Vector proton beam writing system
Vector method for scanning with focused beam of megaelectronvolt-energy in proton-beam writing is described. Vector proton-beam writing method was proven experimentally to have numerous advantages over raster method. Focused beam size and shape are measured by scanning standard copper mesh for e-bea...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Дата: | 2022 |
| Автори: | Polozhii, H.E., Ponomarev, A.G., Kolinko, S.V., Rebrov, V.A. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195391 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Vector proton beam writing system / H.E. Polozhii, A.G. Ponomarev, S.V. Kolinko, V.A. Rebrov // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 3. — С. 52-55. — Бібліогр.: 8 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineСхожі ресурси
IAP triple-beam facility for simulation studies of radiation damage of materials
за авторством: Baturin, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Baturin, V.A., та інші
Опубліковано: (2022)
Changes of the radiation characteristics of surface of tungsten as a result of influence of helium ion beams
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2022)
Two-parametric beam model for dosimetry of the process of electron irradiation of materials with low density and atomic number
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2021)
Secondary electron emission from thin aluminum foils produced by high-energy electron beams
за авторством: Karpus, S.H., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Karpus, S.H., та інші
Опубліковано: (2021)
Modeling and experimental research of the processes of formation of radiation damage in the interaction of gamma quantum flows and relativistic electron beams with solutions of organic dyes
за авторством: Gokov, S.P., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Gokov, S.P., та інші
Опубліковано: (2021)
Universal experimental facility of IHEPNP NSC KIPT for research of high-energy electron beam interaction with thin amorphous and single-crystal structures
за авторством: Kovalenko, G.D., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Kovalenko, G.D., та інші
Опубліковано: (2022)
Peculiarities of channeling and generated radiation of relativistic electrons in the main charged axes of lithium hydride crystal
за авторством: Maksyuta, N.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Maksyuta, N.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Radiation induced softening of crystals
за авторством: Dubinko, V.I., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Dubinko, V.I., та інші
Опубліковано: (2021)
Radiation damage in tungsten target of the "KIPT Neutron Source"
за авторством: Gann, V.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Gann, V.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Thermal annealing effects on microstructure and mechanical properties of the Ta-W-Ta solid phase joints for neutron producing targets of the research nuclear facility “Source of Neutrons”
за авторством: Lopata, A.A., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Lopata, A.A., та інші
Опубліковано: (2022)
Possible reasons for cracking of composite scintillators after irradiation in an electron accelerator at a high dose rate
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2022)
Facility and researches results of the frictional characteristics of metal – irradiated - ceramics pair
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Butenko, V.I., та інші
Опубліковано: (2022)
Influence of radiation conditions on cracking of composite scintillators
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Stochastic mechanism of broadening spectral density of synchrotron radiation of relativistic electron
за авторством: Mazmanishvili, A.S.
Опубліковано: (2021)
за авторством: Mazmanishvili, A.S.
