High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode

The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The ge...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2021
Hauptverfasser: Boldasov, V.S., Kuzmichev, A.I., Melnichenko, M.S., Shulaev, V.M.
Format: Artikel
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2021
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195419
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862703347367149568
author Boldasov, V.S.
Kuzmichev, A.I.
Melnichenko, M.S.
Shulaev, V.M.
author_facet Boldasov, V.S.
Kuzmichev, A.I.
Melnichenko, M.S.
Shulaev, V.M.
citation_txt High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The generation of fast nitrogen atoms may be used for metals and dielectrics nitriding with implantation effect. Виконано кінетичне моделювання високовольтного променевого розряду при низькому тиску азоту. Розраховані характеристики потоків частинок до танталового катода і зворотне відбиття швидких атомів азоту. Коефіцієнт відбиття дорівнює десяткам відсотків при напрузі до 100 кВ. Генерація швидких атомів азоту може бути використана для азотування металів і діелектриків з імплантаційним ефектом. Выполнено кинетическое моделирование высоковольтного лучевого разряда при низком давлении азота. Рассчитаны характеристики потоков частиц к танталовому катоду и обратного отражения быстрых атомов азота. Коэффициент отражения составляет десятки процентов при напряжении до 100 кВ. Генерация быстрых атомов азота может быть использована для азотирования металлов и диэлектриков с имплантационным эффектом.
first_indexed 2025-12-07T16:47:44Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195419
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-12-07T16:47:44Z
publishDate 2021
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Boldasov, V.S.
Kuzmichev, A.I.
Melnichenko, M.S.
Shulaev, V.M.
2023-12-05T10:05:27Z
2023-12-05T10:05:27Z
2021
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode / V.S. Boldasov, A.I. Kuzmichev, M.S. Melnichenko, V.M. Shulaev // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 4. — С. 207-211. — Бібліогр.: 10 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.Tn, 34.50.Dy
DOI: https://doi.org/10.46813/2021-134-207
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195419
The kinetic simulation of high-voltage beam discharge at low pressure of nitrogen is fulfilled. The characteristics of particle flows to the tantalum cathode and back reflection of fast nitrogen atoms are calculated. The reflection coefficient equals tens of percents at voltages up to 100 kV. The generation of fast nitrogen atoms may be used for metals and dielectrics nitriding with implantation effect.
Виконано кінетичне моделювання високовольтного променевого розряду при низькому тиску азоту. Розраховані характеристики потоків частинок до танталового катода і зворотне відбиття швидких атомів азоту. Коефіцієнт відбиття дорівнює десяткам відсотків при напрузі до 100 кВ. Генерація швидких атомів азоту може бути використана для азотування металів і діелектриків з імплантаційним ефектом.
Выполнено кинетическое моделирование высоковольтного лучевого разряда при низком давлении азота. Рассчитаны характеристики потоков частиц к танталовому катоду и обратного отражения быстрых атомов азота. Коэффициент отражения составляет десятки процентов при напряжении до 100 кВ. Генерация быстрых атомов азота может быть использована для азотирования металлов и диэлектриков с имплантационным эффектом.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Applications and technologies
High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
Високовольтний променевий розряд у азоті з відбиттям швидких нейтральних атомів від танталового катода
Высоковольтный лучевой разряд в азоте с отражением быстрых нейтральных атомов от танталового катода
Article
published earlier
spellingShingle High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
Boldasov, V.S.
Kuzmichev, A.I.
Melnichenko, M.S.
Shulaev, V.M.
Applications and technologies
title High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
title_alt Високовольтний променевий розряд у азоті з відбиттям швидких нейтральних атомів від танталового катода
Высоковольтный лучевой разряд в азоте с отражением быстрых нейтральных атомов от танталового катода
title_full High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
title_fullStr High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
title_full_unstemmed High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
title_short High voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
title_sort high voltage beam discharge in nitrogen with fast neutral atom reflection from tantalum cathode
topic Applications and technologies
topic_facet Applications and technologies
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195419
work_keys_str_mv AT boldasovvs highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode
AT kuzmichevai highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode
AT melnichenkoms highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode
AT shulaevvm highvoltagebeamdischargeinnitrogenwithfastneutralatomreflectionfromtantalumcathode
AT boldasovvs visokovolʹtniipromeneviirozrâduazotízvídbittâmšvidkihneitralʹnihatomívvídtantalovogokatoda
AT kuzmichevai visokovolʹtniipromeneviirozrâduazotízvídbittâmšvidkihneitralʹnihatomívvídtantalovogokatoda
AT melnichenkoms visokovolʹtniipromeneviirozrâduazotízvídbittâmšvidkihneitralʹnihatomívvídtantalovogokatoda
AT shulaevvm visokovolʹtniipromeneviirozrâduazotízvídbittâmšvidkihneitralʹnihatomívvídtantalovogokatoda
AT boldasovvs vysokovolʹtnyilučevoirazrâdvazotesotraženiembystryhneitralʹnyhatomovottantalovogokatoda
AT kuzmichevai vysokovolʹtnyilučevoirazrâdvazotesotraženiembystryhneitralʹnyhatomovottantalovogokatoda
AT melnichenkoms vysokovolʹtnyilučevoirazrâdvazotesotraženiembystryhneitralʹnyhatomovottantalovogokatoda
AT shulaevvm vysokovolʹtnyilučevoirazrâdvazotesotraženiembystryhneitralʹnyhatomovottantalovogokatoda