Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies
The current paper describes the results of the improvement of a volumetric high-current low-pressure plasma generator. The device was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating up to thermionic emission...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2022 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195895 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862617370756907008 |
|---|---|
| author | Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. |
| author_facet | Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. |
| citation_txt | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Problems of Atomic Science and Technology |
| description | The current paper describes the results of the improvement of a volumetric high-current low-pressure plasma generator. The device was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating up to thermionic emission temperature. The device was operated at a working gas pressure of 0.1…1 Pa and had an electron concentration of 10¹⁰…5·10¹¹ cm⁻³. It was shown that the addition of the auxiliary electrode after the emission hole of the canoed unit lead to the improvement of generated plasma characteristics. This plasma generator may be used in the processes of ion-plasma technologies (oxidation, nitration in non-hydrogen media), as well as in energy-saving technologies of combined ion-plasma processing of structural materials.
Описано результати удосконалення об’ємного сильнострумного генератора плазми низького тиску. Пристрій виготовлено на основі порожнистого катода з газомагнетронним запалюванням розряду та допоміжним дуговим розрядом для нагріву катода до температури термоелектронної емісії. Прилад працює при тиску робочого газу 0,1…1 Па і має концентрацію електронів 10¹⁰…5·10¹¹ cm⁻³. Показано, що додавання допоміжного електрода після емісійного отвору катодного вузла призводять до покращення характеристик генерованої плазми. Даний плазмогенератор може бути використаний в процесах іонно-плазмових технологій (окислення, нітрування в неводневих середовищах), а також у енергозберігаючих технологіях комбінованої іонно-плазмової обробки конструкційних матеріалів.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:11:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195895 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T13:11:23Z |
| publishDate | 2022 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. 2023-12-08T10:57:21Z 2023-12-08T10:57:21Z 2022 Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies / V.A. Khomich, A.V. Ryabtsev, V.G. Nazarenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 99-102. — Бібліогр.: 11 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Mg DOI: https://doi.org/10.46813/2022-142-099 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195895 The current paper describes the results of the improvement of a volumetric high-current low-pressure plasma generator. The device was made on the basis of a hollow cathode with a gas-magnetron ignition of the discharge and an auxiliary arc discharge for the cathode heating up to thermionic emission temperature. The device was operated at a working gas pressure of 0.1…1 Pa and had an electron concentration of 10¹⁰…5·10¹¹ cm⁻³. It was shown that the addition of the auxiliary electrode after the emission hole of the canoed unit lead to the improvement of generated plasma characteristics. This plasma generator may be used in the processes of ion-plasma technologies (oxidation, nitration in non-hydrogen media), as well as in energy-saving technologies of combined ion-plasma processing of structural materials. Описано результати удосконалення об’ємного сильнострумного генератора плазми низького тиску. Пристрій виготовлено на основі порожнистого катода з газомагнетронним запалюванням розряду та допоміжним дуговим розрядом для нагріву катода до температури термоелектронної емісії. Прилад працює при тиску робочого газу 0,1…1 Па і має концентрацію електронів 10¹⁰…5·10¹¹ cm⁻³. Показано, що додавання допоміжного електрода після емісійного отвору катодного вузла призводять до покращення характеристик генерованої плазми. Даний плазмогенератор може бути використаний в процесах іонно-плазмових технологій (окислення, нітрування в неводневих середовищах), а також у енергозберігаючих технологіях комбінованої іонно-плазмової обробки конструкційних матеріалів. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Low temperature plasma and plasma technologies Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies Генератор однорідної плазми низького тиску на основі порожнистого катоду для іонно-плазмових технологій Article published earlier |
| spellingShingle | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies Khomich, V.A. Ryabtsev, A.V. Nazarenko, V.G. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| title_alt | Генератор однорідної плазми низького тиску на основі порожнистого катоду для іонно-плазмових технологій |
| title_full | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| title_fullStr | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| title_full_unstemmed | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| title_short | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| title_sort | low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies |
| topic | Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet | Low temperature plasma and plasma technologies |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195895 |
| work_keys_str_mv | AT khomichva lowpressureuniformplasmageneratorbasedonhollowcathodeforionplasmatechnologies AT ryabtsevav lowpressureuniformplasmageneratorbasedonhollowcathodeforionplasmatechnologies AT nazarenkovg lowpressureuniformplasmageneratorbasedonhollowcathodeforionplasmatechnologies AT khomichva generatorodnorídnoíplazminizʹkogotiskunaosnovíporožnistogokatodudlâíonnoplazmovihtehnologíi AT ryabtsevav generatorodnorídnoíplazminizʹkogotiskunaosnovíporožnistogokatodudlâíonnoplazmovihtehnologíi AT nazarenkovg generatorodnorídnoíplazminizʹkogotiskunaosnovíporožnistogokatodudlâíonnoplazmovihtehnologíi |