Опубліковано: (2021)
Development of radiation resistant scintillators based on rare-earth aluminates
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Krech, A.V., та інші
Опубліковано: (2022)
Radiation stimulation of the catalytic activity of zirconium dioxide nanoparticles during the conversion of hydrocarbons
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Dikiy, N.P., та інші
Опубліковано: (2021)
Composite scintillators based on organic grains and their pulse shape discrimination capability
за авторством: Khromiuk, I.F., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Khromiuk, I.F., та інші
Опубліковано: (2022)
Effect of electron irradiation conditions on the efficiency of defect formation in MgAl₂O₄ spinel
за авторством: Kazarinov, Yu.H., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Kazarinov, Yu.H., та інші
Опубліковано: (2022)
On coherent and incoherent scattering of fast charged particles in ultrathin crystals
за авторством: Shulga, N.F., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Shulga, N.F., та інші
Опубліковано: (2020)
Spectra of low-energy secondary electrons in the interaction of relativistic electrons with aluminum foil
за авторством: Vit’ko, V., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Vit’ko, V., та інші
Опубліковано: (2022)
Using of proton beam writing techniques for fabrication of micro difraction gratings
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2018)
Proton beam writing: world experience and prospectives in Ukraine
за авторством: H. Y. Polozhii, та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: H. Y. Polozhii, та інші
Опубліковано: (2023)
Proton Beam Writing Device Based on Electrostatic Accelerator for 3D Micro- and Nano-Structure Fabrication
за авторством: A. G. Ponomarev, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: A. G. Ponomarev, та інші
Опубліковано: (2019)
Precision doublet of magnetic quadrupole lenses for ion beam formation
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2020)
Probe formation in proton beam writing facility at IAP NASU
за авторством: Lapin, O.S., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Lapin, O.S., та інші
Опубліковано: (2015)
High resolution probe-forming system with spherical aberration correction for nuclear microprobe
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Ponomarev, A.G., та інші
Опубліковано: (2023)
Nanofabrication with Using of Proton Beam Writing: State of the Art and Prospects of Development
за авторством: V. E. Storizhko, та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: V. E. Storizhko, та інші
Опубліковано: (2012)
Triggering pulse generators developed for the high-voltage dischargers of magnetic systems and for the generator of pulse voltages used by the relativistic electron beam accelerator "TEMP-B"
за авторством: Batrakov, A.B., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Batrakov, A.B., та інші
Опубліковано: (2021)
Two beam proton accelerator for electronuclear industry (plutonium conversion)
за авторством: Dolbilov, G.V.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Dolbilov, G.V.
Опубліковано: (2000)
Acceleration of a high-current proton beam in a linear induction accelerator at its compensation by electron beams
за авторством: Fedorovskaya, O.V., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Fedorovskaya, O.V., та інші
Опубліковано: (2022)
High-voltage modulator of the Linac injector with voltage pulse stabilization
за авторством: Anokhin, R.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Anokhin, R.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Digital identification of the emission spectrum lines of magnetron discharge
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Afanasіeva, I.A., та інші
Опубліковано: (2019)
High-frequency oscillations in plasma of lower hybrid cavities
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Single–spin asymmetries in electron–proton and photon-proton scattering in the Bethe–Heitler processes induced by loop corrections
за авторством: Afanasev, A.V., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Afanasev, A.V., та інші
Опубліковано: (2007)
Determination of discharge gap conduction in the plasma switch
за авторством: Skibenko, E.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Skibenko, E.I., та інші
Опубліковано: (2019)
High-current relativistic electron beam focusing in plasma
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Manuilenko, О.V., та інші
Опубліковано: (2021)
Temporal evolution of the lower hybrid cavities in the ionosphere plasma due to turbulent diffusion
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Azarenkov, N.A., та інші
Опубліковано: (2019)
Helicons in plasma solid-state waveguide of cylindrical configuration
за авторством: Averkov, Yu.O., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Averkov, Yu.O., та інші
Опубліковано: (2019)
Mode selection by ohmic losses in longitudinally corrugated cavities of sub-THz second-harmonic gyrotrons
за авторством: Tkachova, T.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Tkachova, T.I., та інші
Опубліковано: (2019)
Small-size direct-action electron accelerator with a high-efficiency nanosecond plasma-current switch
за авторством: Skibenko, E.I., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Skibenko, E.I., та інші
Опубліковано: (2019)
Схожі ресурси
-
IAP triple-beam facility for simulation studies of radiation damage of materials
за авторством: Baturin, V.A., та інші
Опубліковано: (2022) -
Changes of the radiation characteristics of surface of tungsten as a result of influence of helium ion beams
за авторством: Manuilenko, O.V., та інші
Опубліковано: (2022) -
Two-parametric beam model for dosimetry of the process of electron irradiation of materials with low density and atomic number
за авторством: Lazurik, V.T., та інші
Опубліковано: (2021) -
Secondary electron emission from thin aluminum foils produced by high-energy electron beams
за авторством: Karpus, S.H., та інші
Опубліковано: (2021) -
Modeling and experimental research of the processes of formation of radiation damage in the interaction of gamma quantum flows and relativistic electron beams with solutions of organic dyes
за авторством: Gokov, S.P., та інші
Опубліковано: (2021)