Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined....
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2022 |
| Main Authors: | , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862707581354508288 |
|---|---|
| author | Malykhin, S.V. Kondratenko, V.V. Kopylets, I.A. Bogdanov, Yu.S. Surovitsky, S.V. Borisova, S.S. Shipkova, I.G. |
| author_facet | Malykhin, S.V. Kondratenko, V.V. Kopylets, I.A. Bogdanov, Yu.S. Surovitsky, S.V. Borisova, S.S. Shipkova, I.G. |
| citation_txt | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined. Coatings consisting of a single icosahedral quasicrystalline phase, as well as films consisting of the 2/1 crystal-approximant phase were obtained. The features of the phase transformation of a quasicrystal into an approximant crystal were investigated, and the activation energy of this transformation was determined at a level of 94 kJ/mol. The dependence of the degree of phase transformation on the temperature and duration of annealing has been established.
Досліджено структурно-фазові зміни в тонких плівках, отриманих магнетронним розпиленням мішені складу Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при ізотермічних вакуумних відпалах в інтервалі температур 400…800 °C. Визначено межі термічної стабільності фаз. Отримано однофазні покриття з ікосаедричної квазікристалічної фази, а також з фази кристала-апроксиманта 2/1. Досліджено характер фазового перетворення квазікристала в кристал-апроксимант, і визначена енергія активації цього перетворення на рівні 94 кДж/моль. Встановлено залежність ступеня фазового перетворення від температури і тривалості відпалу.
Исследованы структурно-фазовые изменения в тонких плeнках, полученных магнетронным распылением мишени состава Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при изотермических вакуумных отжигах в интервале температур 400…800 °C. Определены границы термической стабильности фаз. Получены однофазные покрытия из икосаэдрической квазикристаллической фазы, а также из фазы кристалла-аппроксиманта 2/1. Исследован характер фазового превращения квазикристалла в кристалл-аппроксимант, и определена энергия активации этого превращения на уровне 94 кДж/моль. Установлена зависимость степени фазового превращения от температуры и продолжительности отжига.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:06:36Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195827 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T17:06:36Z |
| publishDate | 2022 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Malykhin, S.V. Kondratenko, V.V. Kopylets, I.A. Bogdanov, Yu.S. Surovitsky, S.V. Borisova, S.S. Shipkova, I.G. 2023-12-07T10:52:42Z 2023-12-07T10:52:42Z 2022 Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.40.HF DOI: https://doi.org/10.46813/2022-137-021 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827 Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined. Coatings consisting of a single icosahedral quasicrystalline phase, as well as films consisting of the 2/1 crystal-approximant phase were obtained. The features of the phase transformation of a quasicrystal into an approximant crystal were investigated, and the activation energy of this transformation was determined at a level of 94 kJ/mol. The dependence of the degree of phase transformation on the temperature and duration of annealing has been established. Досліджено структурно-фазові зміни в тонких плівках, отриманих магнетронним розпиленням мішені складу Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при ізотермічних вакуумних відпалах в інтервалі температур 400…800 °C. Визначено межі термічної стабільності фаз. Отримано однофазні покриття з ікосаедричної квазікристалічної фази, а також з фази кристала-апроксиманта 2/1. Досліджено характер фазового перетворення квазікристала в кристал-апроксимант, і визначена енергія активації цього перетворення на рівні 94 кДж/моль. Встановлено залежність ступеня фазового перетворення від температури і тривалості відпалу. Исследованы структурно-фазовые изменения в тонких плeнках, полученных магнетронным распылением мишени состава Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при изотермических вакуумных отжигах в интервале температур 400…800 °C. Определены границы термической стабильности фаз. Получены однофазные покрытия из икосаэдрической квазикристаллической фазы, а также из фазы кристалла-аппроксиманта 2/1. Исследован характер фазового превращения квазикристалла в кристалл-аппроксимант, и определена энергия активации этого превращения на уровне 94 кДж/моль. Установлена зависимость степени фазового превращения от температуры и продолжительности отжига. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Pure materials and vacuum technologies Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum Структурно-фазові перетворення в магнетронно-осаджених плівках системи Ti-Zr-Ni під час відпалу у вакуумі Структурно-фазовые превращения в магнетронно-осажденных пленках системы Ti-Zr-Ni при отжиге в вакууме Article published earlier |
| spellingShingle | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum Malykhin, S.V. Kondratenko, V.V. Kopylets, I.A. Bogdanov, Yu.S. Surovitsky, S.V. Borisova, S.S. Shipkova, I.G. Pure materials and vacuum technologies |
| title | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum |
| title_alt | Структурно-фазові перетворення в магнетронно-осаджених плівках системи Ti-Zr-Ni під час відпалу у вакуумі Структурно-фазовые превращения в магнетронно-осажденных пленках системы Ti-Zr-Ni при отжиге в вакууме |
| title_full | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum |
| title_fullStr | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum |
| title_full_unstemmed | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum |
| title_short | Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum |
| title_sort | structural-phase transformations in magnetron deposited films of ti-zr-ni systems during annealing in vacuum |
| topic | Pure materials and vacuum technologies |
| topic_facet | Pure materials and vacuum technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827 |
| work_keys_str_mv | AT malykhinsv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT kondratenkovv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT kopyletsia structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT bogdanovyus structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT surovitskysv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT borisovass structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT shipkovaig structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum AT malykhinsv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT kondratenkovv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT kopyletsia strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT bogdanovyus strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT surovitskysv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT borisovass strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT shipkovaig strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí AT malykhinsv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT kondratenkovv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT kopyletsia strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT bogdanovyus strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT surovitskysv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT borisovass strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume AT shipkovaig strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume |