Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum

Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum

Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Вопросы атомной науки и техники
Datum:2022
Hauptverfasser: Malykhin, S.V., Kondratenko, V.V., Kopylets, I.A., Bogdanov, Yu.S., Surovitsky, S.V., Borisova, S.S., Shipkova, I.G.
Format: Artikel
Sprache:English
Veröffentlicht: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2022
Schlagworte:
Pure materials and vacuum technologies
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195827
record_format dspace
spelling Malykhin, S.V.
Kondratenko, V.V.
Kopylets, I.A.
Bogdanov, Yu.S.
Surovitsky, S.V.
Borisova, S.S.
Shipkova, I.G.
2023-12-07T10:52:42Z
2023-12-07T10:52:42Z
2022
Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.40.HF
DOI: https://doi.org/10.46813/2022-137-021
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827
Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined. Coatings consisting of a single icosahedral quasicrystalline phase, as well as films consisting of the 2/1 crystal-approximant phase were obtained. The features of the phase transformation of a quasicrystal into an approximant crystal were investigated, and the activation energy of this transformation was determined at a level of 94 kJ/mol. The dependence of the degree of phase transformation on the temperature and duration of annealing has been established.
Досліджено структурно-фазові зміни в тонких плівках, отриманих магнетронним розпиленням мішені складу Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при ізотермічних вакуумних відпалах в інтервалі температур 400…800 °C. Визначено межі термічної стабільності фаз. Отримано однофазні покриття з ікосаедричної квазікристалічної фази, а також з фази кристала-апроксиманта 2/1. Досліджено характер фазового перетворення квазікристала в кристал-апроксимант, і визначена енергія активації цього перетворення на рівні 94 кДж/моль. Встановлено залежність ступеня фазового перетворення від температури і тривалості відпалу.
Исследованы структурно-фазовые изменения в тонких плeнках, полученных магнетронным распылением мишени состава Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при изотермических вакуумных отжигах в интервале температур 400…800 °C. Определены границы термической стабильности фаз. Получены однофазные покрытия из икосаэдрической квазикристаллической фазы, а также из фазы кристалла-аппроксиманта 2/1. Исследован характер фазового превращения квазикристалла в кристалл-аппроксимант, и определена энергия активации этого превращения на уровне 94 кДж/моль. Установлена зависимость степени фазового превращения от температуры и продолжительности отжига.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Pure materials and vacuum technologies
Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
Структурно-фазові перетворення в магнетронно-осаджених плівках системи Ti-Zr-Ni під час відпалу у вакуумі
Структурно-фазовые превращения в магнетронно-осажденных пленках системы Ti-Zr-Ni при отжиге в вакууме
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
spellingShingle Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
Malykhin, S.V.
Kondratenko, V.V.
Kopylets, I.A.
Bogdanov, Yu.S.
Surovitsky, S.V.
Borisova, S.S.
Shipkova, I.G.
Pure materials and vacuum technologies
title_short Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
title_full Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
title_fullStr Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
title_full_unstemmed Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum
title_sort structural-phase transformations in magnetron deposited films of ti-zr-ni systems during annealing in vacuum
author Malykhin, S.V.
Kondratenko, V.V.
Kopylets, I.A.
Bogdanov, Yu.S.
Surovitsky, S.V.
Borisova, S.S.
Shipkova, I.G.
author_facet Malykhin, S.V.
Kondratenko, V.V.
Kopylets, I.A.
Bogdanov, Yu.S.
Surovitsky, S.V.
Borisova, S.S.
Shipkova, I.G.
topic Pure materials and vacuum technologies
topic_facet Pure materials and vacuum technologies
publishDate 2022
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Структурно-фазові перетворення в магнетронно-осаджених плівках системи Ti-Zr-Ni під час відпалу у вакуумі
Структурно-фазовые превращения в магнетронно-осажденных пленках системы Ti-Zr-Ni при отжиге в вакууме
description Structural and phase changes in thin films obtained by magnetron sputtering of a target with the composition Ti41Zr38.3Ni20.7 (at.%) were studied under isothermal vacuum annealing in the temperature range from 400 to 800 °C. The boundaries of the thermal stability of the phases have been determined. Coatings consisting of a single icosahedral quasicrystalline phase, as well as films consisting of the 2/1 crystal-approximant phase were obtained. The features of the phase transformation of a quasicrystal into an approximant crystal were investigated, and the activation energy of this transformation was determined at a level of 94 kJ/mol. The dependence of the degree of phase transformation on the temperature and duration of annealing has been established. Досліджено структурно-фазові зміни в тонких плівках, отриманих магнетронним розпиленням мішені складу Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при ізотермічних вакуумних відпалах в інтервалі температур 400…800 °C. Визначено межі термічної стабільності фаз. Отримано однофазні покриття з ікосаедричної квазікристалічної фази, а також з фази кристала-апроксиманта 2/1. Досліджено характер фазового перетворення квазікристала в кристал-апроксимант, і визначена енергія активації цього перетворення на рівні 94 кДж/моль. Встановлено залежність ступеня фазового перетворення від температури і тривалості відпалу. Исследованы структурно-фазовые изменения в тонких плeнках, полученных магнетронным распылением мишени состава Ti41Zr38,3Ni20,7 (ат.%), при изотермических вакуумных отжигах в интервале температур 400…800 °C. Определены границы термической стабильности фаз. Получены однофазные покрытия из икосаэдрической квазикристаллической фазы, а также из фазы кристалла-аппроксиманта 2/1. Исследован характер фазового превращения квазикристалла в кристалл-аппроксимант, и определена энергия активации этого превращения на уровне 94 кДж/моль. Установлена зависимость степени фазового превращения от температуры и продолжительности отжига.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195827
citation_txt Structural-phase transformations in magnetron deposited films of Ti-Zr-Ni systems during annealing in vacuum / S.V. Malykhin, V.V. Kondratenko, I.A. Kopylets, Yu.S. Bogdanov, S.V. Surovitsky, S.S. Borisova, I.G. Shipkova // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 1. — С. 21-25. — Бібліогр.: 17 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT malykhinsv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT kondratenkovv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT kopyletsia structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT bogdanovyus structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT surovitskysv structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT borisovass structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT shipkovaig structuralphasetransformationsinmagnetrondepositedfilmsoftizrnisystemsduringannealinginvacuum
AT malykhinsv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT kondratenkovv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT kopyletsia strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT bogdanovyus strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT surovitskysv strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT borisovass strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT shipkovaig strukturnofazovíperetvorennâvmagnetronnoosadženihplívkahsistemitizrnipídčasvídpaluuvakuumí
AT malykhinsv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT kondratenkovv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT kopyletsia strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT bogdanovyus strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT surovitskysv strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT borisovass strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
AT shipkovaig strukturnofazovyeprevraŝeniâvmagnetronnoosaždennyhplenkahsistemytizrnipriotžigevvakuume
first_indexed 2025-12-07T17:06:36Z
last_indexed 2025-12-07T17:06:36Z
_version_ 1850870014885756928

Ähnliche Einträge