Vector proton beam writing system
Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-bea...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2022 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195391 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195391 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Polozhii, H.E. Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. 2023-12-05T09:44:47Z 2023-12-05T09:44:47Z 2022 Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 42.82.Cr; 85.40.Hp; 81.16.Nd https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195391 Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-beam microscopy. Prospectives of hardware and software upgrade are regarded. Vector proton-beam writing technology can be used in many appli-cations, including X-ray optics, electronics prototyping, microrobotics, microfluidics, photonics and microstructure fabrication in new materials. Дано опис векторного методу сканування сфокусованим пучком мегаелектронвольтних енергій в протонно-променевій літографії. Експериментально доведено, що векторний метод протонно-променевої літографії має ряд переваг перед растровим методом. Визначення форми та розмірів сфокусованого пучка здійснюється за рахунок сканування стандартної мідної сітки для електронної мікроскопії. Розглянуті подальші шляхи вдосконалення обладнання та програмного забезпечення. Технологія векторної протонної літографії може бути використана в багатьох застосуваннях, включно з рентгенівською оптикою, прототипуванням електроніки, мікроробототехнікою, рідинними мікроструктурами (мікрофлюїдика), фотонікою і створенням мікроструктур у нових матеріалах. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Interaction of relativistic particles with crystals and matter Vector proton beam writing system Система векторної протонної літографії Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Vector proton beam writing system |
| spellingShingle |
Vector proton beam writing system Polozhii, H.E. Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. Interaction of relativistic particles with crystals and matter |
| title_short |
Vector proton beam writing system |
| title_full |
Vector proton beam writing system |
| title_fullStr |
Vector proton beam writing system |
| title_full_unstemmed |
Vector proton beam writing system |
| title_sort |
vector proton beam writing system |
| author |
Polozhii, H.E. Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. |
| author_facet |
Polozhii, H.E. Ponomarev, A.G. Kolinko, S.V. Rebrov, V.A. |
| topic |
Interaction of relativistic particles with crystals and matter |
| topic_facet |
Interaction of relativistic particles with crystals and matter |
| publishDate |
2022 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Система векторної протонної літографії |
| description |
Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-beam microscopy. Prospectives of hardware and software upgrade are regarded. Vector proton-beam writing technology can be used in many appli-cations, including X-ray optics, electronics prototyping, microrobotics, microfluidics, photonics and microstructure fabrication in new materials.
Дано опис векторного методу сканування сфокусованим пучком мегаелектронвольтних енергій в протонно-променевій літографії. Експериментально доведено, що векторний метод протонно-променевої літографії має ряд переваг перед растровим методом. Визначення форми та розмірів сфокусованого пучка здійснюється за рахунок сканування стандартної мідної сітки для електронної мікроскопії. Розглянуті подальші шляхи вдосконалення обладнання та програмного забезпечення. Технологія векторної протонної літографії може бути використана в багатьох застосуваннях, включно з рентгенівською оптикою, прототипуванням електроніки, мікроробототехнікою, рідинними мікроструктурами (мікрофлюїдика), фотонікою і створенням мікроструктур у нових матеріалах.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195391 |
| citation_txt |
Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT polozhiihe vectorprotonbeamwritingsystem AT ponomarevag vectorprotonbeamwritingsystem AT kolinkosv vectorprotonbeamwritingsystem AT rebrovva vectorprotonbeamwritingsystem AT polozhiihe sistemavektornoíprotonnoílítografíí AT ponomarevag sistemavektornoíprotonnoílítografíí AT kolinkosv sistemavektornoíprotonnoílítografíí AT rebrovva sistemavektornoíprotonnoílítografíí |
| first_indexed |
2025-12-07T21:08:12Z |
| last_indexed |
2025-12-07T21:08:12Z |
| _version_ |
1850885215203885056 |