Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is r...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2021 |
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2021
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862741937682907136 |
|---|---|
| author | Baturin, V.A. Litvinov, P.A. Pustovoitov, S.A. Roenko, O.Yu. |
| author_facet | Baturin, V.A. Litvinov, P.A. Pustovoitov, S.A. Roenko, O.Yu. |
| citation_txt | Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is realized on an interior surface of an anode of the Penning discharge cell in an oscillation area of ionizing electrons. It has been experimentally shown that the proposed method of thermalization of Fe atoms increases the fraction of Fe⁺ ions in the extracted ion beam by three times.
У джерелі металевих іонів розпилювального типу запропоновано проводити процес термалізації швидких розпорошених атомів на гарячій металевій поверхні з наступною їх десорбцією в розряд з температурою, що дорівнює температурі цієї поверхні. У розглянутій конструкції джерела термалізація атомів реалізована на внутрішній поверхні анода пенінговської розрядної комірки в області осциляції іонізуючих електронів. Експериментально показано, що термалізовані таким чином розпорошені в розрядній камері атоми Fe збільшують фракцію Fe⁺ в екстрагованому іонному пучку в три рази.
В источнике металлических ионов распылительного типа предложено производить процесс термализации быстрых распыленных атомов на горячей металлической поверхности с последующей их десорбцией в разряд с температурой, равной температуре этой поверхности. В рассматриваемой конструкции источника термализация атомов реализована на внутренней поверхности анода пеннинговской разрядной ячейки в области осцилляции ионизирующих электронов. Экспериментально показано, что термализованные таким образом распыленные в разрядной камере атомы Fe увеличивают фракцию Fe⁺ в экстрагируемом ионном пучке в три раза.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:22:26Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195655 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T20:22:26Z |
| publishDate | 2021 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Baturin, V.A. Litvinov, P.A. Pustovoitov, S.A. Roenko, O.Yu. 2023-12-06T10:16:42Z 2023-12-06T10:16:42Z 2021 Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 29.20.Ba, 29.25.Ni DOI: https://doi.org/10.46813/2021-134-099 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655 Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is realized on an interior surface of an anode of the Penning discharge cell in an oscillation area of ionizing electrons. It has been experimentally shown that the proposed method of thermalization of Fe atoms increases the fraction of Fe⁺ ions in the extracted ion beam by three times. У джерелі металевих іонів розпилювального типу запропоновано проводити процес термалізації швидких розпорошених атомів на гарячій металевій поверхні з наступною їх десорбцією в розряд з температурою, що дорівнює температурі цієї поверхні. У розглянутій конструкції джерела термалізація атомів реалізована на внутрішній поверхні анода пенінговської розрядної комірки в області осциляції іонізуючих електронів. Експериментально показано, що термалізовані таким чином розпорошені в розрядній камері атоми Fe збільшують фракцію Fe⁺ в екстрагованому іонному пучку в три рази. В источнике металлических ионов распылительного типа предложено производить процесс термализации быстрых распыленных атомов на горячей металлической поверхности с последующей их десорбцией в разряд с температурой, равной температуре этой поверхности. В рассматриваемой конструкции источника термализация атомов реализована на внутренней поверхности анода пеннинговской разрядной ячейки в области осцилляции ионизирующих электронов. Экспериментально показано, что термализованные таким образом распыленные в разрядной камере атомы Fe увеличивают фракцию Fe⁺ в экстрагируемом ионном пучке в три раза. We acknowledge the financial support from the National Academy of Sciences of Ukraine under Project K9-79/2012, and Project II-32-18 within cooperation program of NAS of Ukraine-CERN-JINR. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Novel and non-standard acceleration technologies Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source Термалізація і іонізація атомів металів робочого середовища в металічному іонно-розпилювальному джерелі Термализация и ионизация атомов металлов рабочей среды в металлическом ионно-распылительном источнике Article published earlier |
| spellingShingle | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source Baturin, V.A. Litvinov, P.A. Pustovoitov, S.A. Roenko, O.Yu. Novel and non-standard acceleration technologies |
| title | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| title_alt | Термалізація і іонізація атомів металів робочого середовища в металічному іонно-розпилювальному джерелі Термализация и ионизация атомов металлов рабочей среды в металлическом ионно-распылительном источнике |
| title_full | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| title_fullStr | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| title_full_unstemmed | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| title_short | Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| title_sort | thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source |
| topic | Novel and non-standard acceleration technologies |
| topic_facet | Novel and non-standard acceleration technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655 |
| work_keys_str_mv | AT baturinva thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource AT litvinovpa thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource AT pustovoitovsa thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource AT roenkooyu thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource AT baturinva termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí AT litvinovpa termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí AT pustovoitovsa termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí AT roenkooyu termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí AT baturinva termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike AT litvinovpa termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike AT pustovoitovsa termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike AT roenkooyu termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike |