Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source

Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is r...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2021
Автори: Baturin, V.A., Litvinov, P.A., Pustovoitov, S.A., Roenko, O.Yu.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2021
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195655
record_format dspace
spelling Baturin, V.A.
Litvinov, P.A.
Pustovoitov, S.A.
Roenko, O.Yu.
2023-12-06T10:16:42Z
2023-12-06T10:16:42Z
2021
Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 29.20.Ba, 29.25.Ni
DOI: https://doi.org/10.46813/2021-134-099
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655
Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is realized on an interior surface of an anode of the Penning discharge cell in an oscillation area of ionizing electrons. It has been experimentally shown that the proposed method of thermalization of Fe atoms increases the fraction of Fe⁺ ions in the extracted ion beam by three times.
У джерелі металевих іонів розпилювального типу запропоновано проводити процес термалізації швидких розпорошених атомів на гарячій металевій поверхні з наступною їх десорбцією в розряд з температурою, що дорівнює температурі цієї поверхні. У розглянутій конструкції джерела термалізація атомів реалізована на внутрішній поверхні анода пенінговської розрядної комірки в області осциляції іонізуючих електронів. Експериментально показано, що термалізовані таким чином розпорошені в розрядній камері атоми Fe збільшують фракцію Fe⁺ в екстрагованому іонному пучку в три рази.
В источнике металлических ионов распылительного типа предложено производить процесс термализации быстрых распыленных атомов на горячей металлической поверхности с последующей их десорбцией в разряд с температурой, равной температуре этой поверхности. В рассматриваемой конструкции источника термализация атомов реализована на внутренней поверхности анода пеннинговской разрядной ячейки в области осцилляции ионизирующих электронов. Экспериментально показано, что термализованные таким образом распыленные в разрядной камере атомы Fe увеличивают фракцию Fe⁺ в экстрагируемом ионном пучке в три раза.
We acknowledge the financial support from the National Academy of Sciences of Ukraine under Project K9-79/2012, and Project II-32-18 within cooperation program of NAS of Ukraine-CERN-JINR.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Novel and non-standard acceleration technologies
Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
Термалізація і іонізація атомів металів робочого середовища в металічному іонно-розпилювальному джерелі
Термализация и ионизация атомов металлов рабочей среды в металлическом ионно-распылительном источнике
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
spellingShingle Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
Baturin, V.A.
Litvinov, P.A.
Pustovoitov, S.A.
Roenko, O.Yu.
Novel and non-standard acceleration technologies
title_short Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
title_full Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
title_fullStr Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
title_full_unstemmed Thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
title_sort thermalization and ionization of metal atoms of operating environment at a metal ion-sputtering source
author Baturin, V.A.
Litvinov, P.A.
Pustovoitov, S.A.
Roenko, O.Yu.
author_facet Baturin, V.A.
Litvinov, P.A.
Pustovoitov, S.A.
Roenko, O.Yu.
topic Novel and non-standard acceleration technologies
topic_facet Novel and non-standard acceleration technologies
publishDate 2021
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Термалізація і іонізація атомів металів робочого середовища в металічному іонно-розпилювальному джерелі
Термализация и ионизация атомов металлов рабочей среды в металлическом ионно-распылительном источнике
description Fast atoms sputtered on a hot metal surface were suggested for thermalization at a metal ion-sputtering source and for further desorption into a discharge with temperature, which is equal to the temperature of the surface. In the suggested construction of the source, atom thermalization process is realized on an interior surface of an anode of the Penning discharge cell in an oscillation area of ionizing electrons. It has been experimentally shown that the proposed method of thermalization of Fe atoms increases the fraction of Fe⁺ ions in the extracted ion beam by three times. У джерелі металевих іонів розпилювального типу запропоновано проводити процес термалізації швидких розпорошених атомів на гарячій металевій поверхні з наступною їх десорбцією в розряд з температурою, що дорівнює температурі цієї поверхні. У розглянутій конструкції джерела термалізація атомів реалізована на внутрішній поверхні анода пенінговської розрядної комірки в області осциляції іонізуючих електронів. Експериментально показано, що термалізовані таким чином розпорошені в розрядній камері атоми Fe збільшують фракцію Fe⁺ в екстрагованому іонному пучку в три рази. В источнике металлических ионов распылительного типа предложено производить процесс термализации быстрых распыленных атомов на горячей металлической поверхности с последующей их десорбцией в разряд с температурой, равной температуре этой поверхности. В рассматриваемой конструкции источника термализация атомов реализована на внутренней поверхности анода пеннинговской разрядной ячейки в области осцилляции ионизирующих электронов. Экспериментально показано, что термализованные таким образом распыленные в разрядной камере атомы Fe увеличивают фракцию Fe⁺ в экстрагируемом ионном пучке в три раза.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195655
citation_txt Thermalization and ionization of metal atoms in the operating environment at a metal ion-sputtering source / V.A. Baturin, P.A. Litvinov, S.A. Pustovoitov, O.Yu. Roenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2021. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 6 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT baturinva thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource
AT litvinovpa thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource
AT pustovoitovsa thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource
AT roenkooyu thermalizationandionizationofmetalatomsofoperatingenvironmentatametalionsputteringsource
AT baturinva termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí
AT litvinovpa termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí
AT pustovoitovsa termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí
AT roenkooyu termalízacíâííonízacíâatomívmetalívrobočogoseredoviŝavmetalíčnomuíonnorozpilûvalʹnomudžerelí
AT baturinva termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike
AT litvinovpa termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike
AT pustovoitovsa termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike
AT roenkooyu termalizaciâiionizaciâatomovmetallovrabočeisredyvmetalličeskomionnoraspylitelʹnomistočnike
first_indexed 2025-12-07T20:22:26Z
last_indexed 2025-12-07T20:22:26Z
_version_ 1850882336212647936