, A., Kolinko, S., & Rebrov, V. (2022). Vector proton beam writing system. Вопросы атомной науки и техники.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Polozhii, H.E, A.G Ponomarev, S.V Kolinko, and V.A Rebrov. "Vector Proton Beam Writing System." Вопросы атомной науки и техники 2022.

MLA (8th ed.) Citation

Polozhii, H.E, et al. "Vector Proton Beam Writing System." Вопросы атомной науки и техники, 2022.

Warning: These citations may not always be 100% accurate.