Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface
The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Problems of Atomic Science and Technology |
|---|---|
| Datum: | 2022 |
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2022
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195913 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-195913 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Kuzmichev, A. Melnichenko, M. 2023-12-08T11:04:30Z 2023-12-08T11:04:30Z 2022 Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Tn, 34.50.Dy DOI: https://doi.org/10.46813/2022-142-129 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195913 The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The ion energy was from 0.1 to 70 keV. The ions N+ are considered to be back-scattering in the form of energetic N atoms. The calculations showed the back-scattering and neutralization coefficients are tens of percent for low energies N⁺ ions and several percent for energies of tens kiloelectron-volts. The average penetration depth of the ions into the Fe target and the ion sputtering coefficients are calculated, too. Коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації іонів азоту на поверхні заліза під час іонного бомбардування у процесах іонного розпилення та азотування були розраховані за допомогою програми TRIM. Випробовували мішень із чистого заліза та двоелементні мішені Fe+Mo (1 та 5 %), Fe+W (1 та 5 %). Енергія іонів становила від 0,1 до 70 кеВ. Вважалося, що іони N⁺ розсіюються назад у формі енергетичних атомів N. Розрахунки показують, що коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації складають десятки відсотків для низькоенергетичних іонів N⁺ і кілька відсотків для енергій у десятки кілоелектронвольт. Також розраховано середню глибину проникнення іонів азоту в Fe-мішень та коефіцієнти іонного розпилення. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Problems of Atomic Science and Technology Low temperature plasma and plasma technologies Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface Коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації іонів азоту на поверхні заліза Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| spellingShingle |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface Kuzmichev, A. Melnichenko, M. Low temperature plasma and plasma technologies |
| title_short |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_full |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_fullStr |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_full_unstemmed |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| title_sort |
back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface |
| author |
Kuzmichev, A. Melnichenko, M. |
| author_facet |
Kuzmichev, A. Melnichenko, M. |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| publishDate |
2022 |
| language |
English |
| container_title |
Problems of Atomic Science and Technology |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації іонів азоту на поверхні заліза |
| description |
The coefficients of back-scattering and neutralization of nitrogen ions (N⁺) on iron surface during ion bombardment at the processes of ion sputtering and niriding have been calculated using TRIM code. The pure iron target and two-element targets, Fe+Mo (1 and 5%), Fe+W (1 and 5%), were tested. The ion energy was from 0.1 to 70 keV. The ions N+ are considered to be back-scattering in the form of energetic N atoms. The calculations showed the back-scattering and neutralization coefficients are tens of percent for low energies N⁺ ions and several percent for energies of tens kiloelectron-volts. The average penetration depth of the ions into the Fe target and the ion sputtering coefficients are calculated, too.
Коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації іонів азоту на поверхні заліза під час іонного бомбардування у процесах іонного розпилення та азотування були розраховані за допомогою програми TRIM. Випробовували мішень із чистого заліза та двоелементні мішені Fe+Mo (1 та 5 %), Fe+W (1 та 5 %). Енергія іонів становила від 0,1 до 70 кеВ. Вважалося, що іони N⁺ розсіюються назад у формі енергетичних атомів N. Розрахунки показують, що коефіцієнти зворотного розсіювання та нейтралізації складають десятки відсотків для низькоенергетичних іонів N⁺ і кілька відсотків для енергій у десятки кілоелектронвольт. Також розраховано середню глибину проникнення іонів азоту в Fe-мішень та коефіцієнти іонного розпилення.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/195913 |
| citation_txt |
Back-scattering and neutralization coefficients of nitrogen ions on iron surface / A. Kuzmichev, M. Melnichenko // Problems of Atomic Science and Technology. — 2022. — № 6. — С. 129-133. — Бібліогр.: 12 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT kuzmicheva backscatteringandneutralizationcoefficientsofnitrogenionsonironsurface AT melnichenkom backscatteringandneutralizationcoefficientsofnitrogenionsonironsurface AT kuzmicheva koefícíêntizvorotnogorozsíûvannâtaneitralízacíííonívazotunapoverhnízalíza AT melnichenkom koefícíêntizvorotnogorozsíûvannâtaneitralízacíííonívazotunapoverhnízalíza |
| first_indexed |
2025-12-01T08:12:06Z |
| last_indexed |
2025-12-01T08:12:06Z |
| _version_ |
1850859574682189824 